一种超纯水抛光循环系统技术方案

本实用新型专利技术提供了一种超纯水抛光循环系统，其能通过循环管道使水循环流动避免水静止导致细菌大量滋生，还能在有机物去除装置杀菌后，对水再次抛光，保证超纯水的水质。其包括水箱，水箱的出水口通过输水管道与用水点连接，用水点通过循环管道与水箱的回水口连接，输水管道上安装有增压泵及有机物去除装置，输水管道上还安装有换热器、膜脱气装置、超滤装置，水箱和有机物去除装置之间设有换热器，有机物去除装置和用水点之间依次设有膜脱气装置和超滤装置。滤装置。滤装置。

【技术实现步骤摘要】
一种超纯水抛光循环系统


[0001]本技术涉及水处理
，具体为一种超纯水抛光循环系统。

技术介绍

[0002]超纯水是工业精细化生产中（如电子行业、电力、精细化工）所需的纯化水的通称，根据生产需要的水质去除生产所不希望保留的各种离子以及其他杂质的水，通常电阻率≥18MΩ（25℃下）。其对工业生产的重要性不亚于生产设备，特别对于电子行业，如集成电路半导体、液晶面板，水中的任何杂质存在就会不同程度的影响最终的良品率，甚至有可能损坏生产设备造成损失。
[0003]通常情况下，纯水系统的制水过程是连续的，其一般包括预处理系统、制程系统、抛光系统，可持续生产定量的超纯水供应生产端生产，但在用水端却呈现出不规律的用水时间和不定量的用水水量，但是在这种随机情况下超纯水若不处于连续流动状态下，其生菌的几率将会大大增加，从而使超纯水品质下降。
[0004]为了避免在不用水时水中产生过多细菌，现有的解决方法是设计循环管路，使水处于不间断的流动状态，从而使水连续冲刷管壁，减小细菌附着的可能性，例如公开号为CN206872596U公开了一种饮用纯水供水系统，其中的纯水罐通过输水管路及输送泵与用户用水点连接，为了避免水在静止时产生大量细菌，其在输水管路上连接用于去除有机物的紫外线杀菌器，同时还使用户用水点通过回水管路回流至纯水罐中，通过使水在管道内处于循环流动状态，避免水静止导致细菌大量滋生，并可通过杀菌器来灭杀细菌。但是上述系统只适用于饮用纯水，而对水质要求更高的超纯水，即使灭杀了细菌，灭杀细菌后残存的杂质仍会影响超纯水的水质，导致影响超纯水的正常使用。

