一种应用于单晶炉的炉室制造技术

一种应用于单晶炉的炉室，包括炉室本体，所述炉室本体围合形成提拉通道，所述炉室本体包括外壳和内壳，所述外壳和所述内壳之间形成换热空间，所述换热空间用于对提拉通道内的晶棒进行换热，所述换热空间内设有弹性密封水道结构，弹性密封水道结构和换热空间围合形成循环水道，弹性密封水道结构的一侧与内壳连接，弹性密封水道结构的另一侧与外壳连接，所述弹性密封水道结构用于使所述外壳和所述内壳紧密连接，所述炉室本体还包括上炉室本体和下炉室本体，所述上炉室本体连接在所述下炉室本体的上侧。本实用新型专利技术设置的弹性密封水道结构，使得炉室本体的外壳和内壳紧密相连，保证换热效率，避免窜水现象的发生，能够提高炉室的使用寿命。用寿命。用寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种应用于单晶炉的炉室


[0001]本技术涉及单晶炉的辅助设备领域，特别涉及一种应用于单晶炉的炉室。

技术介绍

[0002]直拉法生长单晶硅是目前生产单晶硅最广泛的应用技术，直拉法生长单晶硅时，单晶炉为核心生产设备之一。单晶炉是一种在惰性气体氮气、氦气为主环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。在现有技术中，由于单晶炉炉室的外壳与内壳连接不够紧密，容易使冷却介质通过单晶炉炉室的外壳与水道隔板之间的间隙就近回水，发生窜水现象，使得冷却介质不能通过循环水道均匀地分布在单晶炉炉室的壳体内，导致单晶炉炉室对晶棒的冷却不均匀；并且在单晶炉工作的时候，工作温度高并且温度反复变化，单晶炉炉室的内外壳及水道隔板因反复的热胀冷缩会加大外壳与水道隔板之间的间隙，加重窜水现象，进一步加剧了单晶炉炉室壳体与水道隔板之间因窜水现象而没有冷却介质流经的部位的形变，进一步降低单晶炉炉室的换热效率，降低单晶的结晶效率，降低晶棒的产能和质量，进而影响单晶炉的生产效益，从而降低单晶炉炉室的使用寿命。

