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本申请提供一种真空镀膜舱及真空镀膜设备，涉及真空镀膜技术领域。真空镀膜舱包括真空舱、抽真空组件和第一超高真空插板阀，真空舱具有多个抽气端，多个抽气端在真空舱的延伸方向相间隔设置；抽真空组件通过第一超高真空插板阀与抽气端连接，第一超高真空插板...
该专利属于广东振华科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东振华科技股份有限公司授权不得商用。

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