一种真空门阀制造技术

本实用新型专利技术公开了一种真空门阀，包括固定板、驱动板、密封板、具有第一伸缩杆的第一气缸和具有第二伸缩杆的第二气缸；所述第一气缸安装在所述固定板上，所述第一伸缩杆与所述驱动板固定；所述第二气缸安装在所述驱动板上，所述第二伸缩杆与所述密封板固定、且与所述第一伸缩杆呈垂直关系；采用上述结构，通过第一气缸和第二气缸分别驱动驱动板和密封板动作，由于第一伸缩杆与第二伸缩杆呈垂直关系，使得该真空门阀的密封板可分别在第一伸缩杆和第二伸缩杆作用下向相互垂直的两个方向移动，一方面防止真空门阀对进出料口的工件造成阻挡或干涉，另一方面保证了真空门阀的密封效果。另一方面保证了真空门阀的密封效果。另一方面保证了真空门阀的密封效果。

【技术实现步骤摘要】
一种真空门阀


[0001]本技术涉及真空镀膜
，具体涉及一种真空门阀。

技术介绍

[0002]真空镀膜是在真空炉内将材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。传统的真空炉通常为单体结构，在真空炉的侧面开门，该门与真空炉铰接，在镀件每次镀膜时，需要工作人员手动开关门，以将镀件置入或取出，非常不方便。

