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基板移送装置及基板移送装置的水分流入防止方法制造方法及图纸
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下载基板移送装置及基板移送装置的水分流入防止方法的技术资料
文档序号:35259742
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本发明公开了一种基板移送装置,其可以包括:下部绝缘层;上部绝缘层,布置在所述下部绝缘层上;多个导电层,布置在所述下部绝缘层与所述上部绝缘层之间,并且彼此间隔开;以及多个孔,从所述上部绝缘层的上表面限定到所述下部绝缘层的预定的部分,并且不与所...
该专利属于三星显示有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过三星显示有限公司授权不得商用。
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