下载一种蚀刻机上的喷嘴安装结构的技术资料

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本实用新型公开了一种蚀刻机上的喷嘴安装结构,其包括上喷嘴安装框架,所述上喷嘴安装框架上设置有多根上喷嘴安装管,所述多根上喷嘴安装管相互平行排列,相邻的两根所述上喷嘴安装管之间的间距相同,每根所述上喷嘴安装管上均安装有多个单体喷嘴和多个多体喷...
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