一种保湿型晶圆拋光盘转运移载车架制造技术

本实用新型专利技术公开了一种保湿型晶圆拋光盘转运移载车架，包括放置层，放置层上设有水箱组件、吸水件及安装件，水箱组件定位于放置层，水箱组件与吸水件连接，吸水件铺设于放置层表面，安装件盖合于吸水件表面，安装件靠近吸水件一侧的表面上设有至少一个定位部，每一定位部定位晶圆拋光盘，当安装件定位于放置层时，晶圆拋光盘压合于吸水件表面。通过将晶圆抛光盘一侧贴附压合吸水件，使得晶圆抛光盘在转移过程中可以立即进行润湿处理，不需要额外设置润湿处理的针对性设备，降低生产设备的成本。同时，通过在转运车架上设置吸水件给晶圆抛光盘润湿，使得晶圆抛光盘的转运和润湿两个工序结合在一起同步进行，提高了晶圆生产的效率。提高了晶圆生产的效率。提高了晶圆生产的效率。

【技术实现步骤摘要】
一种保湿型晶圆拋光盘转运移载车架


[0001]本技术属于晶圆转移设备领域，特别涉及一种保湿型晶圆拋光盘转运移载车架。

技术介绍

[0002]晶圆抛光盘是晶圆切片后获得的盘状结构，一般经历切片、粗磨、喷淋润湿、精磨的过程，由于晶圆生产为大批量的大型车间作业，所以切片和研磨工序均在不同的车间完成，故切片完成后需要将晶圆抛光盘转移到研磨车间。
[0003]喷淋润湿工序是为了在精磨之前对晶圆抛光盘需要研磨的表面进行润湿，这是进行研磨前的工艺要求，现有的喷淋润湿工艺一般有：浸泡、表面喷淋等方式，例如，浸泡则为将整个晶圆抛光盘浸入到泡水池中，整体进行润湿；表面喷淋为将晶圆抛光盘移动到喷淋区域，对待研磨表面喷洒清水或研磨液。
[0004]以上两种方式需要额外设置润湿工位，浸泡需要设置泡水池、喷淋需要设置喷淋机构，增加了晶圆生产设备的成本，同时在晶圆抛光盘润湿的转移过程也会导致晶圆生产效率较低。

技术实现思路

[0005]本技术提供了一种保湿型晶圆拋光盘转运移载车架，旨在解决现有的晶圆润湿工艺带来的设备成本较高和生产效率较低的问题。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种保湿型晶圆拋光盘转运移载车架，其特征在于：包括放置层，所述放置层上设有水箱组件、吸水件及安装件，所述水箱组件定位于所述放置层，所述水箱组件与所述吸水件连接；所述吸水件铺设于所述放置层表面，所述安装件定位于所述放置层，且所述安装件盖合于所述吸水件表面；所述安装件靠近所述吸水件一侧的表面上设有至少一个定位部，每一所述定位部定位晶圆拋光盘，当所述安装件定位于所述放置层时，晶圆拋光盘压合于吸水件表面。2.根据权利要求1所述保湿型晶圆拋光盘转运移载车架，其特征在于：所述水箱组件包括水箱及输水管，所述水箱与所述吸水件相邻设置，所述输水管与所述水箱连通，所述输水管嵌入所述吸水件内部，所述输水管向所述吸水件内部输出液体。3.根据权利要求2所述保湿型晶圆拋光盘转运移载车架，其特征在于：所述输水管表面设有多个输水孔。4.根据权利要求3所述保湿型晶圆拋光盘转运移载车架，其特征在于：所述输水管呈环形设置。5.根据权利要求1所述保湿型...

【专利技术属性】
技术研发人员：王飞，董晓龙，巫枝盛，
申请(专利权)人：深圳市瓦力自动化有限公司，
类型：新型
国别省市：