安装结构及机台制造技术

本申请提供了一种安装结构及机台，其用于安装控制器，包括盖子和纵向设置的框架，框架包括用于维护作业的开口，盖子设置于开口内，控制器设置于开口的左外侧位置或右外侧位置。本申请解决了在维护作业时现有运动控制器容易磕碰维护人员头部的问题。易磕碰维护人员头部的问题。易磕碰维护人员头部的问题。

【技术实现步骤摘要】
安装结构及机台


[0001]本申请涉及半导体加工设备，特别是涉及安装结构及机台。

技术介绍

[0002]在对Producer SE(用于BPSG(boro
‑
phospho
‑
silicate glass，硼磷硅玻璃)制程)子机台的维护作业过程中，需要将位于子机台框架空腔(chamber)内的盖子掀起，这样会导致盖子与在其上方的运动控制器(motion controller)发生干涉。为了避免干涉，需要将运动控制器沿导轨从子机台框架的开口移出。运动控制器移出后处在开口的顶部，而维护人员也会在开口进行维护作业，此时运动控制器恰好位于维护人员的头顶上方，容易对维护人员的头部造成磕碰或掉落砸伤维护人员，造成安全事故。因此，现有子机台存在容易磕碰维护人员头部的问题。

技术实现思路

[0003]针对现有技术容易磕碰维护人员头部的问题，本申请提供了一种安装结构，其用于安装控制器，包括盖子和纵向设置的框架，所述框架包括用于维护作业的开口，所述盖子设置于所述开口内，所述控制器设置于所述开口的左外侧位置或右外侧位置。
[0004]优选地，所述左外侧位置位于所述框架的左外侧面，所述右外侧位置位于所述框架的右外侧面。
[0005]优选地，所述框架包括边结构，其设置于所述开口的左侧或右侧。
[0006]优选地，所述左外侧位置或所述右外侧位置位于所述边结构的外侧面。
[0007]优选地，所述框架还包括顶结构，所述顶结构与所述边结构连接，所述顶结构设置于所述开口的顶侧。
[0008]优选地，所述边结构包括外侧面顶部区域，所述外侧面顶部区域靠近所述顶结构，所述左外侧位置或所述右外侧位置位于所述外侧面顶部区域。
[0009]优选地，所述左外侧位置位于所述顶结构的左外侧面，所述右外侧位置位于所述顶结构的右外侧面。
[0010]优选地，所述边结构的包括左边结构和右边结构，所述左边结构、所述顶结构和所述右边结构依次连接，所述左边结构设置于所述开口的左侧，所述右边结构设置于所述开口的右侧。所述左外侧位置位于所述左边结构的左外侧壁，所述右外侧位置位于所述右边结构的右外侧壁。
[0011]优选地，所述安装结构还包括固定装置，其固定于所述左外侧位置或所述右外侧位置，所述控制器设置于所述固定装置。
[0012]本申请还提供了一种机台，包括：至少1个所述安装结构。
[0013]本申请的有益效果在于：由于框架包括用于维护作业的开口，盖子设置于开口内，维护人员是在开口的位置进行维护作业，所以将控制器设置于开口的左外侧位置或右外侧位置后，既可以防止盖子掀起时和控制器干涉(因为控制器已不在开口端，不会和盖子发生
干涉)，也可以防止维护人员在进行维护作业时头部碰撞到控制器，避免了磕碰风险(因为控制器已不在开口端其不会出现在维护人员的头顶而磕碰或掉落砸伤维护人员)。
[0014]上述说明仅是本申请技术方案的概述，为了能够更清楚了解本申请的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本申请较佳的实施例并配合附图对本申请进行详细说明。
附图说明
[0015]图1是本申请实施例中，现有技术中运动控制器安装结构正视图；
[0016]图2是本申请实施例中，安装结构正视图(控制器位于边结构)；
[0017]图3是本申请实施例中，安装结构立体图(控制器位于顶结构)；
[0018]图4是本申请实施例中，机台正视图；
[0019]图5是本申请实施例中，机台俯视图。
[0020]其中，附图标记：
[0021]1 安装结构
[0022]2 控制器
[0023]10 框架
[0024]100 边结构
[0025]1000 外侧面顶部区域
[0026]1001 左边结构
[0027]1001a 左外侧壁
[0028]1001b 左内侧壁
[0029]1002 右边结构
[0030]1002a 右外侧壁
[0031]1002b 右内侧壁
[0032]101 顶结构
[0033]1010 内顶壁
[0034]102 开口
[0035]12 固定装置
[0036]13 导轨
[0037]14 工厂接口
[0038]15 气体控制柜
[0039]16 盖子
[0040]5 机台
具体实施方式
[0041]以下由特定的具体实施例说明本申请的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所公开的内容轻易地了解本申请的其他优点及功效。
[0042]需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以互相组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。为了使本
的人员更好
地理解本申请方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本申请的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本申请保护的范围。
[0043]需要说明的是，本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。此外，术语“包括”和“具有”以及他们的任何变形，意图在于包覆不排他的包含，例如，包含了一系列步骤或单元的过程、方法、系统、产品或设备不必限于清楚地列出的那些步骤或单元，而是可包括没有清楚地列出的或对于这些过程、方法、产品或设备固有的其他步骤或单元。
[0044]需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电性连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
[0045]图1是控制器2(例如，控制器2可以是运动控制器，motion control)的现有安装方式，控制器2用导轨13固定于框架10的顶部，维护人员经由开口102进行维护工作，进行维护工作需要将盖子16向框架10的顶部掀起，为避免盖子16掀起后和控制器2发生干涉，需要先将控制器2沿导轨13移出。但是控制器2移出后会位于维护人员的头顶，存在磕碰维护人员头部或掉落等安全风险。
[0046]请同时参考图2和图3，为防止出现控制器2和维护人员头部发生磕碰意外，在一实施例中提供了一种安装结构1，其用于安装控制器2。例如，控制器2可以为单片机运动控制器、DSP运动控制器或FPGA运动控制器。安装结构1包括盖子16、纵向设置的框架10和气体控制柜15(gas panel)。气体控制柜15设置于框架10的顶部。框架10包括用于维护作业的开口102，盖子本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种安装结构(1)，其用于安装控制器(2)，其特征在于，包括盖子(16)和纵向设置的框架(10)，所述框架(10)包括用于维护作业的开口(102)，所述盖子(16)设置于所述开口(102)内，所述控制器(2)设置于所述开口(102)的左外侧位置或右外侧位置。2.根据权利要求1所述的安装结构(1)，其特征在于，所述左外侧位置位于所述框架(10)的左外侧面，所述右外侧位置位于所述框架(10)的右外侧面。3.根据权利要求2所述的安装结构(1)，其特征在于，所述框架(10)包括边结构(100)，其设置于所述开口(102)的左侧或右侧。4.根据权利要求3所述的安装结构(1)，其特征在于，所述左外侧位置或所述右外侧位置位于所述边结构(100)的外侧面。5.根据权利要求3所述的安装结构(1)，其特征在于，所述框架(10)还包括顶结构(101)，其与所述边结构(100)连接，所述顶结构(101)设置于所述开口(102)的顶侧。6.根据权利要求5所述的安装结构(1)，其特征在于，所述边结构(100)包括外侧面顶部区域(1000)，所述外侧面顶部区域(1000)靠近所述顶结构(...

【专利技术属性】
技术研发人员：董青，姚佳俊，
申请(专利权)人：杭州富芯半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：