一种Bar条起始端定位机构及Bar条定位方法技术

本发明专利技术提供了一种Bar条起始端定位机构及Bar条定位方法，属于芯片检测设备技术领域，其中，Bar条起始端定位机构包括：移动机构；推板，移动机构适于驱动推板在载片台所处的平面上方沿第一方向和/或第二方向上进行移动，第一方向和第二方向相互垂直；推板具有推动部及位于推动部两侧的拨动部。本发明专利技术提供的Bar条起始端定位机构，Bar条放置在载片台上时，推板进行前后左右移动时，第一方向上推动部推动Bar条移动至吸附孔位置处，第二方向上拨动部左右移动调整Bar条在吸附孔上的位置，最后推动部在推动一次，校正Bar条的角度及位置，完成Bar条的定位操作，此种方式定位精准，无需通过移动载片台对Bar条进行位置调整。动载片台对Bar条进行位置调整。动载片台对Bar条进行位置调整。

【技术实现步骤摘要】
一种Bar条起始端定位机构及Bar条定位方法


[0001]本专利技术涉及芯片检测设备
，具体涉及一种Bar条起始端定位机构及Bar条定位方法。

技术介绍

[0002]芯片生产过程中，裂片机通过解理技术将晶圆裂片为一根根Bar条，Bar条是由多个芯片并排形成的单条，裂片机还需要将Bar条进行裂片，形成一个个的芯片，而在对Bar条进行裂片之前，需要对Bar条进行初步检测，查看各个芯片的初步情况。
[0003]在对Bar条进行检测时，需要将Bar条放置在载片台上，现有技术中推板为平直的板，仅可以将Bar条移动至载片台上的吸附孔上，Bar条的两端分别为起始端和末端，若是对Bar条起始端位置有进一步的要求，则只能通过移动载片台改变Bar条的位置，而Bar条在载片台上的位置不便于确定，故在移动载片台时不便于确定其移动距离。

