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一种双面电子束蒸发卷绕镀膜装置及其使用方法制造方法及图纸
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下载一种双面电子束蒸发卷绕镀膜装置及其使用方法的技术资料
文档序号:36298903
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本发明公开了一种双面电子束蒸发卷绕镀膜装置以及使用方法,包括真空腔体,真空腔体内设置有第一镀膜传动机构中的第一镀膜辊、第二镀膜传动机构中的第二镀膜辊、收卷机构、放卷机构、加料装置、电子束蒸发机构和溅射机构;电子束蒸发机构包括两个电子枪,两个...
该专利属于广东振华科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广东振华科技股份有限公司授权不得商用。
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