技术实现思路

[0003]针对现有技术中的缺陷，本技术的目的是提供一种开关方便的真空门阀。
[0004]本技术所采用的技术方案是：
[0005]一种真空门阀，包括固定板、驱动板、密封板、具有第一伸缩杆的第一气缸和具有第二伸缩杆的第二气缸；所述第一气缸安装在所述固定板上，所述第一伸缩杆与所述驱动板固定；所述第二气缸安装在所述驱动板上，所述第二伸缩杆与所述密封板固定、且与所述第一伸缩杆呈垂直关系。
[0006]进一步，所述第一气缸为两个，两个第一气缸分别固定安装在靠近所述固定板两侧的位置，两个所述第一伸缩杆均与所述驱动板连接。
[0007]进一步，所述固定板位于所述驱动板的侧面。
[0008]进一步，所述固定板为间隔设置的两块，两块固定板上均开设有固定孔。
[0009]进一步，所述第二气缸为三个，三个第二气缸分别固定安装在所述驱动板的中间以及靠近驱动板两侧的位置，三个所述第二伸缩杆均与所述密封板连接。
[0010]进一步，所述驱动板和密封板重叠设置。
[0011]进一步，沿所述密封板周向设有向驱动板方向凹陷的凹槽，在该凹槽内设有密封圈。r/>[0012]进一步，还包括挡板，该挡板通过立柱固定安装在所述驱动板上、且远离所述密封板的一侧，在所述挡板与所述驱动板之间形成容置空间。
[0013]本申请的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。
附图说明
[0014]为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。在所有附图中，类似的元件或部分一般由类似的附图标记标识。附图中，各元件或部分并不一定按照实际的比例绘制。
[0015]图1为本申请实施例所提供的真空门阀的结构示意图；
[0016]图2为本申请实施例所提供的真空门阀的侧视图；
[0017]图3为本申请实施例所提供的密封板的结构示意图。
[0018]其中，固定板1、固定孔11、第一气缸2、挡板3、立柱4、驱动板5、密封板6、第二气缸7、凹槽61。
具体实施方式
[0019]这里，要说明的是，本技术涉及的功能、方法等仅仅是现有技术的常规适应性应用。因此，本技术对于现有技术的改进，实质在于硬件之间的连接关系，而非针对功能、方法本身，也即本技术虽然涉及一点功能、方法，但并不包含对功能、方法本身提出的改进。本技术对于功能、方法的描述，是为了更好的说明本技术，以便更好的理解本技术。
[0020]下面将结合附图对本技术技术方案的实施例进行详细的描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本技术的技术方案，因此只作为示例，而不能以此来限制本技术的保护范围。
[0021]需要注意的是，除非另有说明，本申请使用的技术术语或者科学术语应当为本技术所属领域技术人员所理解的通常意义。
[0022]参见图1～图3，本申请一种真空门阀，包括固定板1、驱动板5、密封板6、具有第一伸缩杆的第一气缸2和具有第二伸缩杆的第二气缸7；所述第一气缸2安装在所述固定板1上，所述第一伸缩杆与所述驱动板5固定；所述第二气缸7安装在所述驱动板5上，所述第二伸缩杆与所述密封板6固定、且与所述第一伸缩杆呈垂直关系。
[0023]本申请真空门阀可用于仓体的料口(进料口或出料口)，以打开或关闭仓体；使用时，将真空门阀的固定板1固定安装在仓体的料口的一侧，通过第一气缸2上的第一伸缩杆伸长或缩回，将驱动板5和密封板6驱动至料口上或者远离料口；当驱动板5和密封板6位于料口上后，再通过驱动第二气缸7上的第二伸缩杆伸长或缩回，驱动密封板6紧贴在料口上以封堵料口或者远离料口以打开料口。
[0024]采用上述结构，通过第一气缸2和第二气缸7分别驱动驱动板5和密封板6动作，由于第一伸缩杆与第二伸缩杆呈垂直关系，使得该真空门阀的密封板6可分别在第一伸缩杆和第二伸缩杆作用下向相互垂直的两个方向移动，一方面防止真空门阀对进出料口的工件造成阻挡或干涉，另一方面保证了真空门阀的密封效果。
[0025]固定板1位于驱动板5的侧面，固定板1为间隔设置的两块，两块固定板1上均开设有固定孔11。一方面，真空泵可通过穿过固定孔11的螺丝固定安装在料口的一侧，另一方面，可将与第一气缸2和第二气缸7连接的控制器等固定安装在固定板1上。
[0026]第一气缸2为两个，两个第一气缸2分别固定安装在靠近所述固定板1两侧的位置，两个所述第一伸缩杆均与所述驱动板5连接。通过两个气缸驱动驱动板5动作，保证驱动板5运动过程中的稳定性。
[0027]驱动板5和密封板6重叠设置，驱动板5和密封板6均可以为与料口相匹配的长方体结构，驱动板5的长度小于密封板6的长度。
[0028]所述第二气缸7的行程小于第一气缸2的行程，第二气缸7为三个，三个第二气缸7分别固定安装在所述驱动板5的中间以及靠近驱动板5两侧的位置，三个所述第二伸缩杆均与所述密封板6连接。采用三个第二气缸7设置，保证了施加在密封板6上的力的均匀性，保
证了密封板6的密封效果。
[0029]第一气缸2和第二气缸7均采用双作用气缸，具有气开和气关功能。
[0030]为了进一步提高密封效果，沿所述密封板6周向设有向驱动板5方向凹陷的凹槽61，在该凹槽61内设有密封圈，该密封圈采用橡胶密封圈。当密封板6紧贴在料口时，密封圈密封在料口上，提高了真空门阀的密封效果，保证了仓体内的超高真空度。
[0031]在驱动板5上还可以设置挡板3。具体的，该挡板3通过立柱4固定安装在所述驱动板5上、且远离所述密封板6的一侧，在所述挡板3与所述驱动板5之间形成容置空间。挡板3可以为与驱动板5类似的长方体结构，挡板3的长度小于驱动板5的长度，通过挡板3的设置，可将部分电子器件固定在挡板3与驱动板5之间形成的容置空间内，使整个真空门阀更加整洁。
[0032]本申请中，固定板1、驱动板5、密封板6、挡板3及立柱4均采用航空铝材，门阀工作压强为1
‑
10
‑9mbar，可循环使用寿命达500000次。
[0033]在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空门阀，其特征在于，包括固定板、驱动板、密封板、具有第一伸缩杆的第一气缸和具有第二伸缩杆的第二气缸；所述第一气缸安装在所述固定板上，所述第一伸缩杆与所述驱动板固定；所述第二气缸安装在所述驱动板上，所述第二伸缩杆与所述密封板固定、且与所述第一伸缩杆呈垂直关系。2.根据权利要求1所述的真空门阀，其特征在于，所述第一气缸为两个，两个第一气缸分别固定安装在靠近所述固定板两侧的位置，两个所述第一伸缩杆均与所述驱动板连接。3.根据权利要求1所述的真空门阀，其特征在于，所述固定板位于所述驱动板的侧面。4.根据权利要求1所述的真空门阀，其特征在于，所述固定板为间隔设置的两块...

【专利技术属性】
技术研发人员：ꢀ七四专利代理机构，
申请(专利权)人：圣思科技廊坊有限公司，
类型：新型
国别省市：