液路循环系统及切片机技术方案

本申请实施例提供一种液路循环系统及切片机，其中，液路循环系统包括：供液缸、收集槽及喷淋装置；喷淋装置设置于切割设备的切割主辊上方，用于对切割主辊绕设的切割线网提供切割液；收集槽设置于切割主辊下方用于收集切割液；收集槽还通过管路与供液缸连通，收集的切割液回流至供液缸；喷淋装置包括：用于容纳切割液的喷淋管，设有喷淋孔；喷淋管的注入口与供液缸通过管路连通；泄流板，设置于喷淋管内，将喷淋管的内部空间分隔为第一空间和第二空间，第一空间与喷淋管的注入口连通，第二空间与喷淋孔连通；泄流板设有泄流孔，第一空间和第二空间通过泄流孔连通。本申请实施例提供的液路循环系统及切片机能够提高对切割线网冷却的效果。却的效果。却的效果。

【技术实现步骤摘要】
液路循环系统及切片机


[0001]本申请涉及硅片生产技术，尤其涉及一种液路循环系统及切片机。

技术介绍

[0002]切片机是一种将硬脆材料棒切割成薄片的设备，切片机通常采用两根平行的主辊水平布置，单根金刚线绕设在两根主辊上形成至少2000根线锯。以硅棒作为硬脆材料棒为例，硅棒自上向下移动从两根主辊之间穿过，主辊转动，带动金刚线高速移动将硅棒切成薄片状。
[0003]在硅棒的两侧分别设有喷淋装置，用于在切割的过程中向线锯喷洒切割液，用于对线锯进行冷却，并冲掉线锯上的硅粉。切割液由切片机中的供液系统提供，在实际应用中，供液系统的供液压力存在较大的波动，导致切割液从喷淋装置喷出的压力时大时小，使得喷洒向线锯的切割液不均匀分布，极大地影响了冷却效果，而且当线锯上存在较多的硅粉还会影响切割形成硅片表面的粗糙度，进而降低成品率。

