一种自动高真空储能式封焊机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种自动高真空储能式封焊机，包括封焊机本体、抽高真空装置、手套箱和自动上下料机构，封焊机本体为储能式封焊机，封焊机本体包括上下对应设置的上电极和下电极，上电极外侧设置上密封罩，下电极外侧设置下密封罩，上密封罩和下密封罩能够扣合在一起形成密闭空间；抽高真空装置连通密闭空间，并能够对密闭空间进行抽高真空操作；手套箱内为氮气环境，并将上电极和下电极扣在其中，手套箱设置防静电手套，操作者通过防静电手套对手套箱内的物料进行取放操作；自动上下料机构设置于手套箱内，用于将物料从手套箱内送至下电极上，以及将物料从下电极上取回到手套箱内。本实用新型专利技术能够实现自动完成氮气环境下高真空焊接。真空焊接。真空焊接。

【技术实现步骤摘要】
一种自动高真空储能式封焊机


[0001]本技术属于封焊机领域，尤其涉及一种能够自动地实现在高真空状态下进行焊接操作的储能式封焊机。

技术介绍

[0002]目前，半导体封装行业对器件的封装环境要求越来越高并且越来越多样化，尤其是对氮气环境下的储能式高真空封焊机的需求越来越大。现有的封焊机由于结构问题，很难实现密封环境下的自动操作，而且也非常不容易实现氮气环境和高真空焊接，导致焊接质量难以提高。
[0003]因此，如何在不改变封焊机主体结构情况下，实现自动操作以及氮气环境和高真空焊接，是业界急需解决的问题。

