一种智能全自动的氮化镓场效管封装性能检测装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种智能全自动的氮化镓场效管封装性能检测装置，所述氮化镓场效管封装性能检测装置包括底座、进气装置、测试装置和抽气装置，所述进气装置、测试装置和抽气装置均设置在底座上，本发明专利技术相比于目前的氮化镓场效管封装性能检测装置设置有磁场发生器，通过磁场发生器能够改变检测槽内的磁场强度，以方便工作人员判断工件在不同磁场环境下的工作状态，同时利用磁场发生器对顺磁性气体的作用力能够检测工件的密封性，相对于目前通过压力衰减法来检测工件封装后的密封性，本发明专利技术能够避免向检测槽内充过多的气体，防止检测槽内的压强过大造成温度升高，影响后续测量工件工作时的电流和电压准确性。时的电流和电压准确性。时的电流和电压准确性。

【技术实现步骤摘要】
一种智能全自动的氮化镓场效管封装性能检测装置


[0001]本专利技术涉及封装性能检测
，具体为一种智能全自动的氮化镓场效管封装性能检测装置。

技术介绍

[0002]氮化镓是氮和镓的化合物，号称第三代半导体核心材料，相比于硅，氮化镓拥有更宽的带隙，能够承受更高的电压，拥有更好的导电能力，目前氮化镓场效管已经逐渐应用在了各种电子设备中。
[0003]为了避免外部环境，包括外力、水、杂质或化学物等破坏和腐蚀氮化镓场效管，如今氮化镓场效管在生产时通常会经历封装这一步骤，现有的封装性能检测装置通常都是利用压力衰减法来检测封装的密封性，即通过对产品充气加压，然后根据气压变化判断产品是否泄漏，但随着气体的充入，封装性能检测装置内部的压强会越来越大，根据普适气体定律可知，随着压强的增大，气体温度也会随之升高，由于氮化镓场效管的引脚通常都是金属材质，当封装性能检测装置内部的温度升高后，受到热量的影响氮化镓场效管引脚会发生膨胀变形，进而使得电阻发生变化，若此时需要检测氮化镓场效管工作时的电流和电压，那么最终的检测结果会出现较大的偏差，以至于影响最终的产品判定，同时检测槽内的压强过大时还会导致工件发生变形，造成外观损坏，另外目前的封装性能检测装置无法根据需要模拟工作环境，在工作结束之后，若封装性能检测装置内部的温度较高，而外界温度较低，那么在打开封装性能检测装置，取出氮化镓场效管时，外界的冷空气会与封装性能检测装置内部的热空气结合，最后凝结生成水珠，污染封装性能检测装置的洁净度。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种智能全自动的氮化镓场效管封装性能检测装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为了解决上述技术问题，本专利技术提供如下技术方案：一种智能全自动的氮化镓场效管封装性能检测装置，所述氮化镓场效管封装性能检测装置包括底座、进气装置、测试装置和抽气装置，所述进气装置、测试装置和抽气装置均设置在底座上，所述测试装置的一端与进气装置相连接，所述测试装置的另一端与抽气装置相连接，所述进气装置的内部设置有顺磁性气体和抗磁性气体，所述测试装置包括测试箱、第一检测台和第二检测台，所述第二检测台固定安装在测试箱的内部下端，所述第一检测台通过升降杆活动安装在测试箱的内部上端，所述第一检测台与第二检测台相互靠近的一端设置有检测槽，所述工件放置在检测槽内，所述第一检测台的内部中间位置处设置有磁场发生器，所述第一检测台靠近第二检测台的一端设置有密封机构，所述第二检测台的内部设置有防护机构、模拟机构和固定机构，所述防护机构设置在第二检测台的内部靠近密封机构的一端，所述模拟机构设置在第二检测台的内部中间位置处，所述固定机构设置在工件引脚的下方，所述固定机构与外界电源相连接。
