检查系统技术方案

本发明专利技术提供一种检查系统。在具备载置容器的载置台（2）和将气体供给到容器的气体供给装置（3）的容器收容设备（10）中进行气体的流动的检查的检查系统（100），具备能够载置在载置台的检查单元（5）和判定部；气体供给装置（3）具备：供气部（31），被配置在载置台以与容器的容器流入部连接；供气配管（32）；以及供气流量控制部（33），将经由供气配管供给到供气部的气体的流量设为规定的供气流量；检查单元（5）具备：检查流入部（51），与供气部连接；以及流入流量测量部（53），测量从检查流入部流入的气体的流量即流入流量；判定部基于供气流量与流入流量的差，判定供气部（31）与检查流入部（51）的连接部分处的气体的泄漏状态。部分处的气体的泄漏状态。部分处的气体的泄漏状态。

【技术实现步骤摘要】
检查系统


[0001]本专利技术涉及在容器收容设备中进行气体的流动的检查的检查系统，所述容器收容设备具备载置容器的载置台以及对载置在该载置台的容器进行气体的供给的气体供给装置。

技术介绍

[0002]在日本特开2016－127228号公报（以下记作“专利文献1”）中公开了这样的检查系统的一例。以下，在
技术介绍
的说明中，将专利文献1中的附图标记在括号内引用。
[0003]在专利文献1中公开了一种容器收容设备（1），具备：供气部（30），配置在载置台（3）以与载置在载置台（3）的容器（F）的容器流入部（24）连接；供气配管（34），与该供气部连接；供气流量控制部（32），对经由该供气配管供给到供气部（30）的气体的流量进行控制；排气部（31），配置在载置台（3），以与载置在载置台（3）的容器（F）的容器流出部（26）连接；以及排气配管（35），与该排气部连接。而且，在该容器收容设备（1）中使用的检查系统具备检测在排气配管（35）中流动的气体的流量的传感器（33）（参照专利文献1的图1及图2）。

