一种碳化炉废气排放用真空泵工况在线监测系统技术方案

本发明专利技术提供一种碳化炉废气排放用真空泵工况在线监测系统，包括：服务器和监测终端；服务器与监测终端通讯连接；其中，监测终端包括：第一气体传感器、第二气体传感器、处理模块和无线通讯模块；处理模块通过第一气体传感器检测进气的第一气体运动参数，通过第二气体传感器检测出气的第二气体运动参数；处理模块通过无线通讯模块将第一气体运动参数和第二气体运动参数发送至服务器；服务器基于第一气体运动参数和第二气体运动参数确定真空泵的工作工况是否正常。本发明专利技术的碳化炉废气排放用真空泵工况在线监测系统，实现对真空泵工况的在线监测，避免过滤装置堵塞造成真空泵的损坏，保证生产的安全。证生产的安全。证生产的安全。

【技术实现步骤摘要】
一种碳化炉废气排放用真空泵工况在线监测系统


[0001]本专利技术涉及碳化炉废气排放
，特别涉及一种碳化炉废气排放用真空泵工况在线监测系统。

技术介绍

[0002]热处理是影响石墨烯导热膜热导率的重要因素之一，热处理分两步碳化和石墨化，所以对设备的要求非常高，烧结工艺、石墨化温度和时间的把控都是关键性问题。那么重要的工艺步骤就涉及到重要的设备——“碳化炉”。其中，尤其以真空碳化炉应用比较广泛，主要应用聚酰亚胺膜(PI膜)石墨化、石墨烯膜石墨化，使之成为高导热石墨膜。
[0003]真空碳化炉在生产时，需要充入氮气并抽真空碳化；抽出的气体为高温高害气体；现有CN205392057U公开了一种碳化炉过滤装置的用于对抽真空碳化的气体进行过滤处理，其采用了真空泵作为动力源，因此其运行的工况的监测尤其重要。

