一种晶圆台的旋转扩张设备制造技术

本实用新型专利技术涉及晶圆生产技术领域，提供一种晶圆台的旋转扩张设备，包括从动齿轮、连接板和固定板，从动齿轮的一端安装有主齿轮，且主齿轮的底端安装有驱动电机，从动齿轮的内部安装有连接柱，且连接柱的底端安装有底座，连接柱外侧的顶端均匀安装有固定板，固定板一侧的两端均设置有拆装结构，拆装结构包括有预留孔、旋把、螺杆和限位块，旋把均安装在固定板一侧的两端，旋把的一端均安装有螺杆，且螺杆的一端均安装有限位块。本实用新型专利技术通过在固定板一侧两端设置的旋把，转动旋把，螺杆带动限位块向固定板两端的方向移动，解除对连接板的固定限制，便可取下连接板，实现对驱动气缸进行维修的目的，提高维修效率。提高维修效率。提高维修效率。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆台的旋转扩张设备


[0001]本技术涉及晶圆生产
，特别涉及一种晶圆台的旋转扩张设备。

技术介绍

[0002]随着经济水平的不断提高，晶圆得到了广泛的应用，晶圆是指制作硅半导体电路所用得到硅晶片，在晶圆封装的过程中，需要在晶圆片上贴上晶圆蓝膜，晶圆蓝膜是作为切割研磨晶圆的辅助工具，从而更容易实现晶圆的准确加工，晶圆蓝膜在使用前需要进行扩张处理，这就需要用到旋转扩张设备。
[0003]公开号为CN214848507U的专利说明书中公开了一种结构简单、工作效率高并且使晶圆蓝膜扩张均匀的晶圆蓝膜扩张机构。本技术包括底板、载膜板、内环以及驱动装置，所述内环设置在所述底板上，所述载膜板位于所述内环的上方，所述驱动装置与所述载膜板传动连接，所述载膜板上设有嵌入式凹槽，外围带有铁圈的晶圆蓝膜适配在所述嵌入式凹槽中，当所述驱动装置驱动所述载膜板下压后，所述载膜板带动铁圈下压，晶圆蓝膜压紧在所述内环上，所述内环穿过所述载膜板。本技术应用于半导体晶圆生产

[0004]上述中的现有技术方案存在不足之处，晶圆台的旋转扩张设备不便于将扩张结构拆卸下来，对扩张气缸进行维修处理，从而影响扩张结构的使用效果，降低设备的工作效率。
[0005]因此，有必要研究出一种便于维修的晶圆台的旋转扩张设备，进而能够提高该设备的工作效率。

技术实现思路

[0006](一)要解决的技术问题
[0007]本技术的目的是提供一种晶圆台的旋转扩张设备，用以解决现有的旋转扩张设备不便于对扩张气缸进行维修的缺陷。
[0008](二)
技术实现思路

