下电极接地结构及真空镀膜设备制造技术

本实用新型专利技术公开一种下电极接地结构及真空镀膜设备，该下电极接地结构包括腔室连接件、滑动连接件和导电连接件，腔室连接件安装在镀膜腔室的竖直方向的内侧壁上，腔室连接件的长度沿竖直方向延伸，滑动连接件沿竖直方向可滑动地设在腔室连接件上，导电连接件的一端连接在滑动连接件上，另一端连接在下电极的侧壁上。该下电极接地结构能够使得下电极上下运动的过程中仍然能够保持接地状态，且不易损坏，使用寿命较长。使用寿命较长。使用寿命较长。

【技术实现步骤摘要】
下电极接地结构及真空镀膜设备


[0001]本技术涉及显示装置制造设备
，尤其涉及一种下电极接地结构及真空镀膜设备。

技术介绍

[0002]在真空镀膜设备中，为了调整上电极组件和下电极组件之间的间距，下电极组件一般设置为在镀膜腔室内可上下运动的结构，根据真空镀膜设备的工作原理，下电极组件需要保持接地状态。如图1所示，现有技术中的下电极接地结构包括导线压块1
’
、导线2
’
、连接螺栓3
’
和螺栓挡板4
’
，导线压块1
’
通过连接螺栓3
’
固定在下电极5
’
的底壁上，导线2
’
的一端夹持在导线压块1
’
和下电极5
’
的底壁之间，另一端固定在镀膜腔室6
’
的底壁上，螺栓挡板4
’
通过连接螺栓3
’
固定在下电极5
’
的上表面上。现有技术的缺陷在于：由于在工作过程中，下电极5
’
会沿竖直方向运动，在多次运动中导线2
’
容易出现疲劳损坏的现象，使得下电极5
’
不再接地，从而使得整个真空镀膜设备无法正常工作。

