喷头保湿装置及光刻机制造方法及图纸

本实用新型专利技术提出一种喷头保湿装置及光刻机，包括盒体，盒体内设有储液部，盒体上设有喷头连接口，喷头连接口导通储液部与外部环境；储液部用于保湿液，储液部设置有至少一个药液喷洒通道，药液喷洒通道用于在药液喷头从喷头连接口插入盒体内部时，使喷头喷出的药液从药液喷洒通道喷洒至盒体外部，当药液喷头通过喷头连接口设置于储液部内时，每个药液喷头的侧部具有较多保湿液，从而使每个药液喷头周围保持合理的湿度环境，从而防止药液内的有机溶剂挥发，也就防止了药液凝结在药液喷头的出药管道。同时也使从药液喷头流下的药液不会落入容器内，防止药液污染保湿液。防止药液污染保湿液。防止药液污染保湿液。

【技术实现步骤摘要】
喷头保湿装置及光刻机


[0001]本技术涉及半导体生产辅助设备
，尤其涉及一种喷头保湿装置及光刻机。

技术介绍

[0002]在半导体晶圆生产过程的工艺过程中，会进行药液的喷涂或旋涂。而在药液旋涂工艺中，药液的单次喷胶量的精确度有着严格的要求。在一些自动药液旋涂设备中，药液会处于喷头的管道内部，由于喷头暴露在空气中，喷头的药液容易结晶，从而导致药液污染或喷头堵塞。