[0006]底座为本专利技术的安装基础，通过进气装置向测试装置内输送气体，以检测封装后工件的密封性，通过抽气装置将测试装置内的气体抽出，以便于后续重复使用，通过测试装置检测工件正常工作时的电流和电压的变化、工件处于强磁场时电流和电压的变化、工件处于高温时电流和电压的变化以及工件最终的使用寿命，其中工件处于强磁场环境和高温环境时检测电流和电压的变化为有损检测，本专利技术设置有磁场发生器，通过磁场发生器一方面能够改变检测槽内的磁场强度，以方便工作人员判断工件在不同磁场环境下的工作状态，另一面通过磁场发生器能够在不过分增大检测槽内部压强的情况下检测工件的密封性，具体操作如下，将工件放置到检测槽内且使第一检测台与第二检测台相互合拢，通过进气装置能够将顺磁性气体输送到检测槽内，当检测槽内的压强略大于工件内部的压强时，若工件的密封性出现问题，检测槽内的顺磁性气体会扩散到工件的内部，通过磁场发生器对顺磁性气体的作用力能够使得工件有向磁场发生器移动的趋势，此时工件对固定机构的压力会有明显减小，若工件的密封性没有出现问题，则工件对固定机构的压力不会发生变化，通过检测工件对固定机构的压力即可判断工件的封装密封性是否合格，相对于目前通过压力衰减法来检测工件封装后的密封性，本专利技术借助磁场发生器对顺磁性气体的作用力来检测工件的密封性，能够避免检测槽内的压强过大，导致检测槽内的气体温度升高，由于工件的引脚通常是金属材质，若检测槽内的气体温度升高，那么受到热量的影响工件的引脚会发生膨胀变形，进而使得电阻发生变化，以至于影响后续测量工件工作时的电流和电压，同时检测槽内的压强过大时还会导致工件发生变形，以至于造成外观损坏，本专利技术还设置有密封机构、模拟机构和固定机构，通过密封机构能够避免检测槽内的气体外泄，通过模拟机构能够模拟出工件处于高温环境时的工作状态，通过固定机构防止进气装置在向检测槽内释放气体时工件由于气流的影响而出现晃动或移动现象，同时通过固定机构还能起到减缓冲击力的作用，避免工件在放置到检测槽的过程中由于冲量过大而与第二检测台发生碰撞，以至于发生损坏，最后本专利技术设置有防护机构，通过防护机构能够在工作结束后，阻止外界的冷空气和检测槽内的热空气相接触，进而避免检测槽内出现水珠等现象。
[0007]进一步的，所述固定机构包括导电块、升降槽和升降架，所述导电块设置在升降槽的内部远离第一检测台的一端，所述升降架设置在升降槽的内部靠近第一检测台的一端，所述升降架靠近第一检测台的一端为导电材质且与外界电源相连接，所述导电块共设置有两组，其中一组所述导电块固定安装在升降槽的内部远离第一检测台的一端，另外一组所述导电块通过连接杆与升降架相连接，两组所述导电块之间填充有气态导电介质且通过弹簧相连接，所述磁场发生器通过两组所述导电块与外界电源相连接。
[0008]通过上述技术方案，工件在放置到检测槽内时，工件的引脚会与升降架相接触，在工件自身重量的作用下，升降架会向下移动，并使得两组导电块之间的距离缩短，由于磁场发生器通过两组导电块与外界电源相连接，因此磁场发生器接受到的电流会发生变化，根据接受到的电流变化能够判断出工件的重量，进而判断出工件的型号，本专利技术设置的磁场发生器会根据工件的型号自动调整释放相应的磁场，以检测工件在不同强度磁场环境中的工作状况。
[0009]进一步的，所述固定机构还包括第二齿条，所述第二齿条固定安装在升降槽的内部远离工件的一端，所述第二齿条贯穿于升降架，所述升降架的内部靠近第二齿条的一端设置有齿轮转盘，所述第二齿条与齿轮转盘啮合连接，所述升降架的内部中间位置处设置
有转换室，所述升降架的内部靠近工件引脚的一端设置有负压槽，所述转换室与负压槽之间通过第一单向阀相连接，所述转换室的内部设置有活塞和气阀，所述活塞通过连杆与齿轮转盘相连接。
[0010]通过上述技术方案，升降架在向下移动时，在第二齿条的作用下，齿轮转盘会发生转动，由于活塞通过连杆与齿轮转盘相连接，因此齿轮转盘转动时，活塞会在转换室内移动，进而使得负压槽内的气体抽入进转换室内，此时负压槽为负压状态，通过负压槽能够吸附工件的引脚，从而起到固定工件的作用，防止进气装置在向检测槽内释放气体时工件由于气流的影响而出现晃动或移动现象。
