本实用新型专利技术提供一种化学机械研磨机台滚轮更换装置，包括：支撑主体，支撑主体设置有阻挡部；连接结构，包括调节螺栓和连接块，连接块上设置有通孔；恒力夹结构，恒力夹结构包括第一夹臂、第二夹臂和活动部，第一夹臂和第二夹臂与连接块固定连接；恒力输出结构，恒力输出结构包括握把、支撑伸缩件和传力杆，传力杆顶端与握把固定连接，传力杆底端穿过握把延伸至活动部；松紧结构和电源结构，电源结构与松紧结构电连接。本实用新型专利技术通过恒力夹结构以及阻挡部的设计，解决了现有技术中滚轮不易更换、容易造成零件损坏的问题，在使用过程中，操作人员不用直接接触待更换滚轮，降低了对人体产生危害的可能性。生危害的可能性。生危害的可能性。
【技术实现步骤摘要】
一种化学机械研磨机台滚轮更换装置
[0001]本技术涉及半导体
，特别是涉及一种化学机械研磨机台滚轮更换装置。
技术介绍
[0002]清洗单元是化学机械研磨机台重要的组成部件之一，主要对研磨后的晶圆进行清洗，去除晶圆表面研磨后附带的晶渣等微小颗粒，每个清洗单元包括两roller滚轮与一个idler滚轮，其中roller滚轮向晶圆的旋转提供动力，idler滚轮用于检测晶圆的转速。上述roller滚轮和idler滚轮具有一定的使用寿命，在达到使用寿命的期限后，工程师须使用双手操作对内部的清洗垫片进行更换，但由于清洗单元内部空间狭小，对工程师的体力与耐力都具有很大的考验，另外，清洗单元内部在使用过程中可能存在残留的化学物质，对工程师的安全也存在潜在的威胁，同时由于更换时需要拧紧固定螺帽，每个人对拧紧力度的感知不同，可能会造成零件损坏等问题。
技术实现思路
[0003]鉴于以上所述现有技术存在的问题，本技术的目的在于提供一种化学机械研磨机台滚轮更换装置，用于解决现有技术中滚轮不易更换、容易造成零件损坏和对人体可能产生危害的问题。
[0004]为实现上述目的及其他相关目的，本技术提供一种化学机械研磨机台滚轮更换装置，所述更换装置至少包括：
[0005]支撑主体，所述支撑主体包括上部框架和下部框架，所述上部框架设置有阻挡部；
[0006]连接结构，所述连接结构包括调节螺栓及连接块，所述连接块上设置有通孔，所述调节螺栓顶部与所述上部框架固定连接，所述调节螺栓底部贯穿所述通孔与所述连接块活动连接；
[0007]恒力夹结构，所述恒力夹结构包括第一夹臂、第二夹臂和活动部，所述第一夹臂和所述第二夹臂分别与所述连接块固定连接，且所述第一夹臂和所述第二夹臂分别位于所述通孔的相对两侧，所述活动部与所述第一夹臂和所述第二夹臂活动连接；
[0008]恒力输出结构，所述恒力输出结构包括握把、支撑伸缩件和传力杆，所述握把位于所述上部框架顶部外侧，所述支撑伸缩件位于所述握把与所述上部框架顶部之间且固定连接所述握把与所述上部框架，所述传力杆顶端与所述握把固定连接，且所述传力杆底端与所述活动部固定连接，结合所述阻挡部及所述支撑伸缩件的伸缩带动所述活动部限位运动，以控制所述第一夹臂、第二夹臂的开合；
[0009]松紧结构，所述松紧结构固定在所述支撑主体的下部框架；
[0010]电源结构，所述电源结构固定在所述支撑主体的下部框架且与所述松紧结构电连接。
[0011]可选地，所述通孔设置在所述连接块的对称轴上。
[0012]可选地，所述第一夹臂和所述第二夹臂关于所述连接块的对称轴对称设置。
[0013]可选地，所述支撑伸缩件关于所述传力杆对称设置。
[0014]可选地，所述传力杆和所述调节螺栓均位于所述支撑主体的对称轴所在的直线上。
[0015]可选地，所述电源结构包括电源开关按钮、电源和扭矩电机，所述电源开关按钮固定于所述握把上，所述电源与所述扭矩电机固定容置于所述下部框架。
[0016]可选地，所述松紧结构设置于所述第一夹臂和所述第二夹臂形成的夹持空间的正中心且固定在所述支撑主体的下部框架。
[0017]可选地，所述活动部包括活动连接的活动连接臂及活动连接块，所述活动连接块与所述传力杆固定连接且结合所述阻挡部限位运动，所述活动连接臂分别与所述第一夹臂、所述第二夹臂活动连接。
[0018]可选地，所述支撑主体和所述握把均为工程塑料构件。
[0019]可选地，所述恒力夹结构、所述传力杆和所述连接结构均为不锈钢构件。
