应用于功能涂层真空镀膜设备的自动传输结构制造技术

本发明专利技术公开了一种应用于功能涂层真空镀膜设备的自动传输结构，包括进程传输机构、回程传输机构以及设于进程传输机构和回程传输机构两端的横移装置；进程传输机构包括若干独立的、能够纵向传输工件架前进的进程传输轨道，各进程传输轨道位于同一轴线上，每个进程传输轨道安装于对应的一真空镀膜腔内；回程传输机构包括一平行于进程传输轨道设置的、能够纵向传输工件架返回的回程传输轨道；横移装置包括能够纵向传输工件架移动的对接传输轨道、以及用于驱动对接传输轨道横移使得对接传输轨道能够分别与进程传输轨道和回程传输轨道对接的横移机构。本发明专利技术实现了工件架的循环传输，工作的连续性更好，提高了镀膜的效率。提高了镀膜的效率。提高了镀膜的效率。

【技术实现步骤摘要】
应用于功能涂层真空镀膜设备的自动传输结构


[0001]本专利技术涉及真空镀膜
，具体涉及一种应用于功能涂层真空镀膜设备的自动传输结构。

技术介绍

[0002]真空镀膜是在真空室内将材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上，市面上的真空镀膜有三种形式，即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。
[0003]传统的真空镀膜是在一个固定的镀膜空间内进行，镀件每镀一层膜，需要从镀膜腔体取出，再进行第二次镀膜，工作效率低，成本高，污染环境严重。
[0004]为了解决上述问题，市面上出现了连续真空镀膜装置。例如，中国专利技术专利CN202482431U公开了一种连续真空镀膜装置，该装置由若干个镀膜腔体串接节联构成，每个镀膜腔体配置有离子束清洗源、和/或过滤阴极真空镀膜膜源、和/或磁控溅射源和分子真空泵，镀膜腔体之间用插板阀关闭密封或开启，节联的镀膜腔体，两头各有一个装载/卸载室和一个真空过渡室，装载/卸载室后面分别有镀制工件转动架平台，镀制工件转动架平台上放置镀制工件转动架，镀制工件转动架上悬挂有镀制工件，镀制工件转动架通过传动滚轴传送到各个镀膜腔体，依次、连续实施不同需求的连续镀膜后，分别从一端的装载/卸载室取出。该连续真空镀膜装置可长时间连续镀膜，延长了设备维护周期，一次能够镀多个镀件，生产效率提高许多倍。
[0005]然而，上述连续真空镀膜装置存在如下问题：(1)镀制工件转动架只能从真空镀膜装置的一端传送到另一端，不能循环，无法实现真正的连续，效率还有待提高；(2)通过传动滚轴传送镀制工件转动架，传送过程中镀制工件转动架容易发生偏离，导致镀制工件转动架传送到镀膜腔体内的位置发生偏差，从而影响镀膜的质量。

