一种蚀刻机上的喷嘴安装结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种蚀刻机上的喷嘴安装结构，其包括上喷嘴安装框架，所述上喷嘴安装框架上设置有多根上喷嘴安装管，所述多根上喷嘴安装管相互平行排列，相邻的两根所述上喷嘴安装管之间的间距相同，每根所述上喷嘴安装管上均安装有多个单体喷嘴和多个多体喷嘴，所述多体喷嘴由至少两个单体喷嘴串联而成，每根所述上喷嘴安装管上的单体喷嘴和多体喷嘴相互间隔设置。本实用新型专利技术的蚀刻机上的喷嘴安装结构能够使蚀刻液对板面充分的打击，减少基本的侧蚀问题，减少线路精度偏低的缺陷。减少线路精度偏低的缺陷。减少线路精度偏低的缺陷。

【技术实现步骤摘要】
一种蚀刻机上的喷嘴安装结构


[0001]本技术涉及一种蚀刻机上的喷嘴安装结构。

技术介绍

[0002]半导体装置或显示装置通过使用半导体晶片或平板显示器，经过蒸镀、蚀刻、光刻、离子注入等多种制造工艺进行制造，其中蚀刻往往用到蚀刻机在基片上进行喷淋化学溶液，通过喷嘴在电路板基片上蚀刻出线路，不同的电路板对导线蚀刻的精度要求不同，如果在蚀刻机的喷嘴安装机构上只设置一种喷嘴，喷嘴到基片的距离固定，那么在蚀刻时线路的侧蚀量固定，那么如果要蚀刻不同精度要求的导线线路，这种单一喷嘴安装结构很难达到要求。