技术实现思路

[0003]本技术提出一种喷头保湿装置及光刻机，能使药液喷头闲置时，起到对药液喷头保湿的作用。
[0004]本技术通过以下技术方案实现的：
[0005]一种喷头保湿装置，包括：
[0006]盒体，所述盒体内设有储液部，所述储液部用于开放式地容纳保湿液，以使所述盒体内保持湿度；
[0007]所述盒体包括第一面，所述第一面上设有至少一个喷头连接口，所述喷头连接口用于使所述药液喷头从所述喷头连接口插入所述盒体内部；
[0008]所述储液部设置有至少一个药液喷洒通道，所述药液喷洒通道从所述盒体内部贯穿至所述盒体的第二面，所述第二面为与所述第一面相对的一面；
[0009]所述药液喷洒通道用于在所述药液喷头从所述喷头连接口插入所述盒体内部时，使所述喷头喷出的药液从所述药液喷洒通道喷洒至所述盒体外部。
[0010]为了对盒体内的湿度进行初步的加强，所述喷头连接口设置有多个，多个所述喷头连接口沿预设方向间隔排列；
[0011]所述储液部包括一个容器，所述容器环绕每个所述喷头连接口，以使所述容纳槽容纳保湿液时，所述保湿液环绕每个所述喷头连接口。
[0012]为了对盒体内的湿度进一步的加强，所述储液部包括多个容器，所述喷头连接口位于相邻的两个所述容器之间。
[0013]为了使盒体内的空间得到合理的利用并基本保持盒体内湿度，所述喷头连接口设置有多个，多个所述喷头连接口沿预设方向间隔排列；
[0014]沿预设方向上，所述喷头连接口位于相邻的两个所述容器之间；
[0015]或者，沿所述预设方向的垂直方向上，所述喷头连接口位于相邻的两个所述容器之间；
[0016]或者，多个所述容器环绕所述喷头连接口设置。
[0017]为了便于排放药液喷头的光刻胶废液并防止光刻胶废液污染容器内的保湿液，所
述药液喷洒通道与所述喷头连接口在铅锤方向上相对设置。
[0018]为了便于补充保湿液，所述盒体的侧部设有进液管道，所述进液管道内设有第一阀门，所述进液管道与所述储液部相连通。
[0019]为了便于更换保湿液，所述盒体的侧部设有出液管道，所述出液管道内设有第二阀门，所述出液管道与所述储液部相连通。
[0020]为了使溢出的保湿液方便回收再利用，所述盒体上设有溢出管道，所述溢出管道与所述储液部的顶端连接。
[0021]本技术还提出一种光刻机，所述光刻机上设有上述的喷头保湿装置，从而便于对光刻机上的药液喷头进行保湿。
[0022]本技术的有益效果：
[0023]本技术提出的喷头保湿装置及光刻机，包括盒体，盒体内设有储液部，盒体上设有喷头连接口，喷头连接口导通储液部与外部环境；储液部用于保湿液，储液部设置有至少一个药液喷洒通道，药液喷洒通道用于在药液喷头从喷头连接口插入盒体内部时，使喷头喷出的药液从药液喷洒通道喷洒至盒体外部，当药液喷头通过喷头连接口设置于储液部内时，每个药液喷头的侧部具有较多保湿液，从而使每个药液喷头周围保持合理的湿度环境，从而防止药液内的有机溶剂挥发，也就防止了药液凝结在药液喷头的出药管道。同时也使从药液喷头流下的药液不会落入容器内，防止药液污染保湿液。
附图说明
[0024]图1为本技术的实施例的喷头保湿装置的立体图；
[0025]图2为本技术的实施例的喷头保湿装置的盒体结构示意图；
[0026]图3为本技术的实施例的喷头保湿装置的内部结构示意图；
[0027]图4为本技术的实施例的盒体的底部结构示意图；
[0028]图5为本技术的实施例的当药液喷头伸入盒体内时的第一剖面示意图；
[0029]图6为本技术的实施例的当药液喷头伸入盒体内时的第二剖面示意图。
[0030]附图标记说明：100、盒体；101、喷头连接口；102、容器；103、药液喷洒通道；104、进液管道；105、出液管道；106、溢出管道；200、药液喷头。
具体实施方式
[0031]为使本技术的目的、技术方案及效果更加清楚、明确，以下对本技术进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0032]为了便于描述本技术的技术方案，以图1中的空间直角坐标系对喷头保湿装置的优选实施例进行说明。
[0033]请参考图1
‑
2，一种喷头保湿装置，包括盒体100。
[0034]盒体100，盒体100的外形可以为正方体、长方体等形状的壳体，盒体100的主要作用是容纳药液喷头200。
[0035]在一些实施例中，药液喷头为光刻胶喷头，药液为光刻胶。
[0036]盒体100内设有储液部，储液部用于开放式的容纳保湿液，部分保湿液挥发在盒体
内，从而保持盒体内的湿度，进而可以理解的是，将药液喷头放入盒体内，使药液喷头200内的药液不暴露在空气中，并使药液喷头200的出液管道保持一定的湿度，从而防止药液内的有机溶剂挥发，也就防止了药液凝结在药液喷头200的出液管道。
[0037]储液部可以为设置在盒体100内部的一个容器102，储液部也可以为设置在盒体100内部的多个容器102，通过容器102的设置，保持盒体100内的湿度。也就是说，只要当每个药液喷头200伸入盒体时，药液喷头的周围具有环绕的保湿液，即可对药液喷头200的出液管道产生更强的保湿作用。
[0038]盒体100上设有喷头连接口101和药液喷洒通道103，喷头连接口101设置于盒体100的顶部，从而便于直接放置药液喷头200。第一面一般是指盒体的顶部平面，可以理解的是，第二面为盒体的底部平面，药液喷洒通道103从第二面贯穿盒体，当药液喷头从喷头连接口插入盒体内部时，药液喷洒通道103使喷头喷出的药液可以从药液喷洒通道喷洒至盒体外部。
[0039]在一些优选实施例中，喷头连接口101上设置有垫环，能防止药液喷头200在伸入喷头连接口101时的磨损。
[0040]喷头连接口101是为了使药液喷头200伸入，喷头连接口101的形状与药液喷头200的形状相对应，举例来说，当药液喷头200的主体形状为圆柱形时，喷头连接口101的形状为圆形(也就是为药液喷头200的主体的截面形状)，当药液喷头200的主体形状为圆锥形时，喷头连接口101的形状为圆形，可以通过计算药液喷头200需要伸入到储液部内部的长度，对喷头连接口101的尺寸进行改变。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种喷头保湿装置，其特征在于，包括：盒体，所述盒体用于容纳药液喷头，所述盒体内设有储液部，所述储液部用于开放式地容纳保湿液，以使所述盒体内保持湿度；所述盒体包括第一面，所述第一面上设有至少一个喷头连接口，所述喷头连接口用于使所述药液喷头从所述喷头连接口插入所述盒体内部；所述储液部设置有至少一个药液喷洒通道，所述药液喷洒通道从所述盒体内部贯穿至所述盒体的第二面，所述第二面为与所述第一面相对的一面；所述药液喷洒通道用于在所述药液喷头从所述喷头连接口插入所述盒体内部时，使所述喷头喷出的药液从所述药液喷洒通道喷洒至所述盒体外部。2.根据权利要求1所述的喷头保湿装置，其特征在于，所述喷头连接口设置有多个，多个所述喷头连接口沿预设方向间隔排列；所述储液部包括一个容器，所述容器环绕每个所述喷头连接口，以使所述容器容纳保湿液时，所述保湿液环绕每个所述喷头连接口。3.根据权利要求1所述的喷头保湿装置，其特征在于，所述储液部包括多个容器，所述喷头连接口位于相邻的两个所述容器之间。4.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄宗友，
申请(专利权)人：重庆康佳光电技术研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：