气体传感器的制备方法、由此得到的气体传感器及其应用技术

本发明专利技术涉及一种气体传感器的制备方法，包括提供衬底；在衬底上制备至少一个由石墨烯缓冲层和有机柔性绝缘材料缓冲层组成的组合缓冲层；在最顶端的有机柔性绝缘材料缓冲层上制备敏感材料层，敏感材料层为石墨烯传感层；在敏感材料层上形成源极和漏极；进行后处理，在石墨烯缓冲层和有机柔性绝缘材料缓冲层的接触面处引入含氧官能团增加层间的互斥作用，优化敏感材料层的氧化程度。根据本发明专利技术的气体传感器及其应用，其用于检测苯类气体。根据本发明专利技术的气体传感器，将有机柔性绝缘材料缓冲层放置于两个石墨烯层中间抵消外界作用力，通过简单堆叠石墨烯层的方式增加石墨烯层与层之间的滑动作用，增强石墨烯气体传感器的耐弯折性能。能。能。

【技术实现步骤摘要】
气体传感器的制备方法、由此得到的气体传感器及其应用


[0001]本专利技术涉及检测，更具体地涉及一种气体传感器的制备方法、由此得到的气体传感器及其应用。

技术介绍

[0002]苯类、醛类等是有机挥发性有害气体，在较低的浓度环境中，只是短暂的接触就会对人体的眼睛和呼吸道造成刺激，并可能导致肝脏系统损伤。这类挥发性有机物对人体的身体健康和生存环境质量造成了极大的影响，对有害气体的实时监测尤为重要。气体传感器是传感技术的一个重要分支，它能将与气体种类和浓度有关的信息转换成电信号，从而进行检测、监控、分析和报警。相比于传统的气体检测仪器，气体传感器具有低成本、低功耗和便携的优势，使得其成为气体实时监测的重要一环。
[0003]传统的气体传感器因其材料本身的刚性结构，使得器件不具有耐弯折和可拉伸性能，也无法实现可穿戴应用。因此，传统的气体传感器无法实现人体的周围环境和健康的监测。近些年，随着柔性电子的快速发展，可穿戴产品因其具有可弯曲和便携可穿戴的优点，丰富和提升了人们的生活质量。其中可穿戴式气体传感器具有不同于传统气体传感器的耐弯折和可拉伸性能本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种气体传感器的制备方法，其特征在于，该制备方法包括如下步骤：S201，提供衬底；S202，在衬底上制备至少一个组合缓冲层，该组合缓冲层由简单堆叠的石墨烯缓冲层和有机柔性绝缘材料缓冲层组成；S203，在最顶端的有机柔性绝缘材料缓冲层上制备敏感材料层，该敏感材料层为石墨烯传感层；S204，在敏感材料层形成源极和漏极；S205，进行后处理，通过在石墨烯缓冲层和有机柔性绝缘材料缓冲层的接触面处引入含氧官能团增加层间的互斥作用来提高气体传感器的耐弯折性能，通过优化敏感材料层的氧化程度来提高气体传感器的灵敏度。2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，在衬底上制备1～10个组合缓冲层。3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，后处理是紫外臭氧照射。4.根据权利要求3所述的制备方法，其特征在于，含氧官能团为羧基。5.一种根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋健，李铁，崔浩然，王跃林，
申请(专利权)人：中国科学院上海微系统与信息技术研究所，
类型：发明
国别省市：