一种旋转阴极制造技术

本发明专利技术公开了一种旋转阴极，涉及到阴极领域，包括阴极壳体，阴极壳体中设置有阴极槽，阴极槽内设置有旋转阴极，阴极壳体的外侧设置有驱动旋转阴极转动的传动单元，旋转阴极的端部与阴极壳体之间设置有限位转动机构，阴极壳体的内部设置有支撑在旋转阴极底部用于减少旋转阴极转动时离心力的稳定机构，为了解决旋转磁控溅射阴极在转动时会产生一定的震动，长时间的震动会导致密封性降低的现象，在旋转阴极的端部与阴极壳体之间设置有限位转动机构，限位转动机构可限制旋转阴极转动时不会偏移，降低旋转阴极晃动的现象，从而减少旋转阴极长时间震动或者晃动造成的密封性降低现象。间震动或者晃动造成的密封性降低现象。间震动或者晃动造成的密封性降低现象。

【技术实现步骤摘要】
一种旋转阴极


[0001]本专利技术涉及阴极领域，特别涉及一种旋转阴极。

技术介绍

[0002]磁控溅射是物理气相沉积的一种。一般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多材料，且具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点。上世纪70年代发展起来的磁控溅射法更是实现了高速、低温、低损伤。因为是在低气压下进行高速溅射，必须有效地提高气体的离化率。磁控溅射通过在靶阴极表面引入磁场，利用磁场对带电粒子的约束来提高等离子体密度以增加溅射率。
[0003]阴极是电化学反应的一个术语。指的是得电子的极，也就是发生还原反应的极。在原电池中，阴极是正极；电子由负极流向正极，电流由正极流向负极。溶液中的阳离子移向正极，阴离子移向负极。在电解池中阴极与电源的负极相连。阴极总是与阳极相对应而存在的。
[0004]旋转磁控溅射阴极是目前大面积真空镀膜的重要设备之一，旋转磁控溅射阴极的原理是一根表面附有溅射耙材或整根都是溅射耙材的中空管，绕悬挂在管中间静止不动的磁铁阵列旋转，控制工艺过程中的等离子体合理分布，由此耙穿过静止的等离子体区域，并且整本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种旋转阴极，包括阴极壳体(1)，其特征在于：所述阴极壳体(1)中设置有阴极槽(2)，阴极槽(2)内设置有旋转阴极(3)，所述阴极壳体(1)的外侧设置有驱动旋转阴极(3)转动的传动单元(4)，所述旋转阴极(3)的端部与阴极壳体(1)之间设置有限位转动机构，所述阴极壳体(1)的内部设置有支撑在旋转阴极(3)底部用于减少旋转阴极(3)转动时离心力的稳定机构(6)，所述阴极壳体(1)的底面中部固定设置有推动稳定机构(6)靠近旋转阴极(3)的推动单元(7)，所述推动单元(7)的两侧均设置有支撑在稳定机构(6)底部与阴极壳体(1)底部之间的伸缩组件(9)，所述稳定机构(6)中设置有修复旋转阴极(3)表面凹陷位置的修补机构。2.根据权利要求1所述的一种旋转阴极，其特征在于：所述限位转动机构包括外轴杆(30)与内轴杆(31)，外轴杆(30)套设在内轴杆(31)的外部且两者之间通过轴杆(29)固定，所述外轴杆(30)的内部设置有内部腔室(27)，所述内部腔室(27)中设置有固定在内轴杆(31)外圈处的弹性金属条(28)，弹性金属条(28)在内轴杆(31)外圈呈圆形阵列状设置有多组，弹性金属条(28)的端部固定设置有圆球(25)，所述内部腔室(27)内壁位置设置有供圆球(25)伸出至外轴杆(30)外部的圆形槽(26)。3.根据权利要求2所述的一种旋转阴极，其特征在于：所述限位转动机构还包括固定环板(23)，所述阴极壳体(1)的外侧设置有固定槽(22)，所述固定槽(22)内侧设置有限位环槽(24)，所述限位环槽(24)对应在圆形槽(26)的位置，所述固定环板(23)通过螺钉固定在固定槽(22)中，且固定环板(23)通过螺纹配合连接在外轴杆(30)的外圈处，所述外轴杆(30)内端伸入阴极壳体(1)的内部，且外轴杆(30)伸入阴极壳体(1)内部的一端设置有矩形收纳槽(35)，矩形收纳槽(35)中活动设置有矩形卡块(33)，矩形收纳槽(35)的底部固定焊接有拉持矩形卡块(33)的弹力弹簧(34)，所述旋转阴极(3)的侧面设置有供矩形卡块(33)活动卡合的矩形卡槽(32)，所述矩形卡块(33)呈矩形块状结构。4.根据权利要求3所述的一种旋转阴极，其特征在于：所述传动单元(4)的传动轴通过轴杆(29)固定在阴极壳体(1)一侧的外轴杆(30)上，所述传动单元(4)的底部通过传动单元支撑板(5)固定在阴极壳体(1)的侧面。5.根据权利要求1所述的一种旋转阴极，其特征在于：所述稳定机构(6)包括弧形板状结构的贴合板(15)，所述贴合板(15)活动贴合在旋转阴极(3)的底部，所述贴合板(15)中设置有内部空心槽(44)，所述内部空心槽(44)中部固定设...

【专利技术属性】
技术研发人员：匡国庆，
申请(专利权)人：镇江市德利克真空设备科技有限公司，
类型：发明
国别省市：