【技术实现步骤摘要】
智能填涂的调整补正装置
[0001]本技术关于一种智能填涂的调整补正装置及方法,尤其为一种利用闭回路装置,并依据前次流体材料状态,而调整本次流体填涂量的调整补正装置及其方法。
技术介绍
[0002]近年来的封装芯片的技术中,为了适用于各种电子产品,芯片所接合的基板通常为非陶瓷材料,因此芯片与基板之间的热膨胀系数(Coefficient of Thermal Expansion,CTE)不同,在封装的过程中容易因热变应力而导致半导体产品的缺陷。
[0003]为了消除上述的热变应力,现有技术是在芯片与基板之间填充封胶体(underfill),以降低半导体产品的缺陷;为了将封胶体填充至芯片与基板之间,现有技术中包含压模法(molding)及填涂法(dispensing);在压模法中,当基板的厚度极小(例如为薄膜基板)时,压模的灌胶压力容易导致基板的位移,因此压模法不适用在基板的厚度极小的芯片封装。
[0004]在填涂法中,是在芯片的周边以L型、U型或I型涂布封胶体,封胶体因毛细作用而“渗入”芯片与基板之间的间隙,毛 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种智能填涂的调整补正装置,其特征在于,包含:一流体填涂单元,将一流体材料填涂至一目标区域,进行一第N次填涂,N为一常数;一光学量测单元,动态地侦测在所述目标区域的所述流体材料的状态,并产生一第N三维流体信号;一演算单元,电性连接于所述流体填涂单元及所述光学量测单元,接收所述第N三维流体信号,并得出所述流体材料的状态,所述演算单元将所述流体材料的状态与一流体状态预设数值比对,若所述流体材料的状态不符所述流体状态预设数值,则所述演算单元传送一第N流体量变更信号给所述流体填涂单元,以使所述流体填涂单元依据所述第N流体量变更信号来调整填涂流体量。2.根据权利要求1所述的智能填涂的调整补正装置,其特征在于,所述目标区域是一芯片与一基板之间的一空隙的一流体填涂端。3.根据权利要求2所述的智能填涂的调整补正装置,其特征在于,所述流体材料的状态包含一流体的体积、一流体的重量、一流体在所述空隙内的高度、一流体在所述空隙内的宽度、...
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