技术实现思路

[0004]为了解决上述技术缺陷之一，本申请实施例中提供了一种液路循环系统及切片机。
[0005]根据本申请实施例的第一个方面，提供了一种液路循环系统，包括：
[0006]用于容纳切割液的供液缸；
[0007]喷淋装置，与供液缸之间通过管路相连，设置于切割设备的切割主辊上方，用于对切割主辊绕设的切割线网提供切割液；
[0008]收集槽，设置于切割主辊下方，用于收集切割液；所述收集槽还通过管路与供液缸连通，收集的切割液回流至供液缸；
[0009]所述喷淋装置包括：
[0010]用于容纳切割液的喷淋管；所述喷淋管设有喷淋孔；所述喷淋管的注入口与供液缸通过管路连通；
[0011]泄流板，设置于所述喷淋管内，将喷淋管的内部空间分隔为第一空间和第二空间，第一空间与喷淋管的注入口连通，第二空间与喷淋孔连通；所述泄流板设有泄流孔，喷淋管的第一空间和第二空间通过泄流孔连通。
[0012]如上所述的液路循环系统，所述喷淋装置还包括：
[0013]引流板，设置于所述喷淋孔的下方，以将喷淋孔内流出的切割液引导至切割线网。
[0014]如上所述的液路循环系统，所述引流板倾斜设置，所述引流板的一端与喷淋管连接用于承接从喷淋孔流出的切割液，另一端朝向所述切割线网以将切割液引导至所述切割线网。
[0015]如上所述的液路循环系统，所述喷淋管内的第一空间位于第二空间上方。
[0016]如上所述的液路循环系统，所述引流板包括：沿引流板宽度方向布设的第一板段
和第二板段，第一板段与第二板段之间的夹角大于或等于90
°
；第一板段的顶端延伸至喷淋孔远离切割线网的侧面，第一板段和第二板段围设于喷淋管的下方形成引流空间。
[0017]如上所述的液路循环系统，还包括：
[0018]密封板，其一端延伸至喷淋管的外表面，位于喷淋孔靠近切割线网的侧面；密封板止挡于引流空间的上方，密封板与引流板的端部之间形成切割液的流出口。
[0019]如上所述的液路循环系统，还包括：
[0020]连接板；所述连接板沿其长度方向的两端连接至引流板；所述密封板固定于所述连接板。
[0021]如上所述的液路循环系统，还包括：
[0022]调整板；所述调整板设有沿竖向延伸的长孔，通过能穿过长孔的螺栓连接至连接板；所述调整板的底端与引流板之间的间隙形成引流空间的出口。
[0023]如上所述的液路循环系统，还包括：
[0024]过滤桶组件，连接在供液缸与喷淋装置之间；所述过滤桶组件内设有切割液过滤网。
[0025]如上所述的液路循环系统，还包括：
[0026]换热组件，连接在过滤桶组件与喷淋装置之间；切割液流经换热组件内进行降温。
[0027]如上所述的液路循环系统，还包括：
[0028]流量计组件，连接于换热组件与喷淋装置之间。
[0029]如上所述的液路循环系统，所述喷淋装置的数量为两个，分别布设于两个切割主辊的上方；两个喷淋装置分别通过管路与三通件的两个接口相连，三通件的另一个接口通过管路与供液缸相连。
[0030]根据本申请实施例的第二个方面，提供了一种切片机，包括：如上所述的液路循环系统。
[0031]本申请实施例所提供的技术方案，采用喷淋装置设置于切割主辊上方，供液缸向喷淋装置提供切割液，以使喷淋装置向切割线网喷洒切割液，对切割线网进行降温冷却，并冲掉切割线网上附着的硅粉，保障切割得到硅片的表面质量，进而提高硅片成品率。另外，在喷淋管内设置泄流板，泄流板将喷淋管的内部空间划分为第一空间和第二空间，且泄流板上开设的泄流孔将第一空间和第二空间连通，以使进入喷淋管内的切割液先进入第一空间，经泄流孔进入第二空间，再经过喷淋孔流向切割线网。该方案中泄流板上设置有泄流孔，减缓了切割液在喷淋管内的流动。在供液压力波动的情况下，切割液也能在喷淋管内分布均匀，从而均匀地从喷淋孔流出，以确保切割液均匀地流向切割线网，保障冷却效果及冲刷切割线上的硅粉。
附图说明
[0032]此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：
[0033]图1为本申请实施例提供的液路循环系统的结构示意图；
[0034]图2为本申请实施例提供的切片机中设有喷淋装置的立体视图；
[0035]图3为本申请实施例提供的切片机中设有喷淋装置的侧视图；
[0036]图4为本申请实施例提供的切片机中喷淋装置的结构示意图；
[0037]图5为本申请实施例提供的切片机中喷淋装置的横断面视图；
[0038]图6为图4中A区域的放大视图；
[0039]图7为本申请实施例提供的切片机中清洗装置的结构示意图；
[0040]图8为图2中B区域的放大视图。
[0041]附图标记：
[0042]11
‑
切割框架；12
‑
切割主辊；13
‑
收集槽；14
‑
一级过滤网；15
‑
二级过滤网；16
‑
碎片盒；
[0043]2‑
喷淋装置；21
‑
喷淋管；211
‑
喷淋孔；212
‑
切割液注入管；213
‑
切割液管路接头；22
‑
泄流板；221
‑
泄流孔；23
‑
引流板；24
‑
连接板；25
‑
调整板；251
‑
长孔；26
‑
密封板；27
‑
喷淋支架；28
‑
三通件；
[0044]31
‑
硅棒；
[0045]4‑
清洗装置；41
‑
清洗管；42
‑
清洗液注入管；43
‑
清本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种液路循环系统，其特征在于，包括：用于容纳切割液的供液缸；喷淋装置，与供液缸之间通过管路相连，设置于切割设备的切割主辊上方，用于对切割主辊绕设的切割线网提供切割液；收集槽，设置于切割主辊下方，用于收集切割液；所述收集槽还通过管路与供液缸连通，收集的切割液回流至供液缸；所述喷淋装置包括：用于容纳切割液的喷淋管；所述喷淋管设有喷淋孔；所述喷淋管的注入口与供液缸通过管路连通；泄流板，设置于所述喷淋管内，将喷淋管的内部空间分隔为第一空间和第二空间，第一空间与喷淋管的注入口连通，第二空间与喷淋孔连通；所述泄流板设有泄流孔，喷淋管的第一空间和第二空间通过泄流孔连通。2.根据权利要求1所述的液路循环系统，其特征在于，所述喷淋装置还包括：引流板，设置于所述喷淋孔的下方，以将喷淋孔内流出的切割液引导至切割线网。3.根据权利要求2所述的液路循环系统，其特征在于，所述引流板倾斜设置，所述引流板的一端与喷淋管连接用于承接从喷淋孔流出的切割液，另一端朝向所述切割线网以将切割液引导至所述切割线网。4.根据权利要求1所述的液路循环系统，其特征在于，所述喷淋管内的第一空间位于第二空间上方。5.根据权利要求3所述的液路循环系统，其特征在于，所述引流板包括：沿引流板宽度方向布设的第一板段和第二板段，第一板段与第二板段之间的夹角大于或等于90
°
；第一板段的顶端延伸至喷淋孔远离切割线网的侧面，第一板段和第二板段围设于喷淋管...

【专利技术属性】
技术研发人员：丁海军，高涛，范国强，孙启童，陈超，李玮渊，
申请(专利权)人：乐山高测新能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：