[0009]为了解决上述技术问题，本技术提供如下技术方案：一种晶圆台的旋转扩张设备，包括从动齿轮、连接板和固定板，所述从动齿轮的一端安装有主齿轮，且主齿轮的底端安装有驱动电机，所述从动齿轮的内部安装有连接柱，且连接柱的底端安装有底座，所述连接柱外侧的顶端均匀安装有固定板，所述固定板一侧的两端均设置有拆装结构，所述拆装结构包括有预留孔、旋把、螺杆和限位块，所述旋把均安装在固定板一侧的两端，所述旋把的一端均安装有螺杆，且螺杆的一端均安装有限位块，所述螺杆的外侧均设置有预留孔，所述固定板的一侧均安装与连接板，所述连接板的内部均安装有驱动气缸，且驱动气缸的一端均安装有扩张板，所述驱动气缸的外侧均设置有导向结构，所述扩张板的顶端均设置有固定结构。设置的拆装结构便于对连接板进行拆卸，从而便于对驱动气缸进行维修。
[0010]优选的，所述主齿轮的直径小于从动齿轮的直径，所述主齿轮与从动次轮构成啮合结构。
[0011]优选的，所述导向结构包括有导向槽、导向块和连接块，所述连接块均安装在驱动气缸的外侧，所述连接块的两端均安装有导向块，且导向块的一端均设置有导向槽。设置的导向结构可起到一定的导向作用，提高扩张板移动的稳定性。
[0012]优选的，所述导向槽安装在连接板内部的两端，所述导向槽与导向块构成滑动结构。
[0013]优选的，所述预留孔的内壁上开设有螺纹，所述预留孔通过螺纹与螺杆相啮合。
[0014]优选的，所述螺杆呈对称设置，所述螺杆关于固定板的中心对称分布。
[0015]优选的，所述固定结构包括有转轴、固定螺栓和压板，所述转轴均安装在扩张板顶部的一端，所述转轴的顶端均铰接有压板，且压板的两端均安装有固定螺栓。设置的固定结构便于对晶圆蓝膜进行固定，从而便于后续对晶圆蓝膜进行扩张。
[0016](三)有益效果
[0017]本技术提供的晶圆台的旋转扩张设备，其优点在于：
[0018](1)通过在固定板一侧两端设置的旋把，转动旋把，螺杆带动限位块向固定板两端的方向移动，解除对连接板的固定限制，便可取下连接板，实现对驱动气缸进行维修的目的，提高维修效率；
[0019](2)通过在驱动气缸外侧设置的连接块，连接块、导向块可顺着导向槽的方向移动，实现对驱动气缸导向的目的，提高驱动气缸伸缩过程中的稳定性，从而便可提高扩张板移动的稳定性；
[0020](3)通过在扩张板顶端设置的压板，压板可对晶圆蓝膜进行限位，实现晶圆蓝膜固定的目的，通过固定螺栓的使用，可实现压板固定的目的，避免晶圆蓝膜在扩张时移动。
附图说明
[0021]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0022]图1为本技术的正视结构示意图；
[0023]图2为本技术的侧视结构示意图；
[0024]图3为本技术的驱动气缸三维结构示意图；
[0025]图4为本技术的图1中A处放大结构示意图；
[0026]图5为本技术的固定结构局部结构示意图。
[0027]图中的附图标记说明：1、主齿轮；2、扩张板；3、导向结构；301、导向槽；302、导向块；303、连接块；4、从动齿轮；5、驱动气缸；6、连接板； 7、拆装结构；701、预留孔；702、旋把；703、螺杆；704、限位块；8、固定板；9、连接柱；10、驱动电机；11、底座；12、固定结构；1201、转轴；1202、固定螺栓；1203、压板。
具体实施方式
[0028]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描
述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0029]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0030]实施例一
[0031]请参阅图1
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5，本技术提供的一种晶圆台的旋转扩张设备，包括从动次轮4、连接板6和固定板8，从动齿轮4的一端安装有主齿轮1，且主齿轮1 的底端安装有驱动电机10，主齿轮1的直径小于从动齿轮4的直径，主齿轮1 与从动齿轮4构成啮合结构，通过主齿轮1与从动齿轮4的使用，便于连接柱9带动扩张板2进行旋转。
[0032]从动齿轮4的内部安装有连接柱9，且连接柱9的底端安装有底座11，连接柱9外侧的顶端均匀安装有固定板8，固定板8一侧的两端均设置有拆装结构7，拆装结构7包括有预留孔701、旋把702、螺杆703和限位块704，旋把702均安本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆台的旋转扩张设备，包括从动齿轮(4)、连接板(6)和固定板(8)，其特征在于：所述从动齿轮(4)的一端安装有主齿轮(1)，且主齿轮(1)的底端安装有驱动电机(10)，所述从动齿轮(4)的内部安装有连接柱(9)，且连接柱(9)的底端安装有底座(11)，所述连接柱(9)外侧的顶端均匀安装有固定板(8)；所述固定板(8)一侧的两端均设置有拆装结构(7)，所述拆装结构(7)包括有预留孔(701)、旋把(702)、螺杆(703)和限位块(704)，所述旋把(702)均安装在固定板(8)一侧的两端，所述旋把(702)的一端均安装有螺杆(703)，且螺杆(703)的一端均安装有限位块(704)，所述螺杆(703)的外侧均设置有预留孔(701)，所述固定板(8)的一侧均安装于连接板(6)；所述连接板(6)的内部均安装有驱动气缸(5)，且驱动气缸(5)的一端均安装有扩张板(2)，所述驱动气缸(5)的外侧均设置有导向结构(3)，所述扩张板(2)的顶端均设置有固定结构(12)。2.根据权利要求1所述的一种晶圆台的旋转扩张设备，其特征在于：所述主齿轮(1)的直径小于从动齿轮(4)的直径，所述主齿轮(1)与从动齿轮(4)构成啮合结构。3.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：于长峰，
申请(专利权)人：东莞市能宏塑胶制品有限公司，
类型：新型
国别省市：