一种多功能高效晶圆清洗槽制造技术

本发明专利技术公开了一种多功能高效晶圆清洗槽，属于晶圆清洗槽技术领域，包括：清洗箱，所述清洗箱的顶部开设有清洗槽，清洗槽内安装有清洗组件，所述清洗箱的顶部还安装有洁净组件；所述清洗组件包括安装在清洗箱底部的传动电机一，所述传动电机一的输出端贯穿清洗箱的底部并固定套设有棱柱，所述棱柱的顶部支撑有存放壳体，所述存放壳体的内壁粘接有减振垫，所述存放壳体的顶部均匀连接有多个限位杆，且限位杆的侧壁套设有橡胶套，所述存放壳体的底部均匀开设有多个和限位杆对应的漏孔，所述清洗箱的底部还安装有超声波发生器。该多功能高效晶圆清洗槽，可以高效的对多个晶圆进行清洗，且能够方便的对清洗槽进行清洁。能够方便的对清洗槽进行清洁。能够方便的对清洗槽进行清洁。

【技术实现步骤摘要】
一种多功能高效晶圆清洗槽


[0001]本专利技术属于晶圆清洗槽
，尤其是一种多功能高效晶圆清洗槽。

技术介绍

[0002]随着半导体技术的不断发展，如何改进半导体生产就显得尤为重要，半导体芯片主要由晶圆加工而成，晶圆的洁净是生产工艺过程中的基本要求，因此就需要对清洗晶圆用的晶圆清洗槽进行不断改进。
[0003]例如申请号为CN202022781192.8的一种晶圆清洗槽，包括清洗池、转轴、晶圆载台和清洗喷头，晶圆载台和清洗喷头均设置在清洗池内，清洗池是由侧壁和底座围成的桶状结构，转轴设置在所述底座上，转轴的一端与所述晶圆载台连接从而带动晶圆载台转动，清洗喷头位于所述晶圆载台的上方，清洗喷头用于向晶圆载台喷淋清洗液，侧壁的内表面对应所述晶圆载台的位置设有缓冲层。清洗时被甩出的清洗液和晶圆碎屑以高速撞击到清洗池侧壁时，先撞击到缓冲层上，基于缓冲层的缓冲作用，有效防止清洗液和晶圆碎屑反弹，提高了晶圆的清洗质量，也避免了晶圆和零件被刮伤。
[0004]但现有装置不能高效的对多个晶圆进行清洗，且无法方便的对清洗槽进行清洁。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种多功能高效晶圆清洗槽，以解决
技术介绍
中提出的问题。
[0006]技术方案：一种多功能高效晶圆清洗槽，包括：
[0007]清洗箱，所述清洗箱的顶部开设有清洗槽，清洗槽内安装有清洗组件，所述清洗箱的顶部还安装有洁净组件；
[0008]所述清洗组件包括安装在清洗箱底部的传动电机一，所述传动电机一的输出端贯穿清洗箱的底部并固定套设有棱柱，所述棱柱的顶部支撑有存放壳体，所述存放壳体的内壁粘接有减振垫，所述存放壳体的顶部均匀连接有多个限位杆，且限位杆的侧壁套设有橡胶套，所述存放壳体的底部均匀开设有多个和限位杆对应的漏孔，所述清洗箱的底部还安装有超声波发生器，清洗槽的底部均匀安装有多个和漏孔对应的超声波换能器。
[0009]在进一步的实施例中，所述洁净组件包括活动插接在清洗箱顶部一侧的电动伸缩杆和固定套设在电动伸缩杆侧壁的齿轮一，所述清洗箱的顶部还固定插接有伺服电机，所述伺服电机输出端的侧壁固定套设有和齿轮一啮合的齿轮二。
[0010]在进一步的实施例中，所述电动伸缩杆输出端的顶部安装有安装板，所述安装板的顶部安装有和清洗槽对应的传动电机二，所述传动电机二的输出端贯穿安装板的顶部并同轴连接有连接杆，所述连接杆的侧壁下部套设有清洗海绵。
[0011]在进一步的实施例中，所述连接杆的侧壁下部注塑一体成型有定位环，且定位环支撑在清洗海绵的顶部，所述清洗海绵的底部开设有安装槽，所述连接杆的底部螺接有螺柱，且螺柱的底部注塑一体成型有支撑在安装槽顶部的固定板。
[0012]在进一步的实施例中，所述清洗箱的底部一侧还固定插接有排液管，所述排液管的侧壁底部焊接有法兰。
[0013]在进一步的实施例中，所述清洗箱的一侧嵌套安装有和清洗槽对应的透明玻璃板。
[0014]在进一步的实施例中，所述清洗箱的一侧壁开设有开槽，开槽内安装有操作台，开槽的一侧通过铰链连接有挡板。
[0015]在进一步的实施例中，所述清洗箱的顶部通过铰链连接有和清洗槽对应的盖板。
[0016]在进一步的实施例中，所述存放壳体的顶部对称安装有两个提手，且提手的中部套设有硅胶套。
[0017]在进一步的实施例中，所述存放壳体的底部中心构造有和棱柱对应的安装孔，且棱柱插接在安装孔内。
[0018]本专利技术的技术效果和优点：该多功能高效晶圆清洗槽，可以将多个晶圆通过多个限位杆分隔放置在存放壳体的内侧，然后将存放壳体固定在棱柱顶部即可开始清洗，通过传动电机一和超声波换能器的配合，可以高效的对多个晶圆进行清洗；
[0019]取出存放壳体后，通过洁净组件控制清洗海绵移入清洗槽内，即可通过传动电机二带动清洗海绵转动的方式对清洗槽进行清洁，能够方便的对清洗槽进行清洁；
[0020]该多功能高效晶圆清洗槽，可以高效的对多个晶圆进行清洗，且能够方便的对清洗槽进行清洁。
