一种双面电子束蒸发卷绕镀膜装置及其使用方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种双面电子束蒸发卷绕镀膜装置以及使用方法，包括真空腔体，真空腔体内设置有第一镀膜传动机构中的第一镀膜辊、第二镀膜传动机构中的第二镀膜辊、收卷机构、放卷机构、加料装置、电子束蒸发机构和溅射机构；电子束蒸发机构包括两个电子枪，两个电子枪的枪口分别正对第一镀膜辊和第二镀膜辊的底部圆周面；溅射机构包括两个溅射阴极，两个溅射阴极分别设置在正对第一镀膜辊和第二镀膜辊的侧边圆周面；所述电子束蒸发机构的坩埚与所述加料装置的加料口相连通。本发明专利技术使用电子束蒸发机构作为主要镀膜机构，溅射机构作为增加膜层附着力的辅助镀膜机构,不仅实现了较好的膜层结合力，还获得较高的沉积速率。还获得较高的沉积速率。还获得较高的沉积速率。

【技术实现步骤摘要】
一种双面电子束蒸发卷绕镀膜装置及其使用方法


[0001]本专利技术涉及真空镀膜
，具体涉及一种双面电子束蒸发卷绕镀膜装置及其使用方法。

技术介绍

[0002]新能源动力电池行业发展迅猛，作为动力电池负极材料的铜箔，需求量极大。出于安全问题考虑，目前铜箔制作工艺已发展到使用PET复合铜箔，相对传统铜箔，能够提升电池的能量密度，安全性以及使用寿命。
[0003]动力电池负极材料主要有铜箔与铝箔。传统的铜箔与铝箔主要是由辊压或电解工艺制造，其箔材的厚度受到材料延展性及生产设备与工艺特性的限制，在卷绕和辊压时存在铜/铝不均匀的问题，同时厚度继续减薄的空间有限。
[0004]而使用PET复合箔材时，PET的冲击强度和弯折性能更好，具备较好的高低温性能，对水蒸气较低的渗透性，以及更好的绝缘性能，显然比传统箔材更具潜力。
[0005]目前PET复合铜箔重要生产工艺是先在PET薄膜上溅射数十纳米厚的铜膜作为导电层，然后在水电镀设备中将膜层加厚至1微米左右。由于工艺选用超薄的PET薄膜(4微米左右)作为基材，目的的节约成本与体积以获本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种双面电子束蒸发卷绕镀膜装置，其特征在于，包括真空腔体，所述真空腔体内设置第一镀膜传动机构、第二镀膜传动机构、收卷机构、放卷机构、加料装置、电子束蒸发机构和溅射机构；所述第一镀膜传动机构设置有与第一驱动电机输出轴连接的第一镀膜辊；所述第二镀膜传动机构设置有与第二驱动电机输出轴连接的第二镀膜辊；所述电子束蒸发机构包括两个电子枪，两个所述电子枪的枪口分别正对所述第一镀膜辊和第二镀膜辊的底部圆周面；所述溅射机构包括两个溅射阴极，两个所述溅射阴极分别设置在正对所述第一镀膜辊和第二镀膜辊的侧边圆周面；所述电子束蒸发机构的坩埚与所述加料装置的加料口相连通；所述放卷机构设置有与第三驱动电机输出轴连接的放卷辊；所述收卷机构设置有与第四驱动电机输出轴连接的收卷辊。2.根据权利要求1所述的双面电子束蒸发卷绕镀膜装置，其特征在于，所述放卷辊和第一镀膜辊设置有展平辊；所述第一镀膜辊和第二镀膜辊设置有展平辊；且所述展平辊设置在薄膜分别进入所述第一镀膜辊和第二镀膜辊的一端。3.根据权利要求2所述的双面电子束蒸发卷绕镀膜装置，其特征在于，所述加料装置包括送丝组件；所述送丝组件与加料口连接。4.根据权利要求1所述的双面电子束蒸发卷绕镀膜装置，其特征在于，所述收卷辊与放卷辊设置成单端为活动可拆卸。5.根据权利要求1所述的双面电...

【专利技术属性】
技术研发人员：潘振强，朱宇彬，梁凯基，
申请(专利权)人：广东振华科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：