一种自动抛动刻蚀设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种自动抛动刻蚀设备，包括酸洗槽和安装箱，所述安装箱的上端面转动穿设有转柱，所述转柱的顶端固定连接有支撑板，所述支撑板的底端面固定安装有气缸，所述气缸的输出端固定连接有抛动盘，所述抛动盘的底端通过连接组件连接有夹具环板，使用时，将半导体零件置于若干定位套之间，之后将定位套向内侧滑动，之后旋动上压块，上压块将带动定位套向上运动，上压块将定位套抵接在凸板的底端面，从而将调节位置完毕后的定位套进行定位，之后启动气缸，通过气缸带动抛动盘与半导体零件伸入到酸洗槽的内部，当酸洗完毕后，气缸带动半导体零件向上运动，从而降低人员劳动强度。强度。强度。

【技术实现步骤摘要】
一种自动抛动刻蚀设备


[0001]本技术涉及半导体石英、硅材料表面刻蚀的加工处理
，具体为一种自动抛动刻蚀设备。

技术介绍

[0002]半导体零部件硅材料在机加完成后，需要进行湿法酸洗刻蚀，湿法刻蚀是将被刻蚀材料浸泡在腐蚀液内进行腐蚀的技术，这是各向同性的刻蚀方法，利用化学反应过程去除待刻蚀区域的薄膜材料，通常 SiO2采用湿法刻蚀技术，有时金属铝也采用湿法刻蚀技术。目前的酸洗就是用一个槽体，内部倒上刻蚀酸液。人工拿取零件去槽内清洗，刻蚀完成后取出放入DI水槽。DI水漂洗10分钟后，将零件放入烘干箱烘干。
[0003]其中酸洗时通过人工上下抛动材料，数量较少时还好，随着产能的增加刻蚀数量不断增加，刻蚀频率随着增加，人员保持一个动作后就会疲劳，产品刻蚀后的品质很难保证，外观的一致性不能满足要求，为此，我们提出一种自动抛动刻蚀设备。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种自动抛动刻蚀设备，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0006]一种自动抛动刻蚀设备，包括酸洗槽和安装箱，所述安装箱的上端面转动穿设有转柱，所述转柱的顶端固定连接有支撑板，所述支撑板的底端面固定安装有气缸，所述气缸的输出端固定连接有抛动盘，所述抛动盘的底端通过连接组件连接有夹具环板，所述夹具环板内壁一体化连接有凸板，所述凸板的上端面开设有贯穿口，所述凸板的下方设置有定位套，所述定位套上活动穿设有锁紧杆，所述锁紧杆的顶端伸入贯穿口的上方，且锁紧杆的顶端固定连接有固定块，所述锁紧杆的底端固定连接有限位块，所述锁紧杆的外表面下方设置有螺纹部，所述螺纹部的外表面螺纹旋接有上压块，所述定位套的外表面开设有若干竖向的环形限位口，若干定位套之间抵接有半导体零件。
[0007]优选的，连接组件包括螺栓杆，所述螺栓杆固定连接在抛动盘的底端面，所述夹具环板的上端面开设有若干锁孔，所述螺栓杆活动穿设在锁孔上，所述螺栓杆的外表面上方固定套装有固定套，所述螺栓杆的外表面下方螺旋旋接有螺帽。
[0008]优选的，所述螺帽的外表面与上压块的外表面均设置有防滑纹。
[0009]优选的，所述抛动盘与支撑板之间固定连接有若干伸缩杆。
[0010]优选的，所安装箱的底端面固定连接有安装底板，所述安装底板的上端面开设有若干安装孔。
[0011]优选的，所述转柱的外表面固定套装有从动齿轮，所述安装箱的内部安装有电机，所述电机的输出端固定连接有主动齿轮，主动齿轮与从动齿轮啮合。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果是：本抛动刻蚀设备使用方便，结构简
单，使用时，将半导体零件置于若干定位套之间，之后将定位套向内侧滑动，之后旋动上压块，上压块将带动定位套向上运动，上压块将定位套抵接在凸板的底端面，从而将调节位置完毕后的定位套进行定位，之后启动气缸，通过气缸带动抛动盘与半导体零件伸入到酸洗槽的内部，当酸洗完毕后，气缸带动半导体零件向上运动，从而降低人员劳动强度，避免人员需要将半导体零件手动置于到酸洗槽的内部；设置的伸缩杆可使抛动盘稳定上下运动；通过电机正反工作可带动转柱转动，转柱转动时将带动抛动盘转动，进而便于人员在夹具环板上上料或下料。
附图说明
[0013]图1为一种自动抛动刻蚀设备的主体结构正视截面示意图；
[0014]图2为一种自动抛动刻蚀设备的夹具环板结构示意图；
[0015]图3为一种自动抛动刻蚀设备的图1中A处结构放大示意图。
[0016]图中：1
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酸洗槽，2
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安装箱，3
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电机，4
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安装底板，5
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转柱，6
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支撑板，7
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气缸，8
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固定块，9
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伸缩杆，10