技术实现思路

[0004]本专利技术目的之一在于提供了一种碳化炉废气排放用真空泵工况在线监测系统，实现对真空泵工况的在线监测，避免过滤装置堵塞造成真空泵的损坏，保证生产的安全。
[0005]本专利技术实施例提供的一种碳化炉废气排放用真空泵工况在线监测系统，包括：服务器和监测终端；服务器与监测终端通讯连接；
[0006]其中，监测终端包括：第一气体传感器、第二气体传感器、处理模块和无线通讯模块；第一气体传感器、第二气体传感器和无线通讯模块分别与处理模块电连接；第一气体传感器设置在废气排放处理装置的进气端；第二气体传感器设置在废气排放处理装置的出气端；
[0007]处理模块通过第一气体传感器检测进气的第一气体运动参数，通过第二气体传感器检测出气的第二气体运动参数；
[0008]处理模块通过无线通讯模块将第一气体运动参数和第二气体运动参数发送至服务器；
[0009]服务器基于第一气体运动参数和第二气体运动参数确定真空泵的工作工况是否正常。
[0010]优选的，监测终端还包括：
[0011]报警模块，与处理模块电连接，设置在真空泵的壳体上；
[0012]当服务器确定真空泵的工作工况异常时，服务器向处理模块发出报警指令；
[0013]当处理模块接收到报警指令时，控制报警模块动作。
[0014]优选的，报警模块包括：
[0015]扬声器、蜂鸣器、三色指示灯和LED报警灯其中一种或多种结合。
[0016]优选的，监测终端还包括：
[0017]电流采集模块，与处理模块电连接，用于采集真空泵的电流参数数据；
[0018]处理模块执行如下操作：
[0019]通过电流采集模块采集真空泵的电流参数数据；
[0020]对电流参数数据进行采样，获取采样电流值；
[0021]当采样电流值大于等于预设的电流阈值时，控制报警模块工作；
[0022]和/或，
[0023]将电流参数数据发送至服务器；服务器基于电流参数数据确定真空泵的工作工况是否正常。
[0024]优选的，监控终端还包括：
[0025]第一温度检测传感器，设置在真空泵的进气端，与处理模块电连接；
[0026]处理模块执行如下操作：
[0027]通过第一温度检测传感器检测真空泵的进气端的进气温度数据；
[0028]对进气温度数据进行采样，获取第一温度值；
[0029]当第一温度值大于等于预设的第一温度阈值时，控制报警模块动作；
[0030]和/或，
[0031]将进气温度数据发送至服务器；服务器基于进气温度数据确定真空泵的工作工况是否正常。
[0032]优选的，监控终端还包括：
[0033]第二温度传感器，设置真空泵内部靠近真空泵的线圈的位置，与处理模块电连接；
[0034]处理模块执行如下操作：
[0035]通过第一温度检测传感器检测真空泵的内部温度数据；
[0036]对内部温度数据进行采样，获取第二温度值；
[0037]当第二温度值大于等于预设的第二温度阈值时，控制报警模块动作；
[0038]和/或，
[0039]将内部温度数据发送至服务器；服务器基于内部温度数据确定真空泵的工作工况是否正常。
[0040]优选的，处理模块还执行如下操作：
[0041]解析第一气体运动参数，确定废气排放处理装置的进气端的气体的第一速度；
[0042]解析第二气体运动参数，确定废气排放处理装置的出气端的第二速度；
[0043]通过无线通讯模块获取服务器基于碳化炉的运行数据确定的第一速度阈值范围和第二速度阈值范围；
[0044]当第一速度不在第一速度阈值范围内或第二速度不在第二速度阈值范围内时，确定真空泵的工作工况异常。
[0045]优选的，服务器基于碳化炉的运行数据确定的第一速度阈值范围和第二速度阈值范围，执行如下操作：
[0046]解析运行数据，确定碳化炉的工作程式的运行阶段、氮气充入速度；
[0047]基于碳化炉的工作程式的运行阶段、氮气充入速度，查询预设的阈值确定表，确定第一速度阈值范围和第二速度阈值范围。
[0048]优选的，服务器还执行如下操作：
[0049]基于预设的第一特征提取模板分别对第一气体运动参数和第二气体运动参数进
行特征提取，获取多个第一类特征值；
[0050]基于预设的第二特征提取模板对电流参数数据进行特征提取，获取多个第二类特征值；
[0051]基于预设的量化模板对碳化炉的工作程式的运行阶段进行量化，获取量化值；
[0052]基于多个第一类特征值、多个第二类特征值、量化值和氮气充入速度，构建表示碳化炉的气体排放状态的第一状态数据集；
[0053]获取预设的状态判断库；
[0054]基于第一状态数据集和状态判断库，确定表示气体排放状态的状态参数值；
[0055]当状态参数值大于等于预设的参数阈值时，基于电流参数数据、内部温度数据和进气温度数据生成波动控制指令并将波动控制指令至真空泵的控制模块；
[0056]控制模块执行波动控制指令，执行如下操作：
[0057]解析波动控制指令，确定波动控制参数；
[0058]基于波动控制参数，控制真空泵的电流。
[0059]优选的，服务器基于电流参数数据、内部温度数据和进气温度数据生成波动控制指令，执行如下操作：
[0060]基于预设的第三特征提取模板对内部温度数据和进气温度数据进行特征提取，获取多个第三类特征值；
[0061]基于多个第二类特征值和多个第三类特征值，构建表示真空泵运行状态的第一状态参数集；
[0062]获取预设的波动控制参数确定库；
[0063]基于第一状态参数集和波动控制参数确定库，确定波动控制参数；
[0064]基于波动控制参数，生成波动控制指令；
[0065]其中，波动控制参数包括：中心电流值、波动幅值和波动频率。
[0066]本专利技术的其它特征和优点本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种碳化炉废气排放用真空泵工况在线监测系统，其特征在于，包括：服务器和监测终端；所述服务器与所述监测终端通讯连接；其中，所述监测终端包括：第一气体传感器、第二气体传感器、处理模块和无线通讯模块；第一气体传感器、第二气体传感器和所述无线通讯模块分别与所述处理模块电连接；所述第一气体传感器设置在废气排放处理装置的进气端；所述第二气体传感器设置在废气排放处理装置的出气端；所述处理模块通过所述第一气体传感器检测进气的所述第一气体运动参数，通过所述第二气体传感器检测出气的所述第二气体运动参数；所述处理模块通过所述无线通讯模块将所述第一气体运动参数和所述第二气体运动参数发送至所述服务器；所述服务器基于所述第一气体运动参数和所述第二气体运动参数确定真空泵的工作工况是否正常。2.如权利要求1所述的碳化炉废气排放用真空泵工况在线监测系统，其特征在于，所述监测终端还包括：报警模块，与所述处理模块电连接，设置在所述真空泵的壳体上；当所述服务器确定所述真空泵的工作工况异常时，所述服务器向所述处理模块发出报警指令；当所述处理模块接收到所述报警指令时，控制所述报警模块动作。3.如权利要求2所述的碳化炉废气排放用真空泵工况在线监测系统，其特征在于，所述报警模块包括：扬声器、蜂鸣器、三色指示灯和LED报警灯其中一种或多种结合。4.如权利要求2所述的碳化炉废气排放用真空泵工况在线监测系统，其特征在于，所述监测终端还包括：电流采集模块，与所述处理模块电连接，用于采集所述真空泵的电流参数数据；所述处理模块执行如下操作：通过所述电流采集模块采集所述真空泵的电流参数数据；对所述电流参数数据进行采样，获取采样电流值；当所述采样电流值大于等于预设的电流阈值时，控制所述报警模块工作；和/或，将所述电流参数数据发送至所述服务器；所述服务器基于所述电流参数数据确定所述真空泵的工作工况是否正常。5.如权利要求2所述的碳化炉废气排放用真空泵工况在线监测系统，其特征在于，所述监控终端还包括：第一温度检测传感器，设置在所述真空泵的进气端，与所述处理模块电连接；所述处理模块执行如下操作：通过所述第一温度检测传感器检测所述真空泵的进气端的进气温度数据；对所述进气温度数据进行采样，获取第一温度值；当所述第一温度值大于等于预设的第一温度阈值时，控制所述报警模块动作；和/或，
将所述进气温度数据发送至所述服务器；所述服务器基于所述进气温度数据确定所述真空泵的工作工况是否正常。6.如权利要求1所述的碳化炉废气排放用真空泵工况在线监测系统，其特征在于，所述监控终端还包括：第二温度传感器，设置所述真空泵内部靠近所述真空泵的线圈的位置，与所述处理模块电连接；所述处理模块执行如下操作：通过所述第一温度检测传感器检测所述真空泵的内部温度数据；对所述内部温度数据进行采样，获取第二温度值；当所述第二温度值...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭志军，杨兰贺，陈仁政，吴建祥，朱艳，
申请(专利权)人：江苏汉华热管理科技有限公司，
类型：发明
国别省市：