一种晶圆跳片检测机构制造技术

本申请涉及一种晶圆跳片检测机构，包括：支撑杆，固定座和两组对射传感器，两组对射传感器分别设置在传感器固定板上，对射传感器中的发射端发出的光线能够穿过过孔达到另一侧的接收端。传感器固定板上设置的过孔能够使对射传感器发射端发出的光线呈与过孔相同的形状，防止对射传感器发射端发出的过宽的光线而造成的感应不灵敏的问题。造成的感应不灵敏的问题。造成的感应不灵敏的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆跳片检测机构


[0001]本申请属于晶圆生产设备
，尤其是涉及一种晶圆跳片检测机构。

技术介绍

[0002]晶圆生产设备中，不管是晶圆盒承载晶圆或者无晶圆盒直接支撑固定的方式，都需要对晶圆的状态进行监控，比如使用光电传感器来感应晶圆的边缘，当晶圆准确放置时，光电传感器的光线擦着晶圆边缘，当晶圆放置位置不准确时(部分晶圆更高)，则会挡住光电传感器，然而现有的光电传感器不管是发射端还是接收端，发出的光线宽度较宽，容易导致误判，即位置准确也容易报错。

技术实现思路

[0003]本技术要解决的技术问题是：为解决现有技术中的不足，从而提供一种检测灵敏的晶圆跳片检测机构。
[0004]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：
[0005]一种晶圆跳片检测机构，包括：
[0006]支撑杆，为4个，设置于晶圆片的四角；
[0007]固定座，为4个并分别设置在支撑杆上，包括用于直接与支撑杆连接的第一固定板，与第一固定板垂直的第二固定板，设置在第二固定板上的传感器固定板，所述传感器固定板上设置有过孔；
[0008]两组对射传感器，分别设置在传感器固定板上，对射传感器中的发射端发出的光线能够穿过过孔达到另一侧的接收端。
[0009]优选地，本技术的晶圆跳片检测机构，安装有发射端的对射传感器上的传感器固定板的过孔的直径为1
‑
2mm。
[0010]优选地，本技术的晶圆跳片检测机构，安装有接收端的对射传感器上的传感器固定板的过孔的直径大于安装有发射端的对射传感器上的传感器固定板的过孔。
[0011]优选地，本技术的晶圆跳片检测机构，所述第一固定板上具有水平安装孔。
[0012]优选地，本技术的晶圆跳片检测机构，第二固定板上具有竖直安装孔。
[0013]优选地，本技术的晶圆跳片检测机构，所述支撑杆具有水平板，且水平板上设置有长条孔。
[0014]优选地，本技术的晶圆跳片检测机构，所述传感器固定板上沿竖直方向设置有若干直径不等的过孔，以便于根据实际情况选择合适大小的过孔。
[0015]本技术的有益效果是：
[0016]本技术的晶圆跳片检测机构，传感器固定板上设置的过孔能够使对射传感器发射端发出的光线呈与过孔相同的形状，防止对射传感器发射端发出的过宽的光线而造成的感应不灵敏的问题。
附图说明
[0017]下面结合附图和实施例对本申请的技术方案进一步说明。
[0018]图1是本申请实施例的晶圆跳片检测机构的结构示意图；(图中两个对射传感器的之间的连线为光线)
[0019]图2是本申请实施例的晶圆跳片检测机构的单侧的结构示意图；
[0020]图3是本申请实施例的支撑架的结构示意图；
[0021]图中的附图标记为：
[0022]1 支撑杆；
[0023]2 固定座；
[0024]4 对射传感器；
[0025]8 晶圆承载装置；
[0026]9 晶圆；
[0027]21 第二固定板；
[0028]22 第一固定板；
[0029]23 传感器固定板；
[0030]231 过孔。
具体实施方式
[0031]需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0032]在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请保护范围的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术创造的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0033]在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
[0034]下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请的技术方案。
[0035]实施例
[0036]本实施例提供一种晶圆跳片检测机构，如图1和3所示，包括：
[0037]支撑杆1，为4个，设置于晶圆片的四角；
[0038]固定座2，为4个并分别设置在支撑杆1上，包括用于直接与支撑杆1连接的第一固定板22，与第一固定板22垂直的第二固定板21，设置在第二固定板21上的传感器固定板23，
所述传感器固定板23上设置有过孔231；
[0039]两组对射传感器4(均为光电传感器)，分别设置在传感器固定板23上，对射传感器4中的发射端发出的光线能够穿过过孔231达到接收端。
[0040]本实施例的晶圆跳片检测机构，传感器固定板23上设置的过孔231能够使对射传感器4发射端发出的光线呈与过孔231相同的形状，防止对射传感器4发射端发出的过宽的光线而造成的感应不灵敏的问题。
[0041]进一步地，本实施例的晶圆跳片检测机构，安装有发射端的对射传感器4上的传感器固定板23的过孔231的直径为1
‑
2mm，如1mm、1.5mm、2mm等等。
[0042]进一步地，本实施例的晶圆跳片检测机构，安装有接收端的对射传感器4上的传感器固定板23的过孔231的直径大于安装有发射端的对射传感器4上的传感器固定板23的过孔231。以便于接收端更容易接收到发射端发出的光线。
[0043]进一步地，本实施例的晶圆跳片检测机构，所述第一固定板22上具有水平安装孔，以使固定座2在水平方向上可以调节安装位置。
[0044]进一步地，本实施例的晶圆跳片检测机构，第二固定板21上具有竖直安装孔，以使对射传感器4在竖直方向上可以调节安装位置。
[0045]进一步地，本实施例的晶圆跳片检测机构，所述支撑杆1具有水平板，且水平板上设置有长条孔。
[0046]进一步地，本实施例的晶圆跳片检测机构，所述传感器固定板23上沿竖直方向设置有若干直径不等的过孔231，以便于根据实际情况选择合适大小的过孔231。
[0047]如图2所示，晶圆承载装置8上承载有晶圆9(晶圆承载装置8不属于本专利申请所需要保护的内容)，两组对射传感器4分别对应于晶圆上方的两侧，晶圆9位置准确时，对射传感器4的光线沿着晶圆9的边缘通过本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆跳片检测机构，其特征在于，包括：支撑杆(1)，为4个，设置于晶圆片的四角；固定座(2)，为4个并分别设置在支撑杆(1)上，包括用于直接与支撑杆(1)连接的第一固定板(22)，与第一固定板(22)垂直的第二固定板(21)，设置在第二固定板(21)上的传感器固定板(23)，所述传感器固定板(23)上设置有过孔(231)；两组对射传感器(4)，分别设置在传感器固定板(23)上，对射传感器(4)中的发射端发出的光线能够穿过过孔(231)达到另一侧的接收端。2.根据权利要求1所述的晶圆跳片检测机构，其特征在于，安装有发射端的对射传感器(4)上的传感器固定板(23)的过孔(231)的直径为1
‑
2mm。3.根据权利要求1所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：钱诚，童建，周志勇，
申请(专利权)人：江苏亚电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：