一种适用于掩模板清洗设备的装载装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种适用于掩模板清洗设备的装载装置，涉及掩膜版生产技术领域，用于安装在掩模板清洗设备内的传动机上，包括装载环、滑动夹持组件和传动连接件，装载环内设有中心板块，中心板块通过多个连接条固定在装载环的内部；滑动夹持组件设置在连接条上侧，每个连接条包括两个滑动夹持组件，滑动夹持组件夹持在待清洗的掩模板上；该传动连接件设置在中心板块下端，传动连接件与传动机连接，解决了掩模板清洗过程中人工更换夹持板存在的互相污染，影响操作员安全的问题，可以随着掩模板尺寸的变化调整装载效果，提高了掩模板更换的效率，保证了清洗过程的安全性。保证了清洗过程的安全性。保证了清洗过程的安全性。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于掩模板清洗设备的装载装置


[0001]本技术涉及掩膜版生产
，尤其涉及一种适用于掩模板清洗设备的装载装置。

技术介绍

[0002]掩膜版清洗是掩膜版生产的重要工序，掩膜版清洗的主要方式为旋转式清洗。为了提升设备的价值，同一台旋转式清洗机一般可以按照其性能对应多种尺寸掩膜版的清洗，在两种不同尺寸的掩膜版清洗时，需要切换尺寸，目前切换尺寸的方式是操作员手动更换固定掩膜版的夹持板，操作员进入清洗机清洗腔体更换夹持板时，会带入灰尘颗粒，破坏清洗腔体内的无尘环境；同时，清洗腔体内会较大量地使用酸碱性较强的化学品药液，这些化学品在清洗结束时，会残留在清洗腔体内、形成酸碱雾，此时操作员进入清洗腔体内更换夹持板的时间较长，化学品可能会影响操作员的安全，或者损坏无尘室护具，这是一个有待解决的重要问题。

技术实现思路

[0003]本技术解决了掩模板清洗过程中人工更换夹持板存在的互相污染，影响操作员安全的问题，提出了一种可以适应各种尺寸掩模板的装载装置，可以随着掩模板尺寸的变化调整装载效果，提高了掩模板更换的效率，保证了清洗过程的安全性。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种适用于掩模板清洗设备的装载装置，用于安装在掩模板清洗设备内的传动机上，其特征在于，包括：装载环(1)，所述装载环(1)内设有中心板块(3)，所述中心板块(3)通过多个连接条(2)固定在所述装载环(1)的内部；滑动夹持组件(4)，所述滑动夹持组件(4)设置在连接条(2)上侧，每个连接条(2)包括两个滑动夹持组件(4)，所述滑动夹持组件(4)夹持在待清洗的掩模板上；传动连接件(5)，该传动连接件(5)设置在所述中心板块(3)下端，所述传动连接件(5)与传动机连接。2.根据权利要求1所述的一种适用于掩模板清洗设备的装载装置，其特征在于，所述滑动夹持组件(4)包括一条设置在所述连接条(2)内的滑槽(41)，所述滑动夹持组件还包括设置在滑槽(41)内的支撑柱(42)，所述支撑柱(42)可滑动地设置在所述滑槽(41)上。3.根据权利要求2所述的一种适用于掩模板清洗设备的装载装置，其特征在于，所述支撑柱(42)顶端中央还设有夹持杆(421)，所述夹持杆(421)的半径小于所述支撑柱(42)，多个夹持杆(421)固定在所述掩模板的周围。4.根据权利要求2所述的一种适用于掩模板清洗设备的装载装置，其特征在于，所述支撑柱(42)顶部还设有防护垫层(422)，所述防护垫层(422)的上端与所述掩模板的下端抵接。5.根据权利要求2所述的一种适用于掩模板清洗设备...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙多卫，古朋远，
申请(专利权)人：成都路维光电有限公司，
类型：新型
国别省市：