[0020]如上所述，本技术的化学机械研磨机台滚轮更换装置，包括：支撑主体，所述支撑主体包括上部框架和下部框架，所述上部框架设置有阻挡部；连接结构，所述连接结构包括调节螺栓及连接块，所述连接块上设置有通孔，所述调节螺栓顶部与所述上部框架固定连接，所述调节螺栓底部贯穿所述通孔与所述连接块活动连接；恒力夹结构，所述恒力夹结构包括第一夹臂、第二夹臂和活动部，所述第一夹臂和所述第二夹臂分别与所述连接块固定连接，且所述第一夹臂和所述第二夹臂分别位于所述通孔的相对两侧，所述活动部与所述第一夹臂和所述第二夹臂活动连接；恒力输出结构，所述恒力输出结构包括握把、支撑伸缩件和传力杆，所述握把位于所述上部框架顶部外侧，所述支撑伸缩件位于所述握把与所述上部框架顶部之间且固定连接所述握把与所述上部框架，所述传力杆顶端与所述握把固定连接，且所述传力杆底端与所述活动部固定连接，结合所述阻挡部及所述支撑伸缩件的伸缩带动所述活动部限位运动，以控制所述第一夹臂、第二夹臂的开合；松紧结构，所述松紧结构固定在所述支撑主体的下部框架；电源结构，所述电源结构包括电源开关按钮、电源和扭矩电机，所述扭矩电机与所述松紧结构电连接，通过所述第一夹臂和第二夹臂形成的恒力夹夹持待更换的滚轮，使得操作人员无需接触待更换的滚轮即可实现清洗垫片的更换，采用扭矩电机控制所述松紧结构实现对固定螺帽的拧紧，保证了零件的安全性，同时在一定程度上降低人力成本和时间成本。
附图说明
[0021]图1显示为本技术的化学机械研磨机台滚轮更换装置的正视结构示意图。
[0022]图2显示为本技术的化学机械研磨机台滚轮更换装置的侧视结构示意图。
[0023]图3显示为本技术的化学机械研磨机台滚轮更换装置的立体结构示意图。
[0024]元件标号说明
[0025]10支撑主体
[0026]101阻挡部
[0027]102上部框架
[0028]103下部框架
[0029]20连接结构
[0030]201调节螺栓
[0031]202连接块
[0032]30恒力夹结构
[0033]301活动部
[0034]3011活动连接臂
[0035]3012活动连接块
[0036]302第一夹臂
[0037]303第二夹臂
[0038]40恒力输出结构
[0039]401握把
[0040]402支撑伸缩件
[0041]403传力杆
[0042]50松紧结构
[0043]60电源结构
[0044]601电源开关按钮
[0045]602电源
[0046]603扭矩电机
具体实施方式
[0047]以下由特定的具体实施例说明本技术的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其他优点及功效。
[0048]请参阅图1至图3。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本技术可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本技术所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本技术所揭示的
技术实现思路
得能涵盖的范围内本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种化学机械研磨机台滚轮更换装置，其特征在于，所述更换装置至少包括：支撑主体，所述支撑主体包括上部框架和下部框架，所述上部框架设置有阻挡部；连接结构，所述连接结构包括调节螺栓及连接块，所述连接块上设置有通孔，所述调节螺栓顶部与所述上部框架固定连接，所述调节螺栓底部贯穿所述通孔与所述连接块活动连接；恒力夹结构，所述恒力夹结构包括第一夹臂、第二夹臂和活动部，所述第一夹臂和所述第二夹臂分别与所述连接块固定连接，且所述第一夹臂和所述第二夹臂分别位于所述通孔的相对两侧，所述活动部与所述第一夹臂和所述第二夹臂活动连接；恒力输出结构，所述恒力输出结构包括握把、支撑伸缩件和传力杆，所述握把位于所述上部框架顶部外侧，所述支撑伸缩件位于所述握把与所述上部框架顶部之间且固定连接所述握把与所述上部框架，所述传力杆顶端与所述握把固定连接，且所述传力杆底端与所述活动部固定连接，结合所述阻挡部及所述支撑伸缩件的伸缩带动所述活动部限位运动，以控制所述第一夹臂、第二夹臂的开合；松紧结构，所述松紧结构固定在所述支撑主体的下部框架；电源结构，所述电源结构固定在所述支撑主体的下部框架且与所述松紧结构电连接。2.根据权利要求1所述的更换装置，其特征在于：所述通孔设...
【专利技术属性】
技术研发人员：邵辉，魏志杰，
申请(专利权)人：广州粤芯半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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