技术实现思路

[0004]专利技术要解决的课题专利文献1的容器（F）具备一部分开口的主体部（21）和以将该主体部的开口堵塞的方式配置的盖部（22）。在向这样的容器（F）的内部供给气体的情况下，如果在容器（F）的内部气体成为饱和状态后还维持气体的供给，则气体从主体部（21）与盖部（22）的间隙泄漏出。此时，在容器（F）损坏的情况下等，气体的泄漏量变多。利用这一点，专利文献1的检查系统在由传感器（33）检测到的流量为规定的阈值以上的情况下判定为气体的流动是正常的，在小于上述的阈值的情况下判定为气体的流动是异常的。
[0005]顺便说一下，专利文献1的检查系统是以在容器流入部（24）适当地连接着供气部（30）并且在容器流出部（26）适当地连接着排气部（31）为前提来进行气体的流动的检查的。因此，在因为载置台（3）的异常、载置台（3）上的容器（F）的位置偏差而在容器流入部（24）没有适当地连接供气部（30）的情况或在容器流出部（26）没有适当地连接排气部（31）的情况下，不能适当地进行气体的流动的检查。
[0006]所以，希望实现能够适当地检查载置容器的载置台的异常或载置台上的容器的位置偏差的有无的检查系统。
[0007]用来解决课题的手段鉴于上述的检查系统的特征结构在于以下方面，是在容器收容设备中进行气体的流动的检查的检查系统，所述容器收容设备具备载置容器的载置台和对载置在前述载置台的前述容器进行前述气体的供给的气体供给装置；所述检查系统具备检查单元和判定部，所述检查单元构成为能够载置在前述载置台；前述容器具备形成有前述气体的流入口的容器流入部；前述气体供给装置具备：供气部，被配置在前述载置台，以与载置在前述载置台
的前述容器的前述容器流入部连接；供气配管，与前述供气部连接；以及供气流量控制部，对前述气体的流量进行控制，以使经由前述供气配管供给到前述供气部的前述气体的流量成为规定的供气流量；前述检查单元具备：检查流入部，在该检查单元被载置在前述载置台的状态下与前述供气部连接；以及流入流量测量部，测量从前述检查流入部流入的前述气体的流量即流入流量；前述判定部基于前述供气流量与前述流入流量的差，判定前述供气部与前述检查流入部的连接部分处的前述气体的泄漏状态。
[0008]根据该特征结构，通过代替容器而将检查单元载置在载置台，气体依次流动于供气配管、供气部、检查流入部。此时，在供气部和检查流入部没有被适当地连接的情况下，与供气部和检查流入部被适当地连接的情况相比，如果供气流量设为相同，则因为供气部与检查流入部的连接部分处的气体的泄漏量变多而流入流量减少。由此，根据本特征结构，能够基于供气流量与流入流量的差，判定供气部与检查流入部是否被适当地连接。这里，检查单元代替容器流入部而具备与供气部连接的检查流入部。因此，通过如上述那样代替容器而将检查单元载置在载置台并判定供气部和检查流入部是否被适当地连接，能够适当地检查载置台的异常或载置台上的容器的位置偏差的有无。
[0009]此外，检查系统的特征结构在于以下方面，是在容器收容设备中进行气体的流动的检查的检查系统，所述容器收容设备具备载置容器的载置台和从载置在前述载置台的前述容器进行前述气体的排出的气体排出装置；所述检查系统具备检查单元和判定部，所述检查单元构成为能够载置在前述载置台；前述容器具备形成有前述气体的流出口的容器流出部；前述气体排出装置具备：排气部，被配置在前述载置台，以与载置在前述载置台的前述容器的前述容器流出部连接；排气配管，与前述排气部连接；以及排气流量控制部，对前述气体的流量进行控制，以使从前述排气部流动到前述排气配管的前述气体的流量成为规定的排气流量；前述检查单元具备：检查流出部，在该检查单元被载置在前述载置台的状态下与前述排气部连接；以及流出流量测量部，测量向前述检查流出部流动的前述气体的流量即流出流量；前述判定部基于前述排气流量与前述流出流量的差，判定前述排气部与前述检查流出部的连接部分处的前述气体的泄漏状态。
[0010]根据该特征结构，通过代替容器而将检查单元载置在载置台，气体依次流动于检查流出部、排气部、排气配管。此时，在排气部和检查流出部没有被适当地连接的情况下，与排气部和检查流出部被适当地连接的情况相比，如果排气流量设为相同，则因为排气部和检查流出部的连接部分处的气体的泄漏量变多而流出流量减少。由此，根据本特征结构，基于排气流量与流出流量的差，能够判定排气部和检查流出部是否被适当地连接。这里，检查单元代替容器流出部而具备与排气部连接的检查流出部。因此，通过如上述那样代替容器而将检查单元载置在载置台并判定排气部和检查流出部是否被适当地连接，能够适当地检查载置台的异常或载置台上的容器的位置偏差的有无。
附图说明
[0011]图1是表示有关实施方式的容器收容设备的概略结构的示意图。
[0012]图2是表示有关实施方式的检查系统的概略结构的示意图。
[0013]图3是有关实施方式的检查系统的框图。
[0014]图4是表示由有关实施方式的判定部进行的判定处理的一例的流程图。
[0015]图5是表示由有关实施方式的判定部进行的判定处理的一例的流程图。
具体实施方式
[0016]以下，参照附图对有关实施方式的检查系统100进行说明。检查系统100是在容器收容设备10进行气体的流动的检查的系统。
[0017]首先，对容器收容设备10进行说明。如图1所示，在本实施方式中，容器收容设备10具备载置容器1的载置台2、对载置在该载置台2的容器1进行气体的供给的气体供给装置3、以及从载置在载置台2的容器1进行气体的排出的气体排出装置4。
[0018]容器1是构成为能够向内部供给规定的气体（例如，氮气、清洁空气等）的密闭容器。在本实施方式中，容器1具备在该容器1被载置在载置台2的情况下与该载置台2对置的底部1a。在本例中，容器1是被称作FOUP（Front Opening U本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种检查系统，在容器收容设备中进行气体的流动的检查，所述容器收容设备具备载置容器的载置台和对载置在前述载置台的前述容器进行前述气体的供给的气体供给装置，所述检查系统的特征在于，具备检查单元和判定部，所述检查单元构成为能够载置在前述载置台；前述容器具备形成有前述气体的流入口的容器流入部；前述气体供给装置具备：供气部，被配置在前述载置台，以与载置在前述载置台的前述容器的前述容器流入部连接；供气配管，与前述供气部连接；以及供气流量控制部，对前述气体的流量进行控制，以使经由前述供气配管供给到前述供气部的前述气体的流量成为规定的供气流量；前述检查单元具备：检查流入部，在该检查单元被载置在前述载置台的状态下与前述供气部连接；以及流入流量测量部，测量从前述检查流入部流入的前述气体的流量即流入流量；前述判定部基于前述供气流量与前述流入流量的差，判定前述供气部与前述检查流入部的连接部分处的前述气体的泄漏状态。2.如权利要求1所述的检查系统，其特征在于，前述载置台具备导引部，所述导引部将前述容器导引到前述载置台的规定的位置；前述容器具备被前述导引部导引的容器被导引部；前述检查单元具备检查被导引部，所述检查被导引部具有与前述容器被导引部相同的形状及构造，且被前述导引部导引；前述检查流入部具有与前述容器流入部相同的形状及构造。3.如权利要求1或2所述的检查系统，其特征在于，前述检查单元还具备与前述检查流入部连接的流入配管；前述流入流量测量部测量在前述流入配管中流动的前述气体的前述流入流量；前述流入配管在相对于由前述流入流量测量部对前述流入流量进行测量的测量部位靠下游侧被向大气开放。4.如权利要求1～3中任一项所述的检查系统，其特征在于，前述容器收容设备还具备从载置在前述载置台的前述容器进行前述气体的排出的气体排出装置；前述容器还具备形成有前述气体的流出口的容器流出部；前述气体排出装置具备：排气部，被配置在前述载置台，以与载置在前述载置台的前述容器的前述容器流出部连接；排气配管，与前述排气部连接；以及排气流量控制部，对前述气体的流量进行控制，...

【专利技术属性】
技术研发人员：大森和哉，山下亮，大河原直人，宫前恭平，
申请(专利权)人：株式会社大福，
类型：发明
国别省市：