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螺栓杆，11
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抛动盘，12
‑ꢀ
夹具环板，13
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锁孔，14
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凸板，15
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贯穿口，16
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定位套，17
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上压块， 18
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限位块，19
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锁紧杆，20
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半导体零件，21
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固定套，22
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螺帽，23
‑ꢀ
螺纹部，24
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环形限位口。
具体实施方式
[0017]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0018]实施例1：请参阅图1～3，一种自动抛动刻蚀设备，包括酸洗槽 1和安装箱2，所述安装箱2的上端面转动穿设有转柱5，所述转柱5 的顶端固定连接有支撑板6，所述支撑板6的底端面固定安装有气缸 7，所述气缸7的输出端固定连接有抛动盘11，所述抛动盘11的底端通过连接组件连接有夹具环板12，所述夹具环板12内壁一体化连接有凸板14，所述凸板14的上端面开设有贯穿口15，所述凸板14 的下方设置有定位套16，所述定位套16上活动穿设有锁紧杆19，所述锁紧杆19的顶端伸入贯穿口15的上方，且锁紧杆19的顶端固定连接有固定块8，所述锁紧杆19的底端固定连接有限位块18，所述锁紧杆19的外表面下方设置有螺纹部23，所述螺纹部23的外表面螺纹旋接有上压块17，所述定位套16的外表面开设有若干竖向的环形限位口24，若干定位套16之间抵接有半导体零件20。
[0019]使用时，将半导体零件20置于若干定位套16之间，之后将定位套16向内侧滑动，之后旋动上压块17，上压块17将带动定位套16 向上运动，上压块17将定位套16抵接在凸板14的底端面，从而将调节位置完毕后的定位套16进行定位，之后启动气缸7，通过气缸7 带动抛动盘11与半导体零件20伸入到酸洗槽1的内部，当酸洗完毕后，气缸7带动半导体零件20向上运动，从而降低人员劳动强度，避免人员需要将半导体零件20手动置于到酸洗槽1的内部。
[0020]其中，连接组件包括螺栓杆10，所述螺栓杆10固定连接在抛动盘11的底端面，所述夹具环板12的上端面开设有若干锁孔13，所述螺栓杆10活动穿设在锁孔13上，所述螺栓杆
10的外表面上方固定套装有固定套21，所述螺栓杆10的外表面下方螺旋旋接有螺帽22。
[0021]在安装夹具环板12时，将螺栓杆10穿过锁孔13，之后将螺帽 22旋入，从而将夹具环板12进行定位，夹具环板12与抛动盘11之间形成有间隙，便于酸洗槽1内部的刻蚀酸液进出。
[0022]其中，所述螺帽22的外表面与上压块17的外表面均设置有防滑纹。<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种自动抛动刻蚀设备，包括酸洗槽(1)和安装箱(2)，其特征在于：所述安装箱(2)的上端面转动穿设有转柱(5)，所述转柱(5)的顶端固定连接有支撑板(6)，所述支撑板(6)的底端面固定安装有气缸(7)，所述气缸(7)的输出端固定连接有抛动盘(11)，所述抛动盘(11)的底端通过连接组件连接有夹具环板(12)，所述夹具环板(12)内壁一体化连接有凸板(14)，所述凸板(14)的上端面开设有贯穿口(15)，所述凸板(14)的下方设置有定位套(16)，所述定位套(16)上活动穿设有锁紧杆(19)，所述锁紧杆(19)的顶端伸入贯穿口(15)的上方，且锁紧杆(19)的顶端固定连接有固定块(8)，所述锁紧杆(19)的底端固定连接有限位块(18)，所述锁紧杆(19)的外表面下方设置有螺纹部(23)，所述螺纹部(23)的外表面螺纹旋接有上压块(17)，所述定位套(16)的外表面开设有若干竖向的环形限位口(24)，若干定位套(16)之间抵接有半导体零件(20)。2.根据权利要求1所述的一种自动抛动刻蚀设备，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：李玉飞，张慧，
申请(专利权)人：北京亦盛精密半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：