双向立体加热型湿度传感器和具有湿度采集功能的设备制造技术

本发明专利技术涉及湿度传感器技术领域，尤其涉及一种双向立体加热型湿度传感器和具有湿度采集功能的设备，双向立体加热型湿度传感器包括基底、下加热电路、感湿层和上加热电路，基底、下加热电路、感湿层和上加热电路依次层叠设置，或者，下加热电路、基底和感湿层和上加热电路依次层叠设置。利用上加热电路和下加热电路能够实现对感湿层的垂直方向直接地、双向的加热，相比传统加热式湿度传感器加热效率翻倍，且加热后的温度与感湿层表面温度一致，极大减小温度误差，进而提高湿度测量精度。进而提高湿度测量精度。进而提高湿度测量精度。

【技术实现步骤摘要】
双向立体加热型湿度传感器和具有湿度采集功能的设备


[0001]本专利技术涉及湿度传感器
，尤其涉及一种双向立体加热型湿度传感器和具有湿度采集功能的设备。

技术介绍

[0002]湿度测量是大多数气象活动领域的重要需求，通常是将湿度传感器置于裸露的环境中，与空气直接接触。目前常用高分子电容型湿度传感器，通过在基底上表面制备金属电极以及湿度敏感材料作为感湿介质层，从而形成湿敏电容结构，具备湿度量程宽、线性度好、响应速度快等优点，但是该类湿敏电容在低温环境湿度测量领域应用，芯片裸露到环境表面存在低温结霜、结冰等现象，直接影响湿度测量精度。因此，现常用电容型加热式湿度传感器，通过对湿敏电容进行加热去除表面结霜，提高测量精度。但是目前市面上已有湿度传感器型号多为通过外加加热电阻或者通过在湿敏电容芯片周围进行加热电路制备，从而实现加热功能，这几种结构均存在加热不直接、加热效率低、芯片表面实际温度测量存在偏差等问题，进而直接导致湿度测量误差，降低了测量精度。

技术实现思路

[0003]为了解决电容型加热式湿度传感器存在加热不直接、加热效率本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种双向立体加热型湿度传感器，其特征在于，包括基底、下加热电路、感湿层和上加热电路，所述基底、所述下加热电路、所述感湿层和所述上加热电路依次层叠设置，或者，所述下加热电路、所述基底和所述感湿层和所述上加热电路依次层叠设置。2.根据权利要求1所述的一种双向立体加热型湿度传感器，其特征在于，还包括湿敏电容下电极，所述湿敏电容下电极设置在所述感湿层与所述基底之间。3.根据权利要求2所述的一种双向立体加热型湿度传感器，其特征在于，所述湿敏电容下电极包括相互分离的第一局部湿敏电容下电极和第二局部湿敏电容下电极，所述第一局部湿敏电容下电极和第二局部湿敏电容下电极上分别设置一个电容型湿度传感元件下电极金属焊盘。4.根据权利要求3所述的一种双向立体加热型湿度传感器，其特征在于，还包括第一局部湿敏电容下电极金属基底层和第二局部湿敏电容下电极金属基底层，所述第一局部湿敏电容下电极设置在所述第一局部湿敏电容下电极金属基底层上，所述第二局部湿敏电容下...

【专利技术属性】
技术研发人员：张倩，魏家贵，
申请(专利权)人：北京航天微电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：