一种掩膜板贴合系统技术方案

本实用新型专利技术提供一种掩膜板贴合系统，贴合系统还与蒸镀机的升降机构相配合，所述贴合系统包括支撑框、左A压力传感器、左B压力传感器、右A压力传感器、右B压力传感器、金属掩膜板和衬底玻璃基板，支撑框四角表面分别设置有左A压力传感器、左B压力传感器、右A压力传感器和右B压力传感器，所述金属掩膜板设置在所述支撑框的上方，且所述金属掩膜板的四角分别架设在对应的压力传感器上，所述衬底玻璃基板设置在金属掩膜板的上方，并通过蒸镀机的升降机构将支撑框和金属掩膜板抬起并与所述衬底玻璃基板相贴合。本实用新型专利技术能够保证金属掩膜板四个角平衡地贴合在衬底玻璃基板上面，不产生缝隙，也不会压弯衬底玻璃基板，大大提高产品的质量。质量。质量。

【技术实现步骤摘要】
一种掩膜板贴合系统


[0001]本技术涉及一种掩膜板贴合系统。

技术介绍

[0002]OLED显示面板制程中通常用金属掩模板蒸镀方式在衬底基板上形成有机功能层，金属掩模板和衬底基板的贴合情况会影响蒸镀的质量，最终影响OLED面板显示的质量。金属掩模板由外层的框架和中间的金属掩模组成。需要保证框架紧密贴合在衬底玻璃基板的情况下才能确保中间的掩膜可以更紧密的贴合。
[0003]现有技术中使用位置控制金属掩膜板，没有办法确认掩膜板框架是否与衬底玻璃贴合，影响面板的显示质量。现有技术使用位置控制掩膜板与衬底玻璃基板贴合。由于掩膜板尺寸与掩膜板位置均存在误差，设置的掩膜板位置会导致掩膜板与衬底玻璃基板有缝隙，或者掩膜板压到衬底玻璃上导致衬底玻璃被压弯。同时位置控制同样不能保证掩膜板的贴合情况在四个角上是相同的，可能的一种情况是，一个角被压弯，对角线上另一个角却还留有缝隙。这种情况会影响掩膜板和衬底玻璃基板的对位，使蒸镀的像素点偏离设计的位置，影响面板显示的质量。

