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北京航天微电科技有限公司
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双向立体加热型湿度传感器和具有湿度采集功能的设备制造技术
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文档序号:35532527
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本发明涉及湿度传感器技术领域,尤其涉及一种双向立体加热型湿度传感器和具有湿度采集功能的设备,双向立体加热型湿度传感器包括基底、下加热电路、感湿层和上加热电路,基底、下加热电路、感湿层和上加热电路依次层叠设置,或者,下加热电路、基底和感湿层和...
该专利属于北京航天微电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京航天微电科技有限公司授权不得商用。
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