技术实现思路

[0004]本技术的一个主要目的在于提供一种能够在不改变封焊机主体结构情况下，实现自动操作以及氮气环境和高真空焊接的自动高真空储能式封焊机。
[0005]为实现上述技术目的，本技术采用如下技术方案：
[0006]如本技术的一个方面，提供了一种自动高真空储能式封焊机，包括：
[0007]封焊机本体，所述封焊机本体为储能式封焊机，所述封焊机本体包括上下对应设置的上电极和下电极，所述上电极外侧设置上密封罩，所述下电极外侧设置下密封罩，所述上密封罩和所述下密封罩能够扣合在一起形成密闭空间；
[0008]抽高真空装置，所述抽高真空装置连通所述密闭空间，并能够对所述密闭空间进行抽高真空操作；
[0009]手套箱，所述手套箱内为氮气环境，并将所述上电极和所述下电极扣在其中，所述手套箱设置防静电手套，操作者通过所述防静电手套对所述手套箱内的物料进行取放操作；<br/>[0010]自动上下料机构，所述自动上下料机构设置于所述手套箱内，用于将物料从所述手套箱内送至所述下电极上，以及将物料从所述下电极上取回到所述手套箱内。
[0011]如本技术的一实施方式，所述自动高真空储能式封焊机还包括烘烤箱，所述烘烤箱设置在所述手套箱一侧，通过入料门连通或隔断所述手套箱，用于放入承载物料的载盘和物料。
[0012]如本技术的一实施方式，所述烘烤箱内部环境为真空或者氮气环境，极限真空度小于10帕，所述烘烤箱自动净化箱内空气，并对载盘上的物料进行烘烤，烘烤温度大于等于200℃。
[0013]如本技术的一实施方式，所述入料门的开启和关闭，由操作者通过所述防静电手套通过手套箱进行操作，且该操作过程中，所述烘烤箱入口处于关闭状态。
[0014]如本技术的一实施方式，所述自动高真空储能式封焊机还包括传递箱，所述
传递箱设置于所述手套箱的另一侧，通过出料门连通或隔断所述手套箱，用于放入承载物料的成品盒、物料以及载盘。
[0015]如本技术的一实施方式，所述传递箱内具有空气自动净化功能。
[0016]如本技术的一实施方式，所述出料门的开启和关闭，由操作者通过所述防静电手套通过手套箱进行操作，且该操作过程中，所述传递箱出口处于关闭状态。
[0017]如本技术的一实施方式，所述自动高真空储能式封焊机还包括定位机构，所述定位机构用于对物料进行精准定位，所述手套箱中将物料置于所述定位机构上，经过定位调整后，由所述自动上下料机构将物料移送至所述下电极上。
[0018]如本技术的一实施方式，所述手套箱安装有多方向大面积的透明观察窗。
[0019]如本技术的一实施方式，所述抽高真空装置能够将所述密闭空间真空度最高抽至5
×
10
‑
4帕。
[0020]由上述技术方案可知，本技术的自动高真空储能式封焊机的优点和积极效果在于：
[0021]本技术中，采用手套箱和自动上下料机构，方便在密封环境和氮气环境下实现自动操作，采用封焊机本体和抽高真空装置，能够在不改变封焊机主体结构情况下，自动完成氮气环境下高真空焊接。
附图说明
[0022]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以如这些附图获得其他的附图。
[0023]图1为本技术自动高真空储能式封焊机立体结构示意图。
[0024]图2为本技术自动高真空储能式封焊机中封焊机中本体和自动上下料机构配合立体示意图。
[0025]图3为本技术自动高真空储能式封焊机中封焊机本体立体示意图。
[0026]图4为本技术自动高真空储能式封焊机中手套箱、烘烤箱和传递箱配合立体示意图。
[0027]图5为本技术自动高真空储能式封焊机中自动上下料机构立体示意图。
[0028]其中，附图标记说明如下：
[0029]1、封焊机本体；
[0030]11、焊接平台；
[0031]12、下密封罩；
[0032]13、下电极；
[0033]14、上密封罩；
[0034]16、抽高真空管路
[0035]2、手套箱；
[0036]21、防静电手套安装口；
[0037]22、透明观察窗；
[0038]4、自动上下料机构；
[0039]41、物料载盘运动机构；
[0040]42、物料拾取装置运动机构；
[0041]43、工作台；
[0042]44、载盘；
[0043]45、成品盒；
[0044]46、定位机构；
[0045]5、烘烤箱；
[0046]6、传递箱。
具体实施方式
[0047]现在将参考附图更全面地描述示例实施方式。然而，示例实施方式能够以多种形式实施，且不应被理解为限于在此阐述的实施方式；相反，提供这些实施方式使得本技术将全面和完整，并将示例实施方式的构思全面地传达给本领域的技术人员。图中相同的附图标记表示相同或类似的结构，因而将省略它们的详细描述。
[0048]在对本技术的不同示例的下面描述中，参照附图进行，所述附图形成本技术的一部分，并且其中以示例方式显示了可实现本技术的多个方面的不同示例性结构、系统和步骤。应理解，可以使用部件、结构、示例性装置、系统和步骤的其他特定方案，并且可在不偏离本技术范围的情况下进行结构和功能性修改。而且，虽然本说明书中可使用术语“顶部”、“底部”、“前部”、“后部”、“侧部”等来描述本技术的不同示例性特征和元件，但是这些术语用于本文中仅出于方便，例如如附图中所述的示例的方向。本说明书中的任何内容都不应理解为需要结构的特定三维方向才落入本技术的范围内。
[0049]图1为本技术自动高真空储能式封焊机立体结构示意图。图2为本技术自动高真空储能式封焊机中封焊机中本体和自动上下料机构配合立体示意图。图3为本技术自动高真空储能式封焊机中封焊机本体立体示意图。图4为本技术自动高真空储能式封焊机中手套箱、烘烤箱和传递箱配合本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种自动高真空储能式封焊机，其特征在于，包括：封焊机本体，所述封焊机本体为储能式封焊机，所述封焊机本体包括上下对应设置的上电极和下电极，所述上电极外侧设置上密封罩，所述下电极外侧设置下密封罩，所述上密封罩和所述下密封罩能够扣合在一起形成密闭空间；抽高真空装置，所述抽高真空装置连通所述密闭空间，并能够对所述密闭空间进行抽高真空操作；手套箱，所述手套箱内为氮气环境，并将所述上电极和所述下电极扣在其中，所述手套箱设置防静电手套，操作者通过所述防静电手套对所述手套箱内的物料进行取放操作；自动上下料机构，所述自动上下料机构设置于所述手套箱内，用于将物料从所述手套箱内送至所述下电极上，以及将物料从所述下电极上取回到所述手套箱内。2.如权利要求1所述的自动高真空储能式封焊机，其特征在于，所述自动高真空储能式封焊机还包括烘烤箱，所述烘烤箱设置在所述手套箱一侧，通过入料门连通或隔断所述手套箱，用于放入承载物料的载盘和物料。3.如权利要求2所述的自动高真空储能式封焊机，其特征在于，所述烘烤箱内部环境为真空或者氮气环境，极限真空度小于10帕，所述烘烤箱自动净化箱内空气，并对载盘上的物料进行烘烤，烘烤温度大于等于200℃。4.如权利要求2所述的自动高真空储能式封焊机，其特征在于，所述入料门的开启和关闭，由操作...

【专利技术属性】
技术研发人员：谷玉海，肖钢，
申请(专利权)人：北京科信机电技术研究所有限公司，
类型：新型
国别省市：