技术实现思路

[0006]针对现有技术中的缺陷，本专利技术提供了一种应用于功能涂层真空镀膜设备的自动传输结构，以实现工件架的循环传输，工作的连续性更好，提高了镀膜的效率。
[0007]本专利技术提供了一种应用于功能涂层真空镀膜设备的自动传输结构，包括进程传输机构、回程传输机构以及设于所述进程传输机构和回程传输机构两端的横移装置；
[0008]所述进程传输机构包括若干独立的、能够纵向传输工件架前进的进程传输轨道，各所述进程传输轨道位于同一轴线上，每个进程传输轨道安装于对应的一真空镀膜腔内；
[0009]所述回程传输机构包括一平行于所述进程传输轨道设置的、能够纵向传输工件架返回的回程传输轨道；
[0010]所述横移装置包括能够纵向传输工件架移动的对接传输轨道、以及用于驱动所述对接传输轨道横移使得对接传输轨道能够分别与所述进程传输轨道和回程传输轨道对接的横移机构。
[0011]进一步地，所述工件架的上端设有T形挂架；
[0012]所述进程传输轨道包括安装于真空镀膜腔顶部的第一轨道槽，所述第一轨道槽的相对内侧安装有若干对第一传输轮，工件架传输到进程传输轨道时，所述工件架的T形挂架挂在两侧的第一传输轮上；
[0013]所述回程传输轨道包括第一轨道架以及安装于所述第一轨道架上的第二轨道槽，所述第二轨道槽的相对内侧安装有若干对第二传输轮，工件架传输到回程传输轨道时，所述工件架的T形挂架挂在两侧的第二传输轮上；
[0014]所述横移机构包括第二轨道架、横移架和横移驱动机构，所述第二轨道架上设有横移轨道，所述横移架滑动安装于所述横移轨道上，所述横移驱动机构用于驱动所述横移架沿所述横移轨道移动，所述对接传输轨道包括第三轨道槽，所述第三轨道槽固定在所述横移架下，第三轨道槽的相对内侧安装有若干对第三传输轮，工件架传输到对接传输轨道时，所述工件架的T形挂架挂在两侧的第三传输轮上。
[0015]进一步地，所述进程传输机构还包括安装于真空镀膜腔底部、用于对工件架的下端进行传输导向的第一导轨。
[0016]进一步地，所述横移架的下侧连接有吊架，所述横移装置还包括安装在所述吊架的下部、用于对工件架的下端进行传输导向的第二导轨。
[0017]进一步地，所述吊架包括若干间隔设置的U形架，U形架的两侧架的上端固定在所述横移架上，所述第三轨道槽和第二导轨均设于U形架的两侧架之间，第二导轨安装在各所述U形架的底架上。
[0018]进一步地，所述第一导轨上间隔设有若干对第一导向轮，两侧的第一导向轮之间形成对工件架的下端进行传输导向的轨道，所述第二导轨上间隔设有若干对第二导向轮，两侧的第一导向轮之间形成对工件架的下端进行传输导向的轨道。
[0019]进一步地，所述第二导轨朝向真空镀膜腔的一端还设有一引导件，所述引导件朝向真空镀膜腔的一端设有V形引导口。
[0020]进一步地，所述第二轨道架包括两条横梁，每条所述横梁下设有若干根支撑柱，每条横梁上均设有一所述横移轨道，所述横移架的两端分别滑动安装在两侧的横移轨道上。
[0021]进一步地，所述横移驱动机构包括沿所述横移轨道安装的齿条、与所述齿条啮合的齿轮、安装在所述横移架上用于驱动所述齿轮转动的电机。
[0022]进一步地，所述第二轨道架上还设有沿所述横移轨道延伸的电线保护拖链，所述电线保护拖链的一端折弯并固定在所述横移架上，所述电机的供电线沿所述电线保护拖链延伸。
[0023]本专利技术的有益效果体现在：
[0024]工作时，镀膜工件安装在工件架上，工件架首先位于起始端的横移装置的对接传输轨道上，镀膜程序启动后，首先通过横移机构驱动对接传输轨道移动，使得对接传输轨道与进程传输轨道对准，然后对接传输轨道传输工件架过渡到进程传输轨道，再依次通过各进程传输轨道传输经过各真空镀膜腔，工件架经过各真空镀膜腔时，真空镀膜腔两端的真空门阀关闭，从而对工件架上的镀膜工件进行镀膜处理，进程传输轨道采用分段式设计，在满足工件架传输的同时，不会影响真空门阀的关闭，工件镀膜完成后，回程端横移装置的横移机构驱动对接传输轨道移动到与进程传输轨道对准的位置，再通过进程传输轨道传输工件架过渡到对接传输轨道上，然后再通过横移机构驱动对接传输轨道移动，使得对接传输
轨道与回程传输轨道对准，然后对接传输轨道传输工件架过渡到回程传输轨道，然后通过回程传输轨道传输到起始端的横移装置，最后过渡到与回程传输轨道对准的起始端的对接传输轨道上，从而实现工件架的循环传输。因此，相对于现有技术，本申请实现了工件架的循环传输，工作的连续性更好，提高了镀膜的效率。
附图说明
[0025]为了更清楚地说明本专利技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。在所有附图中，类似的元件或部分一般由类似的附图标记标识。附图中，各元件或部分并不一定按照实际的比例绘制。
[0026]图1为本专利技术实施例的整体结构示意图；
[0027]图2为本专利技术实施例的进程传输机构的俯视图；
[0028]图3为本专利技术实施例的进程传输机构与工件架结合的示意图；
[0029]图4为本专利技术实施例的回程传输机构的立体图；
[0030]图5为本专利技术实施例的回程传输机构与工本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种应用于功能涂层真空镀膜设备的自动传输结构，其特征在于，包括：进程传输机构，所述进程传输机构包括若干独立的、能够纵向传输工件架前进的进程传输轨道，各所述进程传输轨道位于同一轴线上，每个进程传输轨道安装于对应的一真空镀膜腔内；回程传输机构，所述回程传输机构包括一平行于所述进程传输轨道设置的、能够纵向传输工件架返回的回程传输轨道；以及设于所述进程传输机构和回程传输机构两端的横移装置，所述横移装置包括能够纵向传输工件架移动的对接传输轨道、以及用于驱动所述对接传输轨道横移使得对接传输轨道能够分别与所述进程传输轨道和回程传输轨道对接的横移机构。2.根据权利要求1所述的应用于功能涂层真空镀膜设备的自动传输结构，其特征在于，所述工件架的上端设有T形挂架；所述进程传输轨道包括安装于真空镀膜腔顶部的第一轨道槽，所述第一轨道槽的相对内侧安装有若干对第一传输轮，工件架传输到进程传输轨道时，所述工件架的T形挂架挂在两侧的第一传输轮上；所述回程传输轨道包括第一轨道架以及安装于所述第一轨道架上的第二轨道槽，所述第二轨道槽的相对内侧安装有若干对第二传输轮，工件架传输到回程传输轨道时，所述工件架的T形挂架挂在两侧的第二传输轮上；所述横移机构包括第二轨道架、横移架和横移驱动机构，所述第二轨道架上设有横移轨道，所述横移架滑动安装于所述横移轨道上，所述横移驱动机构用于驱动所述横移架沿所述横移轨道移动，所述对接传输轨道包括第三轨道槽，所述第三轨道槽固定在所述横移架下，第三轨道槽的相对内侧安装有若干对第三传输轮，工件架传输到对接传输轨道时，所述工件架的T形挂架挂在两侧的第三传输轮上。3.根据权利要求2所述的应用于功能涂层真空镀膜设备的自动传输结构，其特征在于，所述进程传输机构还包括安装于真空镀膜腔底部、用于对工件架的下端进行传输导向的第一导轨。...

【专利技术属性】
技术研发人员：ꢀ七四专利代理机构，
申请(专利权)人：圣思科技廊坊有限公司，
类型：发明
国别省市：