技术实现思路

[0004]因此，本专利技术要解决的技术问题在于克服现有技术中推板仅能将Bar条移动至载片台上吸附孔位置处，不能调节Bar条在载片台上位置的缺陷，从而提供一种Bar条起始端定位机构及Bar条定位方法。
[0005]为解决上述技术问题，本专利技术提供了一种Bar条起始端定位机构，包括：
[0006]移动机构；
[0007]推板，安装在所述移动机构上，所述推板与载片台对应设置，所述移动机构适于驱动所述推板在载片台所处的平面上方沿第一方向和/或第二方向上进行移动，所述第一方向和第二方向相互垂直；
[0008]所述推板适于与Bar条接触的端部具有推动部及位于推动部两侧的拨动部，所述推动部及两侧的拨动部形成“凵”形凹槽，所述推动部适于推动Bar条沿第一方向进行移动，所述拨动部适于推动Bar条沿第二方向进行移动；
[0009]Bar条两端分别为起始端和末端，起始端和末端分别适于与两个所述拨动部接触，以使Bar条在拨动部的作用下沿第二方向进行移动。
[0010]可选的，所述拨动部伸出的长度大于或等于Bar条的宽度。
[0011]可选的，所述推板上在两个拨动部之间的位置开设有斜面，所述斜面朝向推板的端部倾斜，且所述斜面在推板的端部形成所述推动部。
[0012]可选的，所述载片台上开设有若干吸附孔，若干吸附孔呈一字排列，且所述吸附孔的排布方向与所述推板的第一方向互相垂直。
[0013]可选的，所述载片台上靠近吸附孔的侧边设有倒角。
[0014]可选的，还包括工作台，所述工作台上安装有载片台，所述移动机构包括有第一移动机构和第二移动机构，所述第一移动机构滑动安装在所述第二移动机构上，所述第二移动机构固定安装在所述工作台上；
[0015]所述推板安装在所述第一移动机构上。
[0016]还提供了Bar条定位方法，采用上述的Bar条起始端定位机构，包括以下步骤：
[0017]将Bar条放置在载片台上，推板推动Bar条在载片台上沿第一方向和/或第二方向上进行移动，移动过程中调整Bar条在载片台上的位置至指定位置；其中，第一方向和第二方向相互垂直。
[0018]可选的，推板在推动Bar条沿第一方向移动时，Bar条移动至吸附孔位置处；
[0019]Bar条沿第二方向移动时，通过拨动部波动Bar条的起始端和末端，调整Bar条在吸附孔上的位置。
[0020]可选的，还包括在对Bar条进行第二方向的位置调整后再次控制推板推动Bar条沿第一方向移动的步骤。
[0021]可选的，所述吸附孔在Bar条定位过程中提供的吸附力小于Bar条检测过程中的吸附力。
[0022]本专利技术技术方案，具有如下优点：
[0023]1.本专利技术提供的Bar条起始端定位机构，推板安装在移动机构上，移动机构可以控制推板进行第一方向和/或第二方向上的移动，当Bar条放置在载片台上时，通过控制移动机构带动推板进行第一方向和第二方向上前后左右的移动，在推板进行前后左右移动时，第一方向上推动部推动Bar条移动至吸附孔位置处，第二方向上拨动部左右移动调整Bar条在吸附孔上的位置，最后推动部在推动一次，校正Bar条的角度及位置，完成Bar条的定位操作，此种方式定位精准，无需通过移动载片台对Bar条进行位置调整。
[0024]2.本专利技术提供的Bar条起始端定位机构，拨动部伸出的长度大于或等于Bar条的宽度，能够使Bar条完全贴合在凹槽内，减小Bar条在平移过程中发生的角度偏转。
[0025]3.本专利技术提供的Bar条起始端定位机构，载片台上开设有若干吸附孔，吸附孔呈一字排布，吸附孔的排布方向与推板的第一方向互相垂直，可以使Bar条贴合在吸附孔上，
[0026]4.本专利技术提供的Bar条起始端定位机构，在工作台上设置第一移动机构和第二移动机构，第一移动机构滑动安装在第二移动机构上，第二移动机构固定安装在工作台上，推板安装在第一移动机构上，通过第一移动机构和第二移动机构的移动，实现推板的前后左右方向的移动。
[0027]5.本专利技术提供的Bar条定位方法，将Bar条放置在载片台上，推板推动Bar条至吸附位置处，并对Bar条位置进行调整，以使Bar条精准定位至指定位置，对Bar条的初始位置进行调整，保证芯片进行检测时的位置精准性，满足Bar条在检测过程中所需的更多场景。
[0028]6.本专利技术提供的Bar条定位方法，对Bar条进行第二方向的位置调整后，再次控制推板推动Bar条沿第一方向移动，以校正Bar条因左右移动产生的角度偏差。
[0029]7.本专利技术提供的Bar条定位方法，吸附孔在Bar条定位过程中提供的吸附力小于Bar条检测过程中的吸附力，使得Bar条移动至吸附孔位置处后仍可以进行移动调节，在检测过程中则不会发生偏转。
附图说明
[0030]为了更清楚地说明本专利技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的
附图是本专利技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0031]图1为本专利技术实施例1提供的Bar条起始端定位机构的结构示意图；
[0032]图2为本专利技术实施例1提供的推板的结构示意图；
[0033]图3为本专利技术实施例1提供的推板的俯视图；
[0034]图4为本专利技术实施例1提供的Bar条放置在载片台上的结构示意图；
[0035]图5为本专利技术实施例1提供的Bar条被推至吸附孔位置处的结构示意图；
[0036]图6为本专利技术实施例1提供的Bar条第一次调整位置的结构示意图；
[0037]图7为本专利技术实施例1提供的Bar条第二次调整位置的结构示意图；
[0038]图8为本专利技术实施例2提供的Bar条移动至吸附孔位置处的结构示意图；
[0039]图9为本专利技术实施例2提供的Bar条第一次调整位置的结构示意图；
[0040]图10为本专利技术实施例2提供的Bar条第二调整本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种Bar条起始端定位机构，其特征在于，包括：移动机构(4)；推板(1)，安装在所述移动机构(4)上，所述推板(1)与载片台(2)对应设置，所述移动机构(4)适于驱动所述推板(1)在载片台(2)所处的平面上方沿第一方向和/或第二方向上进行移动，所述第一方向和第二方向相互垂直；所述推板(1)适于与Bar条(3)接触的端部具有推动部(11)及位于推动部(11)两侧的拨动部(12)，所述推动部(11)及两侧的拨动部(12)形成“凵”形凹槽，所述推动部(11)适于推动Bar条(3)沿第一方向进行移动，所述拨动部(12)适于推动Bar条(3)沿第二方向进行移动；Bar条(3)两端分别为起始端和末端，起始端和末端分别适于与两个所述拨动部(12)接触，以使Bar条(3)在拨动部(12)的作用下沿第二方向进行移动。2.根据权利要求1所述的Bar条起始端定位机构，其特征在于，所述拨动部(12)伸出的长度大于或等于Bar条(3)的宽度。3.根据权利要求1所述的Bar条起始端定位机构，其特征在于，所述推板(1)上在两个拨动部(12)之间的位置开设有斜面，所述斜面朝向推板(1)的端部倾斜，且所述斜面在推板(1)的端部形成所述推动部(11)。4.根据权利要求1所述的Bar条起始端定位机构，其特征在于，所述载片台(2)上开设有若干吸附孔(6)，若干吸附孔(6)呈一字排列，且所述吸附孔(6)的排布方向与所述推板(1)的第一方向互相垂直。5.根据权利要求4所述的Bar条起始端定位机...

【专利技术属性】
技术研发人员：伊力夏提，
申请(专利权)人：河北圣昊光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：