技术实现思路

[0003]针对上述提到的现有技术单晶炉炉室内壳与外壳密封性不好，冷却介质对单晶炉炉室冷却不均匀，影响单晶炉炉室使用寿命的技术问题，本技术解决其技术问题采用的技术方案是：
[0004]一种应用于单晶炉的炉室，包括炉室本体，所述炉室本体围合形成提拉通道，所述炉室本体包括外壳和内壳，所述外壳和所述内壳之间形成换热空间，所述换热空间用于对所述提拉通道内的晶棒进行换热，所述换热空间内设有弹性密封水道结构，所述弹性密封水道结构和所述换热空间围合形成循环水道，所述弹性密封水道结构的一侧与所述内壳连接，所述弹性密封水道结构的另一侧与所述外壳连接，所述弹性密封水道结构用于使所述外壳和所述内壳紧密连接，所述炉室本体还包括上炉室本体和下炉室本体，所述上炉室本体连接在所述下炉室本体的上侧。
[0005]进一步地，所述上炉室本体包括上炉室外壳和上炉室内壳，所述上炉室外壳和所述上炉室内壳之间形成上炉室换热空间。
[0006]进一步地，所述下炉室本体包括下炉室外壳和下炉室内壳，所述下炉室外壳和所述下炉室内壳之间形成下炉室换热空间。
[0007]进一步地，所述弹性密封水道结构包括一侧的连接边A以及另一侧的连接边B，所述连接边A与连接边B之间连接有弹性部，所述连接边A的外侧与所述内壳连接，所述连接边B的外侧与所述外壳连接，所述连接边A上设有连接边A 自由端，所述连接边B上设有连接边B自由端，所述连接边A自由端与所述连接边B自由端之间设有压紧间隙，所述压紧间隙供所述弹性密封水道结构被所述外壳和所述内壳压紧后变形。
[0008]进一步地，所述连接边A自由端与所述连接边B自由端分别位于所述弹性密封水道结构的下侧并向其中部靠近，且所述连接边A自由端与连接边B自由端相对设置。
[0009]进一步地，所述连接边A、所述连接边B和所述弹性部为一体弯折成型，其成型的所述弹性密封水道结构的截面形状呈“C”型状。
[0010]进一步地，所述连接边A的外侧与所述内壳焊接，所述连接边B的外侧与所述外壳抵接。
[0011]进一步地，所述弹性密封水道结构沿所述内壳呈螺旋线状连续缠绕设置。
[0012]进一步地，所述外壳上分别设有与所述水道连通的进水口和出水口。
[0013]本技术的有益效果如下：
[0014]1、本技术的单晶炉炉室通过在换热空间内设置弹性密封水道结构，使得炉室本体的外壳和内壳紧密相连，同时弹性密封水道结构与换热空间形成的水道能够顺利地对提拉通道进行有效冷却，避免了窜水现象的发生从而导致的炉室本体表面受热不均匀的现象，保证换热效率，提高单晶硅的生长速度，也提高了单晶炉炉室本体的使用寿命。
[0015]2、本技术通过改进的弹性密封水道结构，利用其自身的压紧间隙，在连接边A与内壳密封装配后，外壳直接压紧连接边B进行安装，其压紧间隙使得外壳压在连接边B时，使弹性密封水道结构整体收缩，压紧间隙减少，而弹性密封水道结构自身的恢复弹性使得其连接边B能够保持压在外壳的内侧，从而使连接边B起到与外壳良好的密封配合，且即使在使用过程中，由于温度的变化导致炉室的外壳热胀冷缩变形，弹性密封水道结构可依靠自身的弹性结构，作适应的变化自动调整间隙，保证密封性的同时具有结构简单、不占用空间的优点。
[0016]3、本技术通过上炉室本体和下炉室本体的设计，分别配合设置弹性密封水道结构，能够分别使上炉室本体和下炉室本体的结构紧密，有效避免窜水现象，同时提高整体换热效率，提高单晶硅的生长速度，也提高了单晶炉上炉室本体和下炉室本体的使用寿命。
[0017]下面将结合附图和具体实施方式对本技术做进一步说明。
附图说明
[0018]图1为本技术的一种应用于单晶炉的炉室(不含外壳)示意图。
[0019]图2为本技术的一种应用于单晶炉的炉室示意图。
[0020]图3为本技术的弹性密封水道结构示意图。
[0021]图4为本技术的一种应用于单晶炉的炉室的剖面图。
[0022]图5为图4的A部放大图。
[0023]图6为图4的B部放大图。
具体实施方式
[0024]下面结合附图对本技术的实施方式作详细说明。
[0025]如图1和图2所示的一种应用于单晶炉的炉室，包括炉室本体1，所述炉室本体1围合形成提拉通道2，所述炉室本体1包括外壳3和内壳4，所述外壳3 和所述内壳4之间形成换热空间5，所述换热空间5用于对所述提拉通道2内的晶棒进行换热，所述换热空间5内设有弹性密封水道结构6，所述弹性密封水道结构6和所述换热空间5围合形成循环水道7，所述
弹性密封水道结构6的一侧与所述内壳4连接，所述弹性密封水道结构6的另一侧与所述外壳3连接，所述弹性密封水道结构6用于使所述外壳3和所述内壳4紧密连接，所述炉室本体1还包括上炉室本体8和下炉室本体9，所述上炉室本体8连接在所述下炉室本体9的上侧。本技术的单晶炉炉室通过在换热空间内设置弹性密封水道结构，使得炉室本体的外壳和内壳紧密相连，同时弹性密封水道结构与换热空间形成的水道能够顺利地对提拉通道内进行有效冷却，避免了窜水现象的发生从而导致的炉室本体表面受热不均匀的现象，保证换热效率，提高单晶硅的生长速度，也提高了单晶炉炉室的使用寿命。本技术通过改进的弹性密封水道结构，利用其自身的压紧间隙，在连接边A与内壳密封装配后，外壳直接压紧连接边B进行安装，其压紧间隙使得外壳压在连接边B时，使弹性密封水道结构整体收缩，压紧间隙减少，而弹性密封水道结构自身的恢复弹性使得其连接边B能够保持压在外壳的内侧，从而使连接边B起到与外壳良好的密封配合，且即使在使用过程中，由于温度的变化导致壳体热胀冷缩变形，弹性密封水道结构可依靠自身的弹性结构，作适应的变化自动调整间隙，保证密封性的同时具有结构简单、不占用空间的优点。
[0026]如图1和图5所示的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种应用于单晶炉的炉室，包括炉室本体(1)，所述炉室本体(1)围合形成提拉通道(2)，其特征在于：所述炉室本体(1)包括外壳(3)和内壳(4)，所述外壳(3)和所述内壳(4)之间形成换热空间(5)，所述换热空间(5)用于对所述提拉通道(2)内的晶棒进行换热，所述换热空间(5)内设有弹性密封水道结构(6)，所述弹性密封水道结构(6)和所述换热空间(5)围合形成循环水道(7)，所述弹性密封水道结构(6)的一侧与所述内壳(4)连接，所述弹性密封水道结构(6)的另一侧与所述外壳(3)连接，所述弹性密封水道结构(6)用于使所述外壳(3)和所述内壳(4)紧密连接，所述炉室本体(1)还包括上炉室本体(8)和下炉室本体(9)，所述上炉室本体(8)连接在所述下炉室本体(9)的上侧。2.根据权利要求1所述的一种应用于单晶炉的炉室，其特征在于：所述上炉室本体(8)包括上炉室外壳(81)和上炉室内壳(82)，所述上炉室外壳(81)和所述上炉室内壳(82)之间形成上炉室换热空间(83)。3.根据权利要求1所述的一种应用于单晶炉的炉室，其特征在于：所述下炉室本体(9)包括下炉室外壳(91)和下炉室内壳(92)，所述下炉室外壳(91)和所述下炉室内壳(92)之间形成下炉室换热空间(93)。4.根据权利要求1所述的一种应用于单晶炉的炉室，其特征在于：所述弹性密封水道结构(6)包括一侧的连接边A(61)以及另一侧的连接边B(62)，所述连接边A(61)与连接边B(62...

【专利技术属性】
技术研发人员：林龙强，李建和，刘智嘉，黄汝华，
申请(专利权)人：中山市汇创精密科技有限公司，
类型：新型
国别省市：