[0011]进一步的，所述升降架远离第二齿条的一端设置有排气本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种智能全自动的氮化镓场效管封装性能检测装置，其特征在于：所述氮化镓场效管封装性能检测装置包括底座（1）、进气装置（2）、测试装置（3）和抽气装置（4），所述进气装置（2）、测试装置（3）和抽气装置（4）均设置在底座（1）上，所述测试装置（3）的一端与进气装置（2）相连接，所述测试装置（3）的另一端与抽气装置（4）相连接，所述进气装置（2）的内部设置有顺磁性气体和抗磁性气体，所述测试装置（3）包括测试箱（31）、第一检测台（32）和第二检测台（33），所述第二检测台（33）固定安装在测试箱（31）的内部下端，所述第一检测台（32）通过升降杆活动安装在测试箱（31）的内部上端，所述第一检测台（32）与第二检测台（33）相互靠近的一端设置有检测槽，所述工件（5）放置在检测槽内，所述第一检测台（32）的内部中间位置处设置有磁场发生器（321），所述第一检测台（32）靠近第二检测台（33）的一端设置有密封机构（322），所述第二检测台（33）的内部设置有防护机构（331）、模拟机构（332）和固定机构（334），所述防护机构（331）设置在第二检测台（33）的内部靠近密封机构（322）的一端，所述模拟机构（332）设置在第二检测台（33）的内部中间位置处，所述固定机构（334）设置在工件（5）引脚的下方，所述固定机构（334）与外界电源相连接。2.根据权利要求1所述的一种智能全自动的氮化镓场效管封装性能检测装置，其特征在于：所述固定机构（334）包括导电块（3341）、升降槽（3342）和升降架（3344），所述导电块（3341）设置在升降槽（3342）的内部远离第一检测台（32）的一端，所述升降架（3344）设置在升降槽（3342）的内部靠近第一检测台（32）的一端，所述升降架（3344）靠近第一检测台（32）的一端为导电材质且与外界电源相连接，所述导电块（3341）共设置有两组，其中一组所述导电块（3341）固定安装在升降槽（3342）的内部远离第一检测台（32）的一端，另外一组所述导电块（3341）通过连接杆与升降架（3344）相连接，两组所述导电块（3341）之间填充有气态导电介质且通过弹簧相连接，所述磁场发生器（321）通过两组所述导电块（3341）与外界电源相连接。3.根据权利要求2所述的一种智能全自动的氮化镓场效管封装性能检测装置，其特征在于：所述固定机构（334）还包括第二齿条（3343），所述第二齿条（3343）固定安装在升降槽（3342）的内部远离工件（5）的一端，所述第二齿条（3343）贯穿于升降架（3344），所述升降架（3344）的内部靠近第二齿条（3343）的一端设置有齿轮转盘（33441），所述第二齿条（3343）与齿轮转盘（33441）啮合连接，所述升降架（3344）的内部中间位置处设置有转换室（33444），所述升降架（3344）的内部靠近工件（5）引脚的一端设置有负压槽（33445），所述转换室（33444）与负压槽（33445）之间通过第一单向阀相连接，所述转换室（33444）的内部设置有活塞和气阀，所述活塞通过连杆与齿轮转盘（33441）相连接。4.根据权利要求3所述的一种智能全自动的氮化镓场效管封装性能检测装置，其特征在于：所述升降架（3344）远离第二齿条（3343）的一端设置有排气槽（33442），所述第二检测台（33）靠近工件（5）的一端设置有缓冲槽（3345），所述缓冲槽（3345）与排气槽（33442）之间通过连接管（33443）相连通，所述转换室（33444）与排气槽（33442）之间通过第二单向阀相连接。5.根据权利要求1所述的一种智能全自动的氮化镓场效管封装性能检测...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁纪文，邓孟中，杜运波，
申请(专利权)人：扬州港信光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：