技术实现思路

[0003]本技术主要解决的技术问题是提供一种蚀刻机上的喷嘴安装结构，该喷嘴安装结构能够在同一个喷嘴安装结构上实现对电路板上进行不同导线线路蚀刻的需要，使蚀刻液对板面充分的打击，减少基本的侧蚀问题，克服线路精度偏低的缺陷。
[0004]为解决上述技术问题，本技术采用的技术方案是：提供一种蚀刻机上的喷嘴安装结构，包括上喷嘴安装框架，所述上喷嘴安装框架上设置有多根上喷嘴安装管，所述多根上喷嘴安装管相互平行排列，相邻的两根所述上喷嘴安装管之间的间距相同，每根所述上喷嘴安装管上均安装有多个单体喷嘴和多个多体喷嘴，所述多体喷嘴由至少两个单体喷嘴串联而成，每根所述上喷嘴安装管上的单体喷嘴和多体喷嘴相互间隔设置。
[0005]在本技术一个较佳实施例中，相邻的所述单体喷嘴和多体喷嘴之间的间隔距离相同。
[0006]在本技术一个较佳实施例中，所述上喷嘴安装管上设置有喷嘴固定套，所述单体喷嘴和多体喷嘴均安装固定在所述喷嘴固定套上。
[0007]在本技术一个较佳实施例中，所述上喷嘴安装框架的下方设置有下喷嘴安装框架，所述下喷嘴安装框架上设置有多根下喷嘴安装管，所述多根下喷嘴安装管相互平行排列，相邻的两根所述下喷嘴安装管之间的间距相同，每根所述下喷嘴安装管上均安装有多个单体喷嘴，所述下喷嘴安装管上的多个单体喷嘴分别与所述上喷嘴安装管上的单体喷嘴或多体喷嘴位置相对。
[0008]在本技术一个较佳实施例中，所述上喷嘴安装框架的两端分别设置有滚轮，所述下喷嘴安装框架的两端分别设置有滚轮。
[0009]在本技术一个较佳实施例中，所述上喷嘴安装管和下喷嘴安装管均为波浪形弯管。
[0010]本技术的有益效果是：本技术的蚀刻机上的喷嘴安装结构通过在喷嘴安装管上安装有多个单体喷嘴和多个多体喷嘴，多体喷嘴由至少两个喷嘴串联而成，每根喷嘴安装管上的单体喷嘴和多体喷嘴相互间隔设置，当蚀刻不同的电路板线路时，选择使用
单体喷嘴或多体喷嘴，多体喷嘴由于采用至少两个喷嘴串联而成则其到电路板基片的距离与单体喷嘴到电路板基片的距离不同，对线路的侧蚀量也不同，这样能够在同一个喷嘴安装结构上实现对电路板基片上进行不同导线线路蚀刻的需要，克服线路精度偏低的缺陷，可以减少喷嘴安装结构储备，降低生产成本。
附图说明
[0011]为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图，其中：
[0012]图1是本技术的蚀刻机上的喷嘴安装结构的结构示意图；
[0013]图2是本技术的蚀刻机上的喷嘴安装结构的结构示意图俯视图；
[0014]图3是本技术的蚀刻机上的喷嘴安装结构中单体喷嘴的结构示意图；
[0015]图4是本技术的蚀刻机上的喷嘴安装结构中多体喷嘴的结构示意图。
[0016]附图标号说明：1、上喷嘴安装框架，2、喷嘴固定套，3、单体喷嘴，4、多体喷嘴，5、上喷嘴安装管，6、滚轮，7、下喷嘴安装框架，8、下喷嘴安装管，9、转接头，10、喷嘴芯，11、出水孔，12、上压辊，13、基片，14、下压辊。
具体实施方式
[0017]下面将对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0018]请参阅图1至图4，本技术实施例包括：一种蚀刻机上的喷嘴安装结构，其包括上喷嘴安装框架1，所述上喷嘴安装框架1上设置有多根上喷嘴安装管5，所述多根上喷嘴安装管5相互平行排列，相邻的两根所述上喷嘴安装管5之间的间距相同，每根所述上喷嘴安装管5上均安装有多个单体喷嘴3和多个多体喷嘴4，所述多体喷嘴4由至少两个单体喷嘴3串联而成，每根所述上喷嘴安装管5上的单体喷嘴3和多体喷嘴4相互间隔设置，单体喷嘴3上设置有喷嘴芯10，多体喷嘴4中下面的一个单体喷嘴3上设置有喷嘴芯10，喷嘴芯10上设置有出水孔11，多体喷嘴4中不同的单体喷嘴3之间通过转接头9进行连接。
[0019]优选的，相邻的所述单体喷嘴3和多体喷嘴4之间的间隔距离相同。
[0020]优选的，所述上喷嘴安装管1上设置有喷嘴固定套2，所述单体喷嘴3和多体喷嘴4均安装固定在所述喷嘴固定套2上。
[0021]优选的，所述上喷嘴安装框架1的下方设置有下喷嘴安装框架7，所述下喷嘴安装框架7上设置有多根下喷嘴安装管8，所述多根下喷嘴安装管8相互平行排列，相邻的两根所述下喷嘴安装管8之间的间距相同，每根所述下喷嘴安装管8上均安装有多个单体喷嘴3，所述下喷嘴安装管8上的多个单体喷嘴3分别与所述上喷嘴安装管5上的单体喷嘴3或多体喷嘴4位置相对。
[0022]优选的，所述上喷嘴安装框架1的两端分别设置有滚轮6，所述下喷嘴安装框架7的
两端也分别设置有滚轮6，滚轮6方便上喷嘴安装框架1和下喷嘴安装框架7的移动，滚轮6设置在蚀刻机的框架结构(图中未示)上。
[0023]优选的，所述上喷嘴安装管5和下喷嘴安装管8均为波浪形弯管，波浪形弯管可以充分利用空间布置喷嘴。
[0024]本技术的蚀刻机上的喷嘴安装结构在工作时，当需要使用时单体喷嘴3蚀刻时，关闭多体喷嘴4，待蚀刻的电路板基片13放置在上压辊12与下压辊14之间，上压辊12与下压辊14转动时带动基片13移动，上压辊12与下压辊14设置在上喷嘴安装管5与下喷嘴安装管8之间，蚀刻药液从上喷嘴安装管5流进上喷嘴安装管5上的单体喷嘴3并从喷嘴芯10的出水孔11喷出，喷到基片13的上表面上进行蚀刻，同时蚀刻药液从下喷嘴安装管8流进下喷嘴安装管8上的单体喷嘴3并从喷嘴芯10的出水孔11喷出，喷到基片13的下表面上进行蚀刻。当需要使用时多体喷嘴4蚀刻时，关闭单体喷嘴3，蚀刻药液从上喷嘴安装管5流进上喷嘴安装管5上的多体喷嘴4并从喷嘴芯10的出水孔11喷出，喷到基片13的上表面上进行蚀刻，同时蚀刻药液从下喷嘴安装管8流进下喷嘴安装管8上的单体喷嘴3并从喷嘴芯10的出水孔11喷出，喷到基片13的下表面上进行蚀刻本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蚀刻机上的喷嘴安装结构，包括上喷嘴安装框架，所述上喷嘴安装框架上设置有多根上喷嘴安装管，所述多根上喷嘴安装管相互平行排列，其特征在于，相邻的两根所述上喷嘴安装管之间的间距相同，每根所述上喷嘴安装管上均安装有多个单体喷嘴和多个多体喷嘴，所述多体喷嘴由至少两个单体喷嘴串联而成，每根所述上喷嘴安装管上的单体喷嘴和多体喷嘴相互间隔设置。2.根据权利要求1所述的蚀刻机上的喷嘴安装结构，其特征在于，相邻的所述单体喷嘴和多体喷嘴之间的间隔距离相同。3.根据权利要求2所述的蚀刻机上的喷嘴安装结构，其特征在于，所述上喷嘴安装管上设置有喷嘴固定套，所述单体喷嘴和多体喷嘴均安装固定在所述喷嘴固定套上。4.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：代永宣，
申请(专利权)人：昆山市广程机械设备有限公司，
类型：新型
国别省市：