技术实现思路

[0004]本技术要解决的技术问题，在于提供一种掩膜板贴合系统，其能够保证金属掩膜板四个角平衡地贴合在衬底玻璃基板上面，不产生缝隙，也不会压弯衬底玻璃基板，大大提高产品的质量。
[0005]本技术是这样实现的：
[0006]一种掩膜板贴合系统，所述贴合系统还与蒸镀机的升降机构相配合，所述贴合系统包括支撑框、左A压力传感器、左B压力传感器、右A压力传感器、右B压力传感器、金属掩膜板和衬底玻璃基板，所述支撑框四角表面分别设置有左A压力传感器、左B压力传感器、右A压力传感器和右B压力传感器，所述金属掩膜板设置在所述支撑框的上方，且所述金属掩膜板的四角分别架设在对应的左A压力传感器、左B压力传感器、右A压力传感器和右B压力传感器上，所述衬底玻璃基板设置在金属掩膜板的上方，并通过蒸镀机的升降机构将支撑框和金属掩膜板抬起并与所述衬底玻璃基板相贴合。
[0007]本技术具有如下优点：
[0008]本技术将压力传感器添加在移动金属掩膜板下方支撑框的四角上，使用压力传感器来检测金属掩膜板是否贴上衬底玻璃基板；根据压力传感器的压力值大小来调整和确定金属掩膜板四个角平衡地贴合在衬底玻璃基板上面，既不会产生缝隙，也不会压弯衬底玻璃基板，减少了掩膜板对衬底玻璃基板的压力，大大提高了面板显示的质量；同时对原有结构的改造少，实施起来简单方便。
【附图说明】
[0009]下面参照附图结合实施例对本技术作进一步的说明。
[0010]图1为本技术一种掩膜板贴合系统的结构示意图。
【具体实施方式】
[0011]下面将结合附图1和具体实施方式对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。实施例中未注明具体条件者，按照常规条件或制造商建议的条件进行。所用试剂或仪器未注明生产厂商者，均为可以通过市售购买获得的常规产品。
[0012]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0013]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0014]本技术涉及一种掩膜板贴合系统，所述贴合系统还与蒸镀机的升降机构相配合，所述贴合系统包括支撑框1、左A压力传感器2、左B压力传感器3、右A压力传感器4、右B压力传感器5、金属掩膜板6和衬底玻璃基板7，所述支撑框1四角表面分别设置有左A压力传感器2、左B压力传感器3、右A压力传感器4和右B压力传感器5，所述金属掩膜板6设置在所述支撑框1的上方，且所述金属掩膜板6的四角分别架设在对应的左A压力传感器2、左B压力传感器3、右A压力传感器4和右B压力传感器5上，所述衬底玻璃基板7设置在金属掩膜板6的上方，并通过蒸镀机的升降机构将支撑框1和金属掩膜板6抬起并与所述衬底玻璃基板7相贴合。
[0015]本技术的一种掩膜板贴合系统的贴合方法步骤如下：
[0016]步骤1、将上方架设有金属掩膜板6的支撑框1处于静止不动时，各传感器测得的力值为平衡力，此时左A压力传感器2、左B压力传感器3、右A压力传感器4和右B压力传感器5测得的平衡力力值分别为W
11
、W
12
、W
21
、W
22
；支撑框1在静止不动时，支撑框1上四个压力传感器测得的各压力值应为金属掩膜板6重力的四分之一，由于金属掩膜板6可能存在重心偏移，四个压力传感器测得的力值可能不相同；由于环境因素，压力传感器测得的力值会波动，可以将平衡力容许的波动范围定为
±
2％。
[0017]步骤2、左A压力传感器2、左B压力传感器3、右A压力传感器4和右B压力传感器5所在的当前位置分别设定为z
11
、z
12
、z
21
、z
22
；本方法不考虑金属掩膜板6在平面上的移动，仅考虑金属掩膜板6的升降，故只需要坐标轴z轴进行描述；
[0018]蒸镀机通过升降机构将支撑框1和金属掩膜板6抬高到靠近待蒸镀的衬底玻璃基板7处的平衡位置，该位置为贴合过程的平衡位置，即为四组压力传感器的初始位置，且均
设定为z0(此时z
11
＝z
12
＝z
21
＝z
22
＝z0)；之后，升降机构继续上升直到金属掩膜板6贴合衬底玻璃基板7；上述过程通过各传感器测得的力值分为三个部分，左A压力传感器2测得的力值过程如下：
[0019]第一部分，金属掩膜板6从静止不动加速到匀速运动，此时金属掩膜板6为加速运动，金属掩膜板6左上角受到支撑框1的支持力N为：
[0020][0021]其中m为1/4金属掩膜板质量，此时左A压力传感器测得的力值f与金属掩膜板左上角受到支撑的支持力N相同，t为时间；
[0022]第二部分，金属掩膜板6匀速运动，左A压力传感器2测得的力值f为平衡力W
11
；
[0023]第三部分，金属掩膜板6贴合衬底玻璃基板7，此时金属掩膜板6为减速运动；金属掩膜板6左上角受到支撑框1的支持力N为：
[0024][00本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种掩膜板贴合系统，所述贴合系统还与蒸镀机的升降机构相配合，其特征在于：所述贴合系统包括支撑框、左A压力传感器、左B压力传感器、右A压力传感器、右B压力传感器、金属掩膜板和衬底玻璃基板，所述支撑框四角表面分别设置有左A压力传感器、左B压力传感器、右A压力传感器和右B压力传...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄琦，
申请(专利权)人：华映科技集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：