基板移送装置及基板移送装置的水分流入防止方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种基板移送装置，其可以包括：下部绝缘层；上部绝缘层，布置在所述下部绝缘层上；多个导电层，布置在所述下部绝缘层与所述上部绝缘层之间，并且彼此间隔开；以及多个孔，从所述上部绝缘层的上表面限定到所述下部绝缘层的预定的部分，并且不与所述导电层重叠。叠。叠。

【技术实现步骤摘要】
基板移送装置及基板移送装置的水分流入防止方法


[0001]本专利技术涉及基板移送装置及基板移送装置的水分流入防止方法。

技术介绍

[0002]为了稳定地执行诸如液晶显示器、等离子体显示器或有机发光元件显示器等的平板显示器的制造工艺流程，经常使用通过静电卡盘固定基板或晶片的方法。
[0003]静电卡盘利用静电力将基板等固定到下部电极上。静电卡盘包括在一个电极与基板之间生成电位差以吸附基板的单极(unipolar)型和在两个以上的电极之间产生电位差以吸附基板的双极(bipolar)型。
[0004]静电卡盘为陶瓷材质，在制作时其内部存在气孔。在静电卡盘暴露在大气状态的情况下，外部空气可通过气孔填充在静电卡盘中。由于外部空气包含水分，因此在向静电卡盘施加电压并夹持基板的情况下，静电卡盘的静电力会由于水分而降低。