技术实现思路

[0005]针对灭杀细菌后残存的杂质会影响超纯水的水质的问题，本技术提供了一种超纯水抛光循环系统，其能通过循环管道使水循环流动避免水静止导致细菌大量滋生，还能在有机物去除装置杀菌后，对水再次抛光，保证超纯水的水质。
[0006]其技术方案是这样的：一种超纯水抛光循环系统，其包括水箱，水箱的出水口通过输水管道与用水点连接，用水点通过循环管道与水箱的回水口连接，输水管道上安装有增压泵及有机物去除装置，其特征在于：输水管道上还安装有换热器、膜脱气装置、超滤装置，水箱和有机物去除装置之间设有换热器，有机物去除装置和用水点之间依次设有膜脱气装置和超滤装置。
[0007]优选的，水箱上还设有氮气接入口，氮气接入口通过氮气管道与氮气气源连接，用于隔绝空气。
[0008]优选的，水箱的溢流口与水封箱连接，用于避免空气从溢流口进入水箱。
[0009]优选的，增压泵与变频器连接，输水管道上还安装有稳压器。
[0010]有益效果：通过设置循环管道可以使水在不使用时也能循环流动，避免水因静止
导致细菌大量滋生，同时在通过有机物去除装置分解有机物后，通过膜脱气装置能够对去除有机物过程中产生的二氧化碳等气体进行消除，而超滤装置则可以过滤掉去除有机物过程中产生的颗粒物，从而对水再次抛光减少水中的杂质，保证了超纯水的水质。
附图说明
[0011]图1为本技术中各装置连接示意图。
具体实施方式
[0012]如图1所示的一种超纯水抛光循环系统，其包括水箱1，水箱1的进水口通过进水管道12与前道抛光系统连接，处理完成后的超纯水储存于水箱1中，水箱1的出水口通过输水管道2与用水点3连接，用水点3通过循环管道4与水箱1的回水口连接，输水管道2上安装有增压泵5及有机物去除装置6，输水管道2上还安装有换热器7、膜脱气装置8、超滤装置9，水箱1和有机物去除装置6之间设有换热器7，有机物去除装置6和用水点3之间依次设有膜脱气装置8和超滤装置9。
[0013]具体的，有机物去除装置6可以采用利用紫外线来杀菌的装置，优选的其可以采用紫外线氧化装置，通过紫外线催化氧化来去除有机物；而换热器7的设置用于保证水温稳定并且给予后续处理装置一个合适的温度环境；膜脱气装置8可以采用市场上常见的利用脱气膜来脱气的脱气装置，能够将水中因去除有机物时产生的二氧化碳等气体去除掉，而位于最后的超滤装置9则用于过滤掉去除有机物过程中产生的颗粒物，从而保证超纯水的水质。
[0014]另外，水箱1上还设有氮气接入口，氮气接入口通过氮气管道10与氮气气源连接，用于隔绝空气，避免因与空气接触导致超纯水水质下降，同样的为了隔绝空气，水箱1的溢流口与水封箱11连接，用于避免空气从溢流口进入水箱1。
[0015]本方案中，增压泵5还与变频器13连接，通过变频器13能够控制增压泵5从而调控水速，输水管道上还安装有稳压器14，能够保证水压稳定，其一般为背压式的调节阀和阀后压力变送器组成，调节阀通常为内衬PVDF的活塞式调流调压阀或者自动旋塞阀来控制和稳定压力，使用水点的压力变化保持在
±
0.05MPa范围内。值得一提的是，还可以通过调控变频器13来节能降本，具体的：可以设置管内流速为1.0
‑
1.2m/s，此时的管内正常流量设置为Q，通过在增压泵5的后面设置超声波流量计，缓慢增加频率，将管内流量控制在1.1Q
‑
1.15Q，记录此时的变频器13频率F1，再次增大流量，将管内流量控制在1.3Q，记录下变频器13频率F2，之后可以设置与变频器13连接的PLC逻辑控制器，使增压泵5的频率处于F1，运行时长为30min
‑
1h，而后切换增压泵5频率F2，运行时间为5
‑
10min后，再次将频率调整至F1，如此循环运行，通过间歇增大冲刷剪切力后，可同时兼顾抑制微生物、稳定水质和系统降本节能的功能，可适当降低泵选型规格，经过测算可降低运行成本20%左右。
[0016]以上，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉该技术的人在本技术所揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本技术的保护范围之内。因此，本技术的保护范围应该以权利要求的保护范围为准。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种超纯水抛光循环系统，其包括水箱，所述水箱的出水口通过输水管道与用水点连接，所述用水点通过循环管道与所述水箱的回水口连接，所述输水管道上安装有增压泵及有机物去除装置，其特征在于：所述输水管道上还安装有换热器、膜脱气装置、超滤装置，所述水箱和所述有机物去除装置之间设有所述换热器，所述有机物去除装置和所述用水点之间依次设有所述膜脱气装置和所述超滤装置。2.根据权利要求1所述的一种超纯水抛...

【专利技术属性】
技术研发人员：王亚军，戎宇舟，张浩，何嘉慧，沈王涛，李彩娟，
申请(专利权)人：江苏中电创新环境科技有限公司，
类型：新型
国别省市：