一种冷却用铜环管制造技术

技术编号:35375300 阅读:9 留言:0更新日期:2022-10-29 18:24
本实用新型专利技术公开了冷却器械技术领域的一种冷却用铜环管,包括铜环管和连接块,所述连接块的两端设置有螺纹孔,所述铜环管的两端安装在螺纹孔内,所述铜环管的两端通过锁紧螺母密封连接在螺纹孔内。本实用新型专利技术铜环管的两端与连接块两端形成单环形,单环形的铜环管内部导通冷却介质进行热量交换,连接块两端通过锁紧螺母将筒环管密封连接,安装连接便捷,在连接块上端连接的两个倾斜的连接管接通导入导出的冷却液管道,连接管连接端为弧形便于与管道连接,连接块上的安装孔进行安装固定,配合铜环管上的多个固定件进行整体固定安装,安装稳定,装置结构简单。装置结构简单。装置结构简单。

【技术实现步骤摘要】
一种冷却用铜环管


[0001]本技术涉及冷却器械
,具体为一种冷却用铜环管。

技术介绍

[0002]在芯片制造领域中的高密度等离子电浆化学沉积镀膜设备使用过程中需要进行冷却,通过铜环管进行制冷介质的导入,进行热交换冷却。
[0003]但现有的冷却用铜环管不适用等离子电浆化学沉积镀膜设备中单环路冷却,且铜环管与流体导入部件安装连接不够便捷,基于此,本技术设计了一种冷却用铜环管,以解决上述问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种冷却用铜环管,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种冷却用铜环管,包括铜环管和连接块,所述连接块的两端设置有螺纹孔,所述铜环管的两端安装在螺纹孔内,所述铜环管的两端通过锁紧螺母密封连接在螺纹孔内,所述连接块上端两侧连接有两个连接管,两个所述连接管联通铜环管的两端,所述铜环管上安装多个固定件。
[0006]优选的,所述铜环管的内部连接有多个翅片,所述翅片的顶端为弧形。
[0007]优选的,多个所述翅片在铜环管内十字形分布。
[0008]优选的,所述连接块上设置有安装孔,所述安装孔设置在连接块的中部位置。
[0009]优选的,两个所述连接管在连接块上倾斜设置,所述连接管的连接端为弧形。
[0010]优选的,多个所述固定件在铜环管上等距设置。
[0011]与现有技术相比,本技术的有益效果是:
[0012](1)本技术铜环管的两端与连接块两端形成单环形,单环形的铜环管内部导通冷却介质进行热量交换,连接块两端通过锁紧螺母将筒环管密封连接,安装连接便捷,在连接块上端连接的两个倾斜的连接管接通导入导出的冷却液管道,连接管连接端为弧形便于与管道连接,连接块上的安装孔进行安装固定,配合铜环管上的多个固定件进行整体固定安装,安装稳定,装置结构简单;
[0013](2)本技术在铜环管的内部连接多个翅片,多个翅片增加与流体介质的接触面积,增加换热面积,提高铜环管冷却效率。
附图说明
[0014]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案,下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0015]图1为本技术冷却用铜环管的立体结构图;
[0016]图2为本技术冷却用铜环管的图1中A处放大结构图;
[0017]图3为本技术冷却用铜环管的铜环管的内部结构结构图;
[0018]图4为本技术冷却用铜环管的仰视立体结构图。
[0019]附图中,各标号所代表的部件列表如下:
[0020]1、铜环管;2、翅片;3、连接块;4、安装孔;5、螺纹孔;6、锁紧螺母;7、连接管;8、固定件。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例,都属于本技术保护的范围。
[0022]请参阅图1

图4,本技术提供一种技术方案:一种冷却用铜环管,包括铜环管1和连接块3,连接块3的两端设置有螺纹孔5,铜环管1的两端安装在螺纹孔5内,铜环管1的两端通过锁紧螺母6 密封连接在螺纹孔5内,连接块3上端两侧连接有两个连接管7,两个连接管7联通铜环管1的两端,铜环管1上安装多个固定件8,连接块3上设置有安装孔4,安装孔4设置在连接块3的中部位置,两个连接管7在连接块3上倾斜设置,连接管7的连接端为弧形,多个固定件8在铜环管1上等距设置。
[0023]其中,铜环管1的两端与连接块3两端形成单环形,单环形的铜环管1内部导通冷却介质进行热量交换,连接块3两端通过锁紧螺母 6将筒环管1密封连接,安装连接便捷,在连接块3上端连接的两个倾斜的连接管7接通导入导出的冷却液管道,连接管7连接端为弧形便于与管道连接,连接块3上的安装孔4进行安装固定,配合铜环管 1上的多个固定件8进行整体固定安装,安装稳定,装置结构简单,安装连接便捷,使用效果好。
[0024]请参阅图1

图4,铜环管1的内部连接有多个翅片2,翅片2的顶端为弧形,多个翅片2在铜环管1内十字形分布。
[0025]其中,在铜环管1的内部连接多个翅片2,多个翅片2增加与流体介质的接触面积,增加换热面积,提高铜环管1冷却效率。
[0026]整体的工作原理为,铜环管1的两端与连接块3两端形成单环形,单环形的铜环管1内部导通冷却介质进行热量交换,连接块3两端通过锁紧螺母6将筒环管1密封连接,安装连接便捷,在连接块3上端连接的两个倾斜的连接管7接通导入导出的冷却液管道,连接管7连接端为弧形便于与管道连接,连接块3上的安装孔4进行安装固定,配合铜环管1上的多个固定件8进行整体固定安装,安装稳定,装置结构简单,安装连接便捷,在铜环管1的内部连接多个翅片2,多个翅片2增加与流体介质的接触面积,增加换热面积,提高铜环管1冷却效率。
[0027]在本说明书的描述中,参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本技术的至少一个实施例或示例中。在本说明书中,对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且,描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
[0028]以上公开的本技术优选实施例只是用于帮助阐述本技术。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节,也不限制该技术仅为所述的具体实施方式。显然,根据本说明书的内容,可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例,是为了更好地解释本技术的原理和实际应用,从而使所属
技术人员能很好地理解和利用本技术。本技术仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种冷却用铜环管,包括铜环管(1)和连接块(3),其特征在于:所述连接块(3)的两端设置有螺纹孔(5),所述铜环管(1)的两端安装在螺纹孔(5)内,所述铜环管(1)的两端通过锁紧螺母(6)密封连接在螺纹孔(5)内,所述连接块(3)上端两侧连接有两个连接管(7),两个所述连接管(7)联通铜环管(1)的两端,所述铜环管(1)上安装多个固定件(8)。2.根据权利要求1所述的一种冷却用铜环管,其特征在于:所述铜环管(1)的内部连接有多个翅片(2),所述翅片(2)的顶端为弧形。3....

【专利技术属性】
技术研发人员:张华
申请(专利权)人:上海高芯机电有限公司
类型:新型
国别省市:

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