附图说明
[0021]图1为本专利技术的结构示意图；
[0022]图2为本专利技术的清洗箱的剖视图；
[0023]图3为本专利技术图2中A处的放大图；
[0024]图4为本专利技术的洁净组件的结构示意图；
[0025]图5为本专利技术图4中B处的放大图；
[0026]图6为本专利技术的清洗海绵的剖视图。
[0027]图中：1、清洗箱；2、清洗组件；3、传动电机一；4、棱柱；5、存放壳体；6、漏孔；7、限位杆；8、橡胶套；9、超声波发生器；10、超声波换能器；11、洁净组件；12、电动伸缩杆；13、齿轮一；14、伺服电机；15、齿轮二；16、安装板；17、传动电机二；18、连接杆；19、定位环；20、清洗海绵；21、固定板；22、螺柱；23、操作台；24、挡板；25、透明玻璃板； 26、盖板；27、提手；28、排液管；29、支腿。
具体实施方式
[0028]在下文的描述中，给出了大量具体的细节以便提供对本专利技术更为彻底的理解。然而，对于本领域技术人员而言显而易见的是，本专利技术可以无需一个或多个这些细节而得以实施。在其他的例子中，为了避免与本专利技术发生混淆，对于本领域公知的一些技术特征未进行描述。
[0029]如图1、图2和图3，为了可以高效的对多个晶圆进行清洗，一种多功能高效晶圆清洗槽，包括：清洗箱1，清洗箱1的底部四角均焊接有支腿29，洗箱1的底部一侧还固定插接有
安装有控制阀的排液管28，排液管28的侧壁底部焊接有法兰，方便排液管28与外部管道连接，清洗箱1的顶部开设有清洗槽，清洗箱1的顶部通过铰链连接有和清洗槽对应的盖板26，可以盖上盖板26以防止清洗槽进灰，清洗箱1的一侧嵌套安装有和清洗槽对应的透明玻璃板25(图示需要未画透明)，可以实时观察清洗槽的内部情况，清洗槽内安装有清洗组件2，清洗组件2包括通过电机座安装在清洗箱1底部的传动电机一3，传动电机一3的输出端贯穿清洗箱1的底部并固定套设有棱柱4，棱柱4的顶部支撑有存放壳体5，存放壳体5的底部中心构造有和棱柱4对应的安装孔，且棱柱4插接在安装孔内，存放壳体5的顶部通过螺栓对称安装有两个提手27，且提手27的中部套设有硅胶套，方便通过提手27将存放壳体 5提起，存放壳体5的内壁粘接有减振垫，存放壳体5的顶部均匀连接有多个限位杆7，四个相邻的限位杆7可以构成一个放置晶圆的空间，且限位杆7的侧壁套设有橡胶套8，橡胶套8可以避免晶圆发生磨损，存放壳体5的底部均匀开设有多个和限位杆7对应的漏孔6，清洗箱1的底部还通过多个螺栓安装有超声波发生器9，清洗槽的底部均匀安装有多个和漏孔6对应的超声波换能器10，且超声波发生器9和超声波换能器10电性连接，采用现有原理对晶圆进行超声波清洗，清洗箱1的一侧壁开设有开槽，开槽内安装有操作台23，操作台23与所有用电结构电性连接，采用现有的电路控制原理控制用电结构运转，开槽的一侧通过铰链连接有挡板24，不用时可以盖本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多功能高效晶圆清洗槽，包括：清洗箱(1)，所述清洗箱(1)的顶部开设有清洗槽，清洗槽内安装有清洗组件(2)，所述清洗箱(1)的顶部还安装有洁净组件(11)；其特征在于：所述清洗组件(2)包括安装在清洗箱(1)底部的传动电机一(3)，所述传动电机一(3)的输出端贯穿清洗箱(1)的底部并固定套设有棱柱(4)，所述棱柱(4)的顶部支撑有存放壳体(5)，所述存放壳体(5)的内壁粘接有减振垫，所述存放壳体(5)的顶部均匀连接有多个限位杆(7)，且限位杆(7)的侧壁套设有橡胶套(8)，所述存放壳体(5)的底部均匀开设有多个和限位杆(7)对应的漏孔(6)，所述清洗箱(1)的底部还安装有超声波发生器(9)，清洗槽的底部均匀安装有多个和漏孔(6)对应的超声波换能器(10)。2.根据权利要求1所述的一种多功能高效晶圆清洗槽，其特征在于：所述洁净组件(11)包括活动插接在清洗箱(1)顶部一侧的电动伸缩杆(12)和固定套设在电动伸缩杆(12)侧壁的齿轮一(13)，所述清洗箱(1)的顶部还固定插接有伺服电机(14)，所述伺服电机(14)输出端的侧壁固定套设有和齿轮一(13)啮合的齿轮二(15)。3.根据权利要求2所述的一种多功能高效晶圆清洗槽，其特征在于：所述电动伸缩杆(12)输出端的顶部安装有安装板(16)，所述安装板(16)的顶部安装有和清洗槽对应的传动电机二(17)，所述传动电机二(17)的输出端贯穿安装板(16)的顶部并同轴连接有连接杆(18)，...

【专利技术属性】
技术研发人员：钱诚，童建，李文亭，
申请(专利权)人：江苏亚电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：