一种用于上料机的硅片叠放机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于上料机的硅片叠放机构，包括底座，所述底座的一侧固定连接有壳体，壳体的一侧开设有滑孔，且壳体的内壁一侧固定连接有电机，电机输出轴的一端固定连接有螺杆，螺杆的圆周一侧螺纹连接有滑块，滑块与滑孔滑动连接，所述滑块的一侧固定连接有倒L形连接板，倒L形连接板的顶部内壁嵌接有液压缸，液压缸的输出端固定连接有滑板，滑板的一侧固定连接有两个固定杆，所述固定杆的底部分别设置有两个第一吸盘和两个第二吸盘。本实用新型专利技术在对运输台上的硅片取下并叠放时，可以使得硅片依次叠放在放置板上，以此保障硅片叠放的效率，提升了硅片后序加工处理效率，满足人们的需求。人们的需求。人们的需求。

【技术实现步骤摘要】
一种用于上料机的硅片叠放机构


[0001]本技术涉及硅片叠放
，尤其涉及一种用于上料机的硅片叠放机构。

技术介绍

[0002]光硅片由单晶硅切割成的薄片，是半导体行业的原材料，通过对硅片进行光刻、离子注入等手段，可以制成各种半导体器件，在对硅片进行加工时，需要通过上料机将硅片输送到指定地点，再将上料机运输台上的的硅片取下并进行叠放，然后再进行后序的加工处理。
[0003]目前，现有的硅片叠放机构要实现分离叠放硅片上料作业，还存在一些缺陷：在对运输台上的硅片取下并叠放时，叠放的效率较低，影响了硅片的后序加工处理，不能满足人们的需求。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种用于上料机的硅片叠放机构。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0006]一种用于上料机的硅片叠放机构，包括底座，所述底座的一侧固定连接有壳体，壳体的一侧开设有滑孔，且壳体的内壁一侧固定连接有电机，电机输出轴的一端固定连接有螺杆，螺杆的圆周一侧螺纹连接有滑块，滑块与滑孔滑动连接，所述滑块的一侧固定连接有倒L形连接板，倒L形连接板的顶部内壁嵌接有液压缸，液压缸的输出端固定连接有滑板，滑板的一侧固定连接有两个固定杆，所述固定杆的底部分别设置有两个第一吸盘和两个第二吸盘。
[0007]作为本技术再进一步的方案，所述滑板的上表面插接有两个导向柱，导向柱穿过倒L形连接板。
[0008]作为本技术再进一步的方案，所述底座的上表面固定连接有多个放置板。
[0009]作为本技术再进一步的方案，所述放置板的上表面分别固定连接有多个导向杆。
[0010]作为本技术再进一步的方案，所述底座的上表面固定连接有运输台。
[0011]作为本技术再进一步的方案，所述底座的上表面固定连接有两个支撑杆，支撑杆的一侧插接有支撑柱。
[0012]作为本技术再进一步的方案，所述支撑柱的圆周一侧套设有限位筒。
[0013]作为本技术再进一步的方案，所述底座的上表面固定连接有两个限位杆，限位杆的一侧分别固定连接有限位块。
[0014]本技术的有益效果为：
[0015]1.本技术，通过螺杆、滑块、滑孔、滑板、第一吸盘、第二吸盘和液压缸的设置，在对运输台上的硅片取下并叠放时，可以使得硅片依次叠放在放置板上，以此保障硅片叠
放的效率，提升了硅片后序加工处理效率，满足人们的需求。
[0016]2.本技术，通过两个第一吸盘和两个第二吸盘的设置，能够很好的对硅片进行吸附，不会在吸附的过程中发生掉落，提高了硅片叠放的效果。
[0017]3.本技术，通过两个限位块的设置，利用限位块对硅片进行纠正，以防硅片在运输过程中出现偏移的现象，以保障硅片位于运输台的中心位置。
附图说明
[0018]图1为本技术提出的一种用于上料机的硅片叠放机构的立体结构示意图；
[0019]图2为本技术提出的一种用于上料机的硅片叠放机构的部分剖视结构示意图；
[0020]图3为本技术提出的一种用于上料机的硅片叠放机构的侧视结构示意图；
[0021]图4为本技术提出的一种用于上料机的硅片叠放机构的俯视结构示意图。
[0022]图中：1、底座；2、壳体；3、滑孔；4、滑块；5、螺杆；6、倒L形连接板；7、滑板；8、固定杆；9、第一吸盘；10、第二吸盘；11、液压缸；12、导向柱；13、放置板；14、导向杆；15、运输台；16、支撑杆；17、支撑柱；18、限位筒；19、限位杆；20、限位块。
具体实施方式
[0023]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0024]参照图1
