一种调节式探针卡装置制造方法及图纸

技术编号:35253962 阅读:18 留言:0更新日期:2022-10-19 10:09
本实用新型专利技术公开了一种调节式探针卡装置,包括固定座和探针本体,所述固定座的侧壁内部开设有空腔,所述空腔的内部贯通固定座水平方向设置有限位杆,所述限位杆的顶端表面设置有第一齿轨。本实用新型专利技术中,通过设置固定座、探针本体、限位槽、限位杆、第一齿轨、齿轮、第二齿轨、导杆和按压板,通过按压按压板,带动导杆和第二齿轨向一侧运动、第二齿轨和齿轮啮合连接,且齿轮与第一齿轨啮合连接,从而带动限位杆向相反的方向运动,然后将所需要的探针本体放置在固定座的内部,然后松开按压板,导杆和限位杆在限位弹簧的作用下复位,使得限位杆位于限位槽内,对探针夹紧固定,方便安装与拆卸,便于调节更换,极大的提高了装置的使用便捷性。性。性。

【技术实现步骤摘要】
一种调节式探针卡装置


[0001]本技术涉及探针卡装置
,尤其涉及一种调节式探针卡装置。

技术介绍

[0002]探针卡是晶圆测试中被测芯片和测试机之间的接口,主要应用于芯片分片封装前对芯片电学性能进行初步测量,并筛选出不良芯片后,再进行之后的封装工程,探针卡的使用原理是将探针卡上的探针与芯片上的焊垫或凸块直接接触,导出芯片讯号,再配合周边测试仪器与软件控制达到自动化量测晶圆。
[0003]现有的技术存在以下问题:
[0004]目前探针卡在进行安装时,通常采用螺栓的方式固定安装,且现有的探针的直径不一,不方便固定和拆卸,在进行检测时,不方便更换;同时,在更换探针卡装置上面的探针时,由于探针一般都是圆柱体,非常容易滚动,使得探针从工作台的表面掉落,容易对探针造成损伤,降低探针的使用寿命。
[0005]我们为此,提出了一种调节式探针卡装置解决上述弊端。

技术实现思路

[0006]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的探针卡在进行安装时,通常采用螺栓的方式固定安装,且现有的探针的直径不一,不方便固定和拆卸,在进行检测时,不方便更换;同时,在更换探针卡装置上面的探针时,由于探针一般都是圆柱体,非常容易滚动,使得探针从工作台的表面掉落,容易对探针造成损伤,降低探针的使用寿命的缺点,而提出的一种调节式探针卡装置。
[0007]为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方案:一种调节式探针卡装置,包括固定座和探针本体,所述固定座的侧壁内部开设有空腔,所述空腔的内部贯通固定座水平方向设置有限位杆,所述限位杆的顶端表面设置有第一齿轨,所述第一齿轨与齿轮啮合连接,所述齿轮与第二齿轨啮合连接,所述第二齿轨固定在导杆的底端表面,所述限位杆和所述导杆的表面均设置有限位块,所述限位块的一侧设置有限位弹簧,所述导杆的端部设置有按压板,所述限位杆的一端端部位于限位槽内,所述限位槽开设在探针本体的侧表面。
[0008]优选的,所述探针本体是由安装座、针体、固定块组成,所述安装座的底端表面设置有针体,所述针体的两侧对称设置有固定块。
[0009]优选的,所述安装座的形状为正方体,所述安装座的多个侧表面均开设有限位槽,且限位槽开设有多个,并且多个限位槽呈矩形阵列分布在安装座的侧表面。
[0010]优选的,所述限位杆设置有多个,多个所述限位杆与多个所述限位槽相匹配使用。
[0011]优选的,所述探针本体通过固定块、针体和安装座采用一体成型的注塑方式制成。
[0012]优选的,所述按压板的表面设置有防滑垫,所述防滑垫采用橡胶材质。
[0013]与现有技术相比,本技术的有益效果是;
[0014]1、本技术中,通过设置固定座、探针本体、限位槽、限位杆、第一齿轨、齿轮、第
二齿轨、导杆和按压板,通过按压按压板,带动导杆和第二齿轨向一侧运动、第二齿轨和齿轮啮合连接,且齿轮与第一齿轨啮合连接,从而带动限位杆向相反的方向运动,然后将所需要的探针本体放置在固定座的内部,然后松开按压板,导杆和限位杆在限位弹簧的作用下复位,使得限位杆位于限位槽内,对探针夹紧固定,方便安装与拆卸,便于调节更换,极大的提高了装置的使用便捷性。
[0015]2、本技术中,通过设置探针本体、安装座、针体、和固定块,通过在针体的两侧对称固定有固定块,使得探针本体不易滚动,从而便于将探针本体限位在工作台的表面,避免出现探针本体出现掉落工作台的情况发生,降低探针本体的使用损伤,延长探针本体的使用寿命,同时通过对称固定有固定块,能够增大一部分探针本体的横截面积,从而方便工作人员拿取探针本体,进一步的提高了探针的实用性。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0017]图1为本技术提出的一种调节式探针卡装置的结构示意图;
[0018]图2为本技术提出的一种调节式探针卡装置的A处结构示意图;
[0019]图3为本技术提出的一种调节式探针卡装置的探针本体的结构示意图。
[0020]图例说明:
[0021]1、固定座;2、探针本体;3、安装座;4、针体;5、固定块;6、限位槽;7、限位杆;8、第一齿轨;9、齿轮;10、第二齿轨;11、导杆;12、限位块;13、限位弹簧;14、按压板;15、防滑垫;16、空腔。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0023]在本技术的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本技术的限制;术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性;此外,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0024]请参照图1