技术实现思路

[0003]本技术的第一个目的在于：提供一种下电极接地结构，其能在下电极上下运动的过程中始终保持良好的接地状态，且不易损坏使用寿命较长。
[0004]为达上述目的，本技术采用以下技术方案：
[0005]提供一种下电极接地结构，包括：腔室连接件，所述腔室连接件安装在镀膜腔室的竖直方向的内侧壁上，所述腔室连接件的长度沿竖直方向延伸；滑动连接件，所述滑动连接件沿竖直方向可滑动地设在所述腔室连接件上；导电连接件，所述导电连接件的一端连接在所述滑动连接件上，另一端连接在下电极的侧壁上。
[0006]作为下电极接地结构的一种优选方案，所述导电连接件为弹性件。
[0007]作为下电极接地结构的一种优选方案，所述腔室连接件上设有沿竖直方向延伸设置的导向滑轨，所述滑动连接件上设有配合在所述导向滑轨上的导向滑块。
[0008]作为下电极接地结构的一种优选方案，所述导向滑轨包括：固定部，所述固定部固定在所述腔室连接件上；配合部，所述配合部为两个，两个所述配合部的一端均连接在所述固定部上，两个所述配合部上均设有滑槽，所述导向滑块上设有配合在所述滑槽内的滑动部。
[0009]作为下电极接地结构的一种优选方案，所述配合部包括第一水平部、竖直部和第二水平部，所述第一水平部的一端与所述固定部相连，另一端与所述竖直部相连，所述第二水平部的一端与所述竖直部相连，另一端与所述固定部的侧壁间隔设置，所述第一水平部和所述第二水平部限定出所述滑槽。
[0010]作为下电极接地结构的一种优选方案，所述导向滑块还包括安装部，所述安装部用于与所述滑动连接件相连，所述滑动部为两个，每个所述滑动部均包括连接部和滑动钩，所述连接部的一端与所述安装部相连，所述滑动钩连接在所述连接部远离所述安装部的一
端且配合在所述滑槽内。
[0011]作为下电极接地结构的一种优选方案，所述安装部通过第一导电件连接在所述滑动连接件上。
[0012]作为下电极接地结构的一种优选方案，所述固定部通过第二导电件连接在所述腔室连接件上。
[0013]作为下电极接地结构的一种优选方案，所述腔室连接件通过多个沿其长度方向间隔设置的固定件连接在所述镀膜腔室的内侧壁上。
[0014]本技术的下电极接地结构的有益效果：由于滑动连接件沿竖直方向可滑动地设在腔室连接件上，在下电极沿竖直方向上下运动的过程中，滑动连接件也能够随之沿竖直方向上下运动，而由于导电连接件的存在，下电极就能够稳定地与镀膜腔室的内侧壁保持导通状态，从而确保了下电极能够稳定地接地。由于导电连接件是连接在滑动连接件和下电极的侧壁之间的，当下电极上下运动过程中，导电连接件受到的拉力相对较小，即便长时间使用后导电连接件出现疲劳断裂的几率也相对较小，从而降低了导电连接件断裂的几率，延长了导电连接件的使用寿命。
[0015]本技术的第二个目的在于：提出一种真空镀膜设备，该真空镀膜设备的可靠性较高，故障率较低。
[0016]为达上述目的，本技术采用以下技术方案：
[0017]提供一种真空镀膜设备，包括壳体、下电极以及前文所述的下电极接地结构。
[0018]本技术的真空镀膜设备的有益效果：由于具有前文所述的下电极接地结构，由于导电连接件连接在下电极的侧壁上，在下电极上下运动过程中，导电连接件受到的外力相对较小，较好地避免了导电连接件出现损坏的现象，确保了下电极在真空镀膜设备工作过程中始终保持接地状态，从而提升了真空镀膜设备的工作可靠性，降低了真空镀膜设备的故障率。
附图说明
[0019]下面根据附图和实施例对本技术作进一步详细说明。
[0020]图1是现有技术的下电极接地结构的结构示意图；
[0021]图2是本技术实施例的下电极接地结构的结构简图；
[0022]图3是本技术实施例的下电极接地结构的局部结构示意图。
[0023]附图标记：
[0024]图1中：
[0025]1’
、导线压块；2
’
、导线；3
’
连接螺栓；4
’
；螺栓挡板；5
’
、下电极；6
’
、镀膜腔室。
[0026]图2
‑
图3中：
[0027]1、腔室连接件；2、滑动连接件；3、导电连接件；4、导向滑轨；401、滑槽；41、固定部；42、配合部；421、第一水平部；422、竖直部；423、第二水平部；5、导向滑块；51、安装部；52、滑动部；521、连接部；522、滑动钩；6、固定件；7、壳体；71、镀膜腔室；8、下电极；9、第一导电件；10、第二导电件。
具体实施方式
[0028]参考下面结合附图详细描述的实施例，本技术的优点和特征以及实现它们的方法将变得显而易见。然而，本技术不限于以下公开的实施例，而是可以以各种不同的形式来实现，提供本实施例仅仅是为了完成本技术的公开并且使本领域技术人员充分地了解本技术的范围，并且本技术仅由权利要求的范围限定。相同的附图标记在整个说明书中表示相同的构成要素。
[0029]以下，参照附图来详细描述本技术。
[0030]本技术公开了一种下电极接地结构，具体来说，如图2所示，该下电极接地结构包括腔室连接件1、滑动连接件2和导电连接件3，腔室连接件1安装在镀膜腔室71的竖直方向的内侧壁上，腔室连接件1的长度沿竖直方向延伸设置，滑动连接件2沿竖直方向可滑动地设在腔室连接件1上，导电连接件3的一端连接在滑动连接件2上，另一端连接在下电极8的侧壁上。<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种下电极接地结构，其特征在于，包括：腔室连接件，所述腔室连接件安装在镀膜腔室的竖直方向的内侧壁上，所述腔室连接件的长度沿竖直方向延伸；滑动连接件，所述滑动连接件沿竖直方向可滑动地设在所述腔室连接件上；导电连接件，所述导电连接件的一端连接在所述滑动连接件上，另一端连接在下电极的侧壁上。2.根据权利要求1所述的下电极接地结构，其特征在于，所述导电连接件为弹性件。3.根据权利要求1所述的下电极接地结构，其特征在于，所述腔室连接件上设有沿竖直方向延伸设置的导向滑轨，所述滑动连接件上设有配合在所述导向滑轨上的导向滑块。4.根据权利要求3所述的下电极接地结构，其特征在于，所述导向滑轨包括：固定部，所述固定部固定在所述腔室连接件上；配合部，所述配合部为两个，两个所述配合部的一端均连接在所述固定部上，两个所述配合部上均设有滑槽，所述导向滑块上设有配合在所述滑槽内的滑动部。5.根据权利要求4所述的下电极接地结构，其特征在于，所述配合部包括第一水平部、竖直部和第二水平部，所述第一水平部的一端与所述固定部相...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨贤烁，
申请(专利权)人：乐金显示光电科技中国有限公司，
类型：新型
国别省市：