【技术实现步骤摘要】
本申请涉及真空镀膜，尤其涉及一种真空镀膜舱及真空镀膜设备。
技术介绍
1、对真空镀膜机的真空镀膜舱进行抽真空时，一般采用抽气泵进行，抽气泵通过超高真空挡板阀与真空镀膜舱的排气口连接。这种方式存在抽真空效率低的问题。
技术实现思路
1、有鉴于此，本申请的目的是为了克服现有技术中的不足，提供一种真空镀膜舱及真空镀膜设备，旨在解决现有技术中，真空镀膜舱抽真空效率低的技术问题。
2、本申请提供如下技术方案：
3、第一方面，本申请实施例提供一种真空镀膜舱，所述真空镀膜舱包括：
4、真空舱，所述真空舱具有多个抽气端，多个所述抽气端在所述真空舱的延伸方向相间隔设置；
5、抽真空组件和第一超高真空插板阀，所述抽真空组件通过所述第一超高真空插板阀与所述抽气端连接，所述第一超高真空插板阀至少能够使所述真空舱和所述抽真空组件在断开状态和连通状态之间切换。
6、在第一方面的其中一个实施例中，所述抽真空组件包括：
7、粗抽泵组，所述粗抽泵组具有...
【技术保护点】
1.一种真空镀膜舱，其特征在于，所述真空镀膜舱包括：
2.根据权利要求1所述的真空镀膜舱，其特征在于，所述抽真空组件包括：
3.根据权利要求2所述的真空镀膜舱，其特征在于，所述抽真空组件还包括：
4.根据权利要求2所述的真空镀膜舱，其特征在于，所述精抽泵组包括：
5.根据权利要求4所述的真空镀膜舱，其特征在于，所述抽气端、所述第一超高真空插板阀和所述分子泵位于同一直线。
6.根据权利要求2所述的真空镀膜舱，其特征在于，所述抽真空组件还包括：
7.根据权利要求2所述的真空镀膜舱，其特征在于，所述粗抽...
【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜舱，其特征在于，所述真空镀膜舱包括：
2.根据权利要求1所述的真空镀膜舱，其特征在于，所述抽真空组件包括：
3.根据权利要求2所述的真空镀膜舱，其特征在于，所述抽真空组件还包括：
4.根据权利要求2所述的真空镀膜舱，其特征在于，所述精抽泵组包括：
5.根据权利要求4所述的真空镀膜舱，其特征在于，所述抽气端、所述第一超高真空插板阀和所述分子泵位于同一直线。
6.根据权利要求2所述的真空镀膜舱，其特征在于，所述抽真空组件还包括：
【专利技术属性】
技术研发人员：冯荣达，朱宇彬，张德云，
申请(专利权)人：广东振华科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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