本实用新型专利技术公开了一种晶圆盒制造用清洗装置，包括底框、顶框和安装架，底框的底端设置有排液口，底框的内部设置有摆放结构，底框的上方设置有顶框，底框的两侧均安装有调节结构，顶框内部的顶端固定连接有安装架，安装架的底端安装有清洁机构，驱动电机固定连接于顶框顶端的一侧。本实用新型专利技术通过设置有清洁机构，随着驱动电机的启动使其通过皮带传动结构同时带动若干传动杆进行转动，进而使毛刷棒对晶圆盒内壁进行旋转清洁，于此同时将清洗液通过注水口注入导水管的内部，并由清洗喷头向晶圆盒方向喷洒，使晶圆盒在清洗喷头与毛刷棒的双重清洁下更加干净，实现了提高该装置的清洗便捷性。便捷性。便捷性。
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆盒制造用清洗装置
[0001]本技术涉及晶圆盒清洗
，特别涉及一种晶圆盒制造用清洗装置。
技术介绍
[0002]在半导体生产或运输时由于半导体整体质地较为脆弱，为防止其出现损坏，往往会将其装载在专用的晶圆盒中进行暂存，而为防止晶圆盒内部在生产制造时残存污垢对半导体产生影响，因此在晶圆盒生产制造后往往需使用专用的清洗装置对其进行有效清洗；
[0003]为此，公开号为CN208840147U的专利说明书中公开了一种晶圆装载盒清洗装置，包括：清洗槽，置物架，位于所述清洗槽内，用于放置晶圆装载盒；磁驱动部件，安装于所述清洗槽外，用于产生磁场；磁悬浮转子，用于放置于晶圆装载盒内，在受所述磁驱动部件产生的磁场驱动下能够进行转动。所述晶圆装载盒清洗装置具有较好的清洗效果。
[0004]上述清洗装置在进行清洗时其内部结构较为复杂，且过多的精密零件使得该清洗装置使用成本大大提高，对于小微企业来说实用性并不理想。
技术实现思路
[0005](一)要解决的技术问题
[0006]本技术的目的是提供一种晶圆盒制造用清洗装置，用以解决上述清洗装置内部结构较为复杂使用成本较高的缺陷。
[0007](二)
技术实现思路
[0008]为了解决上述技术问题，本技术提供如下技术方案：一种晶圆盒制造用清洗装置，包括底框、顶框和安装架，所述底框的底端设置有排液口，所述底框的内部设置有摆放结构，所述底框的上方设置有顶框，所述底框的两侧均安装有调节结构，所述顶框内部的顶端固定连接有安装架，所述安装架的底端安装有清洁机构，所述清洁机构包括驱动电机、皮带传动结构、注水口、导水管、清洗喷头、传动杆和毛刷棒，所述驱动电机固定连接于顶框顶端的一侧。
[0009]优选的。所述摆放结构包括挡环、限位插杆、承载框、限位孔和限位架，所述挡环固定连接于底框内侧壁的顶端，所述挡环的顶端固定连接有限位插杆，所述挡环的顶部安装有承载框，所述承载框顶端内部的外侧设置有限位孔，所述承载框的内部镶嵌有限位架。
[0010]优选的。所述限位插杆与限位孔内部之间呈镶嵌结构，所述承载框位于底框的中间位置处，以此使承载框内部晶圆盒得以平整清洁。
[0011]优选的。所述驱动电机的底端延伸至顶框的内部且与皮带传动结构的顶端固定连接，所述顶框顶端的另一侧设置有注水口，所述注水口的底端延伸至顶框的内部且与导水管顶端的一侧固定连接，所述导水管的底端设置有清洗喷头，所述皮带传动结构的底端贯穿至安装架的底端且与传动杆的顶端固定连接，所述传动杆外侧壁的底端安装有毛刷棒。
[0012]优选的。所述清洗喷头在导水管的底端呈等间距分布，所述传动杆与毛刷棒内部之间呈镶嵌结构，以此使毛刷棒可进行更换。
[0013]优选的。所述调节结构包括支撑板、伺服电机、传动螺杆、螺纹套、滑套和滑杆，所述支撑板固定连接于底框的一端，所述支撑板的底端固定连接有伺服电机，所述伺服电机的顶端延伸至支撑板的顶端且与传动螺杆的底端固定连接，所述顶框的一端固定连接有螺纹套，所述顶框的两侧均固定连接有滑套，所述底框的两侧均固定连接有滑杆。
[0014]优选的。所述传动螺杆与螺纹套内部之间呈螺纹连接结构，所述滑套与滑杆内部之间呈滑动结构，以此使顶框的升降更加平稳。
[0015](三)有益效果
[0016]本技术提供的一种晶圆盒制造用清洗装置，其优点在于：通过设置有清洁机构，随着驱动电机的启动使其通过皮带传动结构同时带动若干传动杆进行转动，进而使毛刷棒对晶圆盒内壁进行旋转清洁，于此同时将清洗液通过注水口注入导水管的内部，并由清洗喷头向晶圆盒方向喷洒，使晶圆盒在清洗喷头与毛刷棒的双重清洁下更加干净，实现了提高该装置的清洗便捷性；