技术实现思路

[0005]解决的技术问题
[0006]本专利技术的目的在于提供当腔室的内部从大气压转换为真空状态时，防止水分流入基板移送装置的内部，从而防止静电力的降低的基板移送装置及基板移送装置的水分流入防止方法。
[0007]解决方法
[0008]根据本专利技术的实施例的基板移送装置可以包括：下部绝缘层；上部绝缘层，布置在所述下部绝缘层上；多个导电层，布置在所述下部绝缘层与所述上部绝缘层之间，并且彼此间隔开；以及多个孔，从所述上部绝缘层的上表面限定到所述下部绝缘层的预定的部分，并且不与所述导电层重叠。
[0009]所述孔可以不贯通所述下部绝缘层。<br/>[0010]当在平面上观察时，所述孔中的每个的截面的圆周可以被设定为1πmm至30πmm。
[0011]所述导电层可以包括：多个第一电极，具有第一极性；以及多个第二电极，具有与所述第一电极的极性相反的第二极性。
[0012]所述第一电极和所述第二电极可以彼此平行地交替布置。
[0013]所述基板移送装置还可以包括：腔室，所述腔室的内部布置有所述下部绝缘层、所述上部绝缘层和所述导电层。
[0014]所述基板移送装置还可以包括：基板，布置在所述上部绝缘层上，其中，当所述腔室的内部保持为真空状态时，所述基板可以通过由所述第一电极和所述第二电极产生的静电力而接触所述上部绝缘层的所述上表面。
[0015]当所述腔室的所述内部保持为大气压状态时，所述基板可以通过所述孔被真空吸附到所述上部绝缘层的所述上表面。
[0016]当在平面上观察时，所述孔可以限定在与所述上部绝缘层的所述上表面的边缘相
邻的部分。
[0017]所述孔可以在所述下部绝缘层中形成为一体的通道。
[0018]所述基板移送装置还可以包括：孔门，布置在所述下部绝缘层的一个侧面，并且连接到所述孔中的任意一个孔，其中，所述孔门敞开或关闭限定于所述下部绝缘层的内部的所述孔与所述下部绝缘层的外部的连接。
[0019]根据本专利技术的实施例的基板移送装置的水分流入防止方法可以包括：在布置于真空状态的腔室中的静电卡盘上布置基板的步骤；关闭所述静电卡盘的电源的步骤；将所述腔室的内部转换为大气压状态的步骤；以及通过限定于所述静电卡盘的上表面的多个孔将所述基板真空吸附到所述静电卡盘的上表面的步骤，其中，所述静电卡盘可以包括：下部绝缘层；上部绝缘层，布置在所述下部绝缘层上；以及多个导电层，布置在所述下部绝缘层与所述上部绝缘层之间，其中，所述孔可以不与所述导电层重叠。
[0020]所述基板移送装置的水分流入防止方法还可以包括：检查所述大气压状态的所述腔室的内部的所述静电卡盘的步骤。
[0021]所述孔可以从所述静电卡盘的所述上表面限定成与所述静电卡盘的所述下表面相邻，并且所述孔可以不贯通所述静电卡盘的所述下表面。
[0022]当在平面上观察时，所述孔中的每个的截面的圆周可以被设定为1πmm至30πmm。
[0023]所述导电层可以包括：多个第一电极，具有第一极性；以及多个第二电极，具有与所述第一电极的极性相反的第二极性，其中，所述第一电极和所述第二电极可以彼此平行地交替布置。
[0024]当所述腔室的内部保持为真空状态时，所述基板可以通过由所述第一电极和所述第二电极产生的静电力而接触所述静电卡盘的所述上表面。
[0025]当在平面上观察时，所述孔可以布置在与由所述静电卡盘限定的平面的边缘相邻的部分，并且在所述静电卡盘中形成为一体的通道。
[0026]所述基板移送装置的水分流入防止方法还可以包括：敞开或关闭孔门的步骤，所述孔门布置在所述下部绝缘层的一个侧面，并且连接到所述孔中的任意一个孔，其中，通过所述孔门的敞开，附着到所述静电卡盘的所述基板可以从所述静电卡盘分离。
[0027]有益效果
[0028]根据本专利技术的实施例，当将真空状态的腔室的内部转换为大气压状态时，可以防止水分流入基板移送装置内部。如果水分流入被阻断，则可以防止基板移送装置的静电力减小。因此，当再次将腔室的内部转换为真空状态时，也不需要用于去除基板移送装置内部的水分的时间。即，用于去除基板移送装置内部的水分的等待时间减少，使得工艺效率可以提高。
附图说明
[0029]SMA：基板移送装置
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U
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INS：上部绝缘层
[0030]L
‑
INS：下部绝缘层
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U
‑
INSP：上表面
[0031]SUB：基板
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HOL：孔
[0032]AHL：气孔
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EL：导电层
[0033]EL1：第一电极
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EL2：第二电极
[0034]CHB：腔室
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PS：电源
[0035]附图标记的说明
[0036]图1是根据本专利技术的一个实施例的基板移送装置的平面图。
[0037]图2是沿着图1的线I
‑
I'截取的剖视图。
[0038]图3是图1所示的基板移送装置的侧视图。
[0039]图4a是根据本专利技术的一个实施例的基板移送装置的侧视图。
[0040]图4b是根据本专利技术的一个实施例的基板移送装置的侧视图。
[0041]图5是根据本专利技术的一个实施例的基板移送装置的水分流入防止方法的流程图。
[0042]图6是布置有基板的基板移送装置的侧视图。
[0043]图7是电源关闭的基板移送装置的侧视图。
[0044]图8是示出通过孔吸附到基板移送装置的基板的视图。
[0045]图9是利用本专利技术的基板移送装置制造的显示面板的平面图。
[0046]图10是示例性地示出图9所示的任意一个像素的截面的视图。
[0047]图11是用于说明在由基板移送装置移送的基板上执行的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基板移送装置，包括：下部绝缘层；上部绝缘层，布置在所述下部绝缘层上；多个导电层，布置在所述下部绝缘层与所述上部绝缘层之间，并且彼此间隔开；以及多个孔，从所述上部绝缘层的上表面限定到所述下部绝缘层的预定的部分，并且不与所述导电层重叠。2.根据权利要求1所述的基板移送装置，其中，所述孔不贯通所述下部绝缘层。3.根据权利要求1所述的基板移送装置，其中，当在平面上观察时，所述孔中的每个的截面的圆周被设定为1πmm至30πmm。4.根据权利要求1所述的基板移送装置，其中，所述导电层包括：多个第一电极，具有第一极性；以及多个第二电极，具有与所述第一电极的极性相反的第二极性。5.根据权利要求4所述的基板移送装置，还包括：腔室，所述腔室的内部布置有所述下部绝缘层、所述上部绝缘层和所述导电层。6.根据权利要求5所述的基板移送装置，还包括：基板，布置在所述上部绝缘层上，其中，当所述腔室的内部保持为真空状态时，所述基板通过由所述第一电极和所述第二电极产生的静电力而接触所述上部绝缘层的所述上表面。7.根据权利要求6所述的基板移送装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：金钟协，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：