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本实用新型公开了一种保湿型晶圆拋光盘转运移载车架，包括放置层，放置层上设有水箱组件、吸水件及安装件，水箱组件定位于放置层，水箱组件与吸水件连接，吸水件铺设于放置层表面，安装件盖合于吸水件表面，安装件靠近吸水件一侧的表面上设有至少一个定位部，...
该专利属于深圳市瓦力自动化有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市瓦力自动化有限公司授权不得商用。

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