[0017]通过设置有摆放结构，将承载框摆放至于挡环的顶端，并使限位插杆插入限位孔的内部，使承载框可稳定摆放至底框的内部不会出现震动，随后将若干晶圆盒等间距摆放至限位架内部，使晶圆盒与限位架相契合，避免晶圆盒在被毛刷棒清洁时出现晃动，实现了对晶圆盒的稳定摆放；
[0018]通过设置有调节结构，在该装置进行使用时启动伺服电机使其带动传动螺杆进行转动，此时与传动螺杆螺纹连接的螺纹套将带动顶框进行移动，通过控制伺服电机的正反转进而控制顶框的升降，因此使毛刷棒得以通过控制而插入晶圆盒的内部进行清洁，实现了提高该装置的实用性。
附图说明
[0019]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0020]图1为本技术的正视剖面结构示意图；
[0021]图2为本技术的后视结构示意图；
[0022]图3为本技术的俯视剖面结构示意图；
[0023]图4为本技术的摆放结构三维局部结构示意图；
[0024]图5为本技术的清洁机构正视结构示意图。
[0025]图中：1、底框；2、排液口；3、摆放结构；301、挡环；302、限位插杆；303、承载框；304、限位孔；305、限位架；4、顶框；5、安装架；6、清洁机构；601、驱动电机；602、皮带传动结构；603、注水口；604、导水管；605、清洗喷头；606、传动杆；607、毛刷棒；7、调节结构；701、支撑板；702、伺服电机；703、传动螺杆；704、螺纹套；705、滑套；706、滑杆。
具体实施方式
[0026]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描
述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0027]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0028]实施例一
[0029]请参阅图1
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5，本技术提供的一种晶圆盒制造用清洗装置，包括底框1、顶框4和安装架5，底框1的底端设置有排液口2，底框1的上方设置有顶框4，顶框4内部的顶端固定连接有安装架5，安装架5的底端安装有清洁机构6，清洁机构6包括驱动电机601、皮带传动结构602、注水口603、导水管604、清洗喷头605、传动杆606和毛刷棒607，驱动电机601固定连接于顶框4顶端的一侧，驱动电机601本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆盒制造用清洗装置，包括底框(1)、顶框(4)和安装架(5)，其特征在于：所述底框(1)的底端设置有排液口(2)，所述底框(1)的内部设置有摆放结构(3)，所述底框(1)的上方设置有顶框(4)，所述底框(1)的两侧均安装有调节结构(7)；所述顶框(4)内部的顶端固定连接有安装架(5)；所述安装架(5)的底端安装有清洁机构(6)，所述清洁机构(6)包括驱动电机(601)、皮带传动结构(602)、注水口(603)、导水管(604)、清洗喷头(605)、传动杆(606)和毛刷棒(607)，所述驱动电机(601)固定连接于顶框(4)顶端的一侧。2.根据权利要求1所述的一种晶圆盒制造用清洗装置，其特征在于：所述摆放结构(3)包括挡环(301)、限位插杆(302)、承载框(303)、限位孔(304)和限位架(305)，所述挡环(301)固定连接于底框(1)内侧壁的顶端，所述挡环(301)的顶端固定连接有限位插杆(302)，所述挡环(301)的顶部安装有承载框(303)，所述承载框(303)顶端内部的外侧设置有限位孔(304)，所述承载框(303)的内部镶嵌有限位架(305)。3.根据权利要求2所述的一种晶圆盒制造用清洗装置，其特征在于：所述限位插杆(302)与限位孔(304)内部之间呈镶嵌结构，所述承载框(303)位于底框(1)的中间位置处。4.根据权利要求1所述的一种晶圆盒制造用清洗装置，其特征在于：所述驱动电机(601)的底端延伸至顶框(4)的内部且与皮带...
【专利技术属性】
技术研发人员：于长峰，
申请(专利权)人：东莞市能宏塑胶制品有限公司，
类型：新型
国别省市：
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