本实用新型专利技术提供一种真空传送装置，包括第一室和第二室；所述第一室与第二室连通并设有第一口，所述第一口处设有第一阀门；所述第一室与大气端设有第二阀门；所述第一室内部设有传送机构，所述第二室设有旋转架。本实用新型专利技术的一种真空传送装置，第一室用于传送待加工物，第二室是真空加工区域。第一室内设置有传送机构，第二室内设有旋转架。传送机构完成产品交替传送工作，将待加工物传送至旋转架上以及将完成物从旋转架上传送出去。第一室与第二室之间只设置一个连接口，可以满足真空镀膜室长期处于真空，不被大气污染，同时可以加快抽真空气速度，提升生产效率。提升生产效率。提升生产效率。
【技术实现步骤摘要】
一种真空传送装置
[0001]本技术涉及真空镀膜
，具体涉及一种真空传送装置。
技术介绍
[0002]现有技术中的真空生产装备通常为单腔体单门或双门设备，产品上下腔体方式多为人手搬运，且腔体每个生产周期，均需要充入大气，才能取出产品，导致设备出现生产周期长，产品质量差等不良现象。此外，人工成本越来越高，招人难，稳定性低。许多企业已经开始大规模实现自动化生产，自动化生产的需求越来越大，对于现有真空镀膜生产装备的新技术越来越迫切。
[0003]现有技术中镀膜腔体长期与大气的接触，靶材及腔体表面与大气极易发生反应，从而大大降低了沉积膜层的质量。随着现在工业对真空镀膜生产装备的需求日益增长，以及对真空镀膜生产的产品要求越来越高，膜层的纯度以及精度要求越来越高，现有技术已经不能满足市场的需求。
技术实现思路
[0004]为解决上述问题，本技术提供一种真空传送装置。技术方案如下：
[0005]一种真空传送装置，包括第一室和第二室；所述第一室与第二室连通并设有第一口，所述第一口处设有第一阀门；所述第一室与大气端设有第二阀门；所述第一室内部设有传送机构，所述第二室设有旋转架；所述第一室传送机构与旋转架配合，通过所述第一口传送待加工物。
[0006]进一步地，所述传送机构包括进出料缓存机构和传送机械手；所述进出料缓存机构为坦克链结构，水平方向移动待加工物；所述传送机械手完成待加工物在第一室与第二室之间的交换。
[0007]进一步地，所述进出料缓存机构设有上料端和下料端。
[0008]与现有技术相比，有益效果是：
[0009]本技术的一种真空传送装置，第一室用于传送待加工物，第二室是真空加工区域。第一室内设置有传送机构，第二室内设有旋转架。传送机构完成产品交替传送工作，将待加工物传送至旋转架上以及将完成物从旋转架上传送出去。第一室与第二室之间只设置一个连接口，可以满足真空镀膜室长期处于真空，不被大气污染，同时可以加快抽真空气速度，提升生产效率。本技术的一种真空传送装置提升了生产效率，减少了人工成本，提高了镀膜产品的膜层质量，具有实用性。
附图说明
[0010]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前
提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0011]图1为一种真空传送装置的结构示意图。
[0012]图中所示：1—第一室，11—传送机构，111—进出料缓存机构，112—传送机械手，2—第二室，21—旋转架，3—第一阀门，4—第二阀门。
具体实施方式
[0013]下面结合附图对本公开实施例进行详细描述。
[0014]以下通过特定的具体实例说明本公开的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本公开的其他优点与功效。显然，所描述的实施例仅仅是本公开一部分实施例，而不是全部的实施例。本公开还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本公开的精神下进行各种修饰或改变。需说明的是，在不冲突的情况下，以下实施例及实施例中的特征可以相互组合。基于本公开中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本公开保护的范围。
[0015]如图1所示，一种真空传送装置，包括第一室1和第一室2；第一室1与第一室2连通并设有第一口，第一口处设有第一阀门3；第一室与大气端设有第二阀门4。第一室1内部设有传送机构11，第一室2设有旋转架21。具体地，第一室1为传送室，第一室2为真空镀膜加工室。
[0016]在本实施例中，第一室2为圆柱体，旋转架21由圆柱形笼架组成，旋转架21上固定待加工物，或通过固定治具固定待加工物。待加工物围绕圆心均匀阵列安装在旋转架21。
[0017]在本实施例中，传送机构11与旋转架21配合，通过第一口传送待加工物。传送机构11包括进出料缓存机构111和传送机械手112。传送机械手112完成待加工物在第一室1与第一室2之间的交换。出料缓存机构为坦克链结构，水平方向移动待加工物。
[0018]具体地，进出料缓存机构111分为进料缓存机构和出料换存机构。人工或自动化设备通过与进料缓存机构配合，将待加工物传送至进料缓存机构上，传送机械手112将待加工物传送到第一室2旋转架21上，加工完毕后，传送机械手112将完成物从第一室2传送到出料缓存机构上的，进而送到装置外。在其他实施例中，进出料缓存机构111为一体式环形结构，设有上料端和下料端。待加工物从上料端传送，加工完毕后从下料端取走。
[0019]在本实施例中，第一室1和第一室2之间设有真空阀门，第一室1和大气端设有第二阀门4。第一室2需长期保持真空状态。使用空传送装置时,步骤如下：
[0020]第一步：将待加工物放置在进料缓存机构上，关闭第二阀门4，抽真空。
[0021]第二步：打开第一阀门3，完成物从旋转架21传送至出料缓存机构，待加工物从进料缓存机构传送至旋转架21上，当传送完毕后，关闭第二阀门4。
[0022]第三步：第二室2处于真空状态，开始工作。
[0023]第四步，打开第二阀门4，第一室1与大气连接，继续从外界传送待加工物，即重复第一步。
[0024]这样可以满足真空镀膜室长期处于真空，不被大气污染，同时可以加快抽气速度，提升效率。
[0025]本技术的一种真空传送装置，第一室用于传送待加工物，第二室是真空加工
区域。第一室内设置有传送机构，第二室内设有旋转架。传送机构完成产品交替传送工作，将待加工物传送至旋转架上以及将完成物从旋转架上传送出去。第一室与第二室之间只设置一个连接口，可以满足真空镀膜室长期处于真空，不被大气污染，同时可以加快抽真空气速度，提升生产效率。本技术的一种真空传送装置提升了生产效率，减少了人工成本，提高了镀膜产品的膜层质量，具有实用性。
[0026]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中间”、“长度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0027]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
[0028]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种真空传送装置，其特征在于，包括第一室和第二室；所述第一室与第二室连通并设有第一口，所述第一口处设有第一阀门；所述第一室与大气端设有第二阀门；所述第一室内部设有传送机构，所述第二室设有旋转架；所述第一室传送机构与旋转架配合，通过所述第一口传送待加工物。2.根据权利要求1所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱宇彬，岑东阳，陆晓龙，
申请(专利权)人：广东振华科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。