一种扫描式UV解胶机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种扫描式UV解胶机，包括机柜、所述机柜表面开设有通光口，所述通光口上方设有放置板，所述放置板中部开设有贯穿的扫描窗，所述通光口两侧设有轨道组件，所述放置板与轨道组件滑动连接，所述机柜内部设有UV灯，所述UV灯对应通光口设置，所述UV灯与通光口之间设置遮光组件，所述遮光组件用于遮挡UV灯与通光孔之间的光通道。本实用新型专利技术提供了一种扫描式UV解胶机，具有遮光组件，从而确保汞灯在连续工作情况下，不会影响人们将解胶好的晶圆取出。的晶圆取出。的晶圆取出。

【技术实现步骤摘要】
一种扫描式UV解胶机


[0001]本技术涉及晶圆解胶
，尤其涉及一种扫描式UV解胶机。

技术介绍

[0002]在针对晶圆进行切割等构装工艺前，通常会先将晶圆黏着于一胶膜上，胶膜外周缘固定于一金属材质的固定环框中，通过胶膜黏着固定晶圆，便于人们将晶圆进行转运和加工。等晶圆要进行后续工艺步骤时，再通过晶圆解胶装置的UV灯对黏着有晶圆的胶膜进行照射，降低胶膜上的固结胶对晶圆的黏着性，利用工艺设备自胶膜上取出晶粒进行预定的工艺步骤。
[0003]而现有的UV灯有两种，一种是LED灯，一种是汞灯，虽然LED灯在功耗等方面相比汞灯具有更好地效果，但是汞灯的发射光谱是连续的，从紫外到红外都有，特别是在UVB到短波的UVA这一段的光强比较集中，而LED灯的发射光谱比较窄，常见的是峰值为365nm和395nm的这两个波段。从而LED灯在适应性上受到一定的限制，而汞灯更能够满足不同波段的使用需求，然而由于汞灯在使用前需要进行预热，从而汞灯无法进行频繁的开启和关闭，需要保持汞灯的持续工作，才能连续对晶圆进行扫描照射，同时还需要对连续工作的汞灯进行遮挡，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种扫描式UV解胶机，其特征在于，包括机柜、所述机柜表面开设有通光口，所述通光口上方设有放置板，所述放置板中部开设有贯穿的扫描窗，所述通光口两侧设有轨道组件，所述放置板与轨道组件滑动连接，所述机柜内部设有UV灯，所述UV灯对应通光口设置，所述UV灯与通光口之间设置遮光组件，所述遮光组件用于遮挡UV灯与通光孔之间的光通道。2.如权利要求1所述的一种扫描式UV解胶机，其特征在于，所述UV灯采用汞灯。3.如权利要求1所述的一种扫描式UV解胶机，其特征在于，所述机柜上方罩设有机盖，所述轨道组件设置于机盖内部，所述机盖对应轨道组件一端设有柜门，所述柜门一侧与机盖转动连接。4.如权利要求3所述的一种扫描式UV解胶机，其特征在于，所述轨道组件包括滑动槽、导轨、滑动座及推动装置，所述滑动槽和导轨相对设置于通光口两侧，所述滑动座滑动设置于滑动槽内，且所述推动装置用于推动滑动座沿滑动槽滑动，所述放置板一侧与滑动座固定连接，另一侧通过滑套设于导轨上方，所述滑套与导轨滑动连接。5.如权利要求4所述的一种扫描式UV解胶机，其特征在于，所述推动装置包括第一皮带轮、第二皮带轮、传送带及电机，所述第一皮带轮和第二皮带轮分别设置于滑动槽两端，且所述第一皮带轮和第二皮带轮与滑动槽转动连接，所述第一皮带轮和第二皮带轮通过传送带传动连接，所述滑动座与传...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄朝阳，陈清华，
申请(专利权)人：深圳市三昆科技有限公司，
类型：新型
国别省市：