3,一种调节式探针卡装置,包括固定座1和探针本体2,固定座1的侧壁
内部开设有空腔16,空腔16的内部贯通固定座1水平方向设置有限位杆7,限位杆7的顶端表面设置有第一齿轨8,第一齿轨8与齿轮9啮合连接,齿轮9与第二齿轨10啮合连接,第二齿轨10固定在导杆11的底端表面,限位杆7和导杆11的表面均设置有限位块12,限位块12的一侧设置有限位弹簧13,导杆11的端部设置有按压板14,限位杆7的一端端部位于限位槽6内,限位槽6开设在探针本体2的侧表面。
[0025]本实施方案中:通过按压按压板14,带动导杆11和第二齿轨10向一侧运动、第二齿轨10和齿轮9啮合连接,且齿轮9与第一齿轨8啮合连接,从而带动限位杆7向相反的方向运动,然后将所需要的探针本体2放置在固定座1的内部,然后松开按压板14,导杆11和限位杆7在限位弹簧13的作用下复位,使得限位杆7位于限位槽6内,对探针夹紧固定,方便安装与拆卸,便于调节更换,极大的提高了装置的使用便捷性。
[0026]具体的,探针本体2是由安装座3、本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种调节式探针卡装置,包括固定座(1)和探针本体(2),其特征在于,所述固定座(1)的侧壁内部开设有空腔(16),所述空腔(16)的内部贯通固定座(1)水平方向设置有限位杆(7),所述限位杆(7)的顶端表面设置有第一齿轨(8),所述第一齿轨(8)与齿轮(9)啮合连接,所述齿轮(9)与第二齿轨(10)啮合连接,所述第二齿轨(10)固定在导杆(11)的底端表面,所述限位杆(7)和所述导杆(11)的表面均设置有限位块(12),所述限位块(12)的一侧设置有限位弹簧(13),所述导杆(11)的端部设置有按压板(14),所述限位杆(7)的一端端部位于限位槽(6)内,所述限位槽(6)开设在探针本体(2)的侧表面。2.根据权利要求1所述的一种调节式探针卡装置,其特征在于,所述探针本体(2)是由安装座(3)、针体(4)、固定块(5)组成,所述安...

【专利技术属性】
技术研发人员:李文华谭磊苏怀成
申请(专利权)人:绵阳市长力科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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