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图4，一种用于上料机的硅片叠放机构，包括底座1，底座1的一侧通过螺栓固定有壳体2，壳体2的一侧开设有滑孔3，且壳体2的内壁一侧通过螺栓固定有电机，电机输出轴的一端键连接有螺杆5，螺杆5的圆周一侧螺纹连接有滑块4，滑块4与滑孔3滑动连接，滑块4的一侧通过螺栓固定有倒L形连接板6，倒L形连接板6的顶部内壁嵌接有液压缸11，液压缸11的输出端键连接有滑板7，滑板7的一侧通过螺栓固定有两个固定杆8，固定杆8的底部分别设置有两个第一吸盘9和两个第二吸盘10，通过两个第一吸盘9和两个第二吸盘10的设计，能够很好的对硅片进行吸附，不会在吸附的过程中发生掉落，提高了硅片叠放的效果，通过螺杆5、滑块4、滑孔3、滑板7、第一吸盘9、第二吸盘10和液压缸11的设计，在对运输台15上的硅片取下并叠放时，可以使得硅片依次叠放在放置板13上，以此保障硅片叠放的效率，提升了硅片后序加工处理效率，满足人们的需求。
[0025]本技术中，滑板7的上表面插接有两个导向柱12，导向柱12穿过倒L形连接板6，底座1的上表面通过螺栓固定有多个放置板13，放置板13的上表面分别通过螺栓固定有多个导向杆14，导向柱12可以在硅片放置在放置板13上的过程中起到导向的作用。
[0026]尤其的，底座1的上表面通过螺栓固定有运输台15，底座1的上表面通过螺栓固定有两个支撑杆16，支撑杆16的一侧插接有支撑柱17，支撑柱17的圆周一侧套设有限位筒18，底座1的上表面通过螺栓固定有两个限位杆19，限位杆19的一侧分别通过螺栓固定有限位块20，由两个限位块20的设计，利用限位块20对硅片进行纠正，以防硅片在运输过程中出现偏移的现象，以保障硅片位于运输台15的中心位置。
[0027]工作原理：使用时，液压缸11外接控制系统，首先，将硅片放置在运输台15上，由运
输台15对硅片进行输送，当硅片与限位块20相接触时，利用限位块20对硅片进行纠正，以保障硅片位于运输台15的中心位置，而后，随着运输台15的输出送，当硅片位于第二吸盘10的下方时，由液压缸11推动滑板7向下移动，滑板7带动两个固定杆8同时向下移动，并使得第二吸盘10产生的吸力对运输台15上的硅片进吸附，之后，再次启动液压缸11，由液压缸11带动滑板7向上移动，同时，通过固定杆8带动第二吸盘10向上移动，在这个过程中启动电机，由电机带动螺杆5转动，在螺杆5的螺纹作用下，使得滑块4沿着滑孔3向一侧滑动，随即，带动滑板7向一侧移动，继而，通过固定杆8带动第二吸盘10向靠近第二吸盘10的放置板13移动，当第二吸盘10位于其中两个放置板13上方时，此时，再次启动液压缸11推动滑板7向下移动，随即，使得第一吸盘9和第二吸盘10向下移动，与此同时，第一吸盘9产生的吸力对运输台15上的硅片做吸附，第二吸盘10将其吸附的硅片放在其下方的放置板13上，则完成第一次硅片的下料过程，之后，重复上述操作，使得第一吸盘9上吸附的硅片放在放置板13上，如此重复，使得硅片依次叠放在放置板13上，即完成硅片叠放，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于上料机的硅片叠放机构，包括底座(1)，其特征在于，所述底座(1)的一侧固定连接有壳体(2)，壳体(2)的一侧开设有滑孔(3)，且壳体(2)的内壁一侧固定连接有电机，电机输出轴的一端固定连接有螺杆(5)，螺杆(5)的圆周一侧螺纹连接有滑块(4)，滑块(4)与滑孔(3)滑动连接，所述滑块(4)的一侧固定连接有倒L形连接板(6)，倒L形连接板(6)的顶部内壁嵌接有液压缸(11)，液压缸(11)的输出端固定连接有滑板(7)，滑板(7)的一侧固定连接有两个固定杆(8)，所述固定杆(8)的底部分别设置有两个第一吸盘(9)和两个第二吸盘(10)。2.根据权利要求1所述的一种用于上料机的硅片叠放机构，其特征在于，所述滑板(7)的上表面插接有两个导向柱(12)，导向柱(12)穿过倒L形连接板(6)。3.根据权利要求1所述的一种用于上料机的硅片叠放机构，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯震坤，周裕吉，
申请(专利权)人：无锡荣能半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：