一种电子级氯气的分析装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种电子级氯气的分析装置，包括外壳，所述外壳的外部连接有进样机构，所述外壳内部设有分析气路，所述进样机构与所述分析气路连接，且分析气路中的连接管路不易残留氯气，所述分析气路与检测器连接，所述检测器设置在所述外壳的外部，所述分析气路中的连接管路不易残留氯气的方法为所述分析气路中的管路避免锐角弯折，所述分析气路中的连接管路材质采用EP级316L不锈钢，且分析气路中的连接管路经过电化学抛光与钝化处理，解决了现有技术存在仪器管路中容易残留氯气，其设计及材质不符合氯气分析要求的缺点的技术问题。质不符合氯气分析要求的缺点的技术问题。质不符合氯气分析要求的缺点的技术问题。

【技术实现步骤摘要】
一种电子级氯气的分析装置


[0001]本专利技术涉及高纯气体分析
，特别涉及一种电子级氯气的分析装置。

技术介绍

[0002]目前应用于电子行业的氯气纯度在5N(99.999％)左右，GM592DID气相色谱仪完全可以满足分析的需求。国内高纯氯(纯度≥99.999％)生产厂商，普遍采用DID检测器或PDHID检测器，进行高纯氯气中常规杂质(H2、O2+Ar、N2、CH4、CO、CO2)的分析。尤其是美国GOW
‑
MAC公司的GM592DID气相色谱仪(目前的检测精度，以甲烷计，可达到10ppb以下)，在行业内应用最为广泛，饱受好评。
[0003]现有技术存在仪器管路中容易残留氯气，其设计及材质不符合氯气分析要求的缺点。

技术实现思路

[0004]本专利技术提供一种电子级氯气的分析装置，用以解决现有技术存在仪器管路中容易残留氯气，其设计及材质不符合氯气分析要求的缺点的技术问题。
[0005]为解决上述技术问题，本专利技术公开了一种电子级氯气的分析装置，包括外壳，所述外壳的外部连接有进样机构，所述外壳内部设有分析气路，所述进样机构与所述分析气路连接，且分析气路中的连接管路不易残留氯气，所述分析气路与检测器连接，所述检测器与所述外壳连接。
[0006]优选的，所述检测器为DID检测器。
[0007]优选的，所述分析气路中的连接管路不易残留氯气的方法为所述分析气路中的管路避免锐角弯折，所述分析气路中的连接管路材质采用EP级316L不锈钢，且分析气路中的连接管路经过电化学抛光与钝化处理。
[0008]优选的，所述分析气路包括四个切换阀和四个色谱柱，四个所述切换阀包括四通阀一、四通阀二、十通阀一和十通阀二，四个所述色谱柱包括预分离柱一、预分离柱二、分离柱一和分离柱二，所述色谱柱和与其连接的气路通过VCR方式连接。
[0009]优选的，所述预分离柱一分别与十通阀一的3号口和9号口相连，所述分离柱一分别与十通阀一的2号口和四通阀二的2号口相连，所述预分离柱二分别与十通阀二的3号口和9号口相连，所述分离柱二分别与十通阀二的2号口和四通阀二的4号口相连。
[0010]优选的，所述分析气路还包括定量环一和定量环二，所述定量环一的两端分别与所述十通阀一的5号口和8号口连通，所述定量环二的两端分别与所述十通阀二的5号口和8号口连通。
[0011]优选的，所述四通阀一的3号口与采样气路连通，所述四通阀一的1号口与进气管一连通，所述四通阀一的4号口与十通阀一的7号口连通，所述十通阀一的1号口与进气管二连通，所述十通阀一的4号口与进气管三连通，所述十通阀一的6号口与十通阀二的6号口连通，所述十通阀二的1号口与进气管四连通，所述十通阀二的4号口与进气管五连通，所述四
通阀一的2号口、十通阀一的10号口、十通阀二的10号口、四通阀二的3号口分别与尾气出口连通，所述四通阀二的1号口通过检测气路与DID检测器的进口连通，所述十通阀二的7号口与流量计连通，所述进气管一、进气管二、进气管三、进气管四和进气管五上分别设有波纹管阀。
[0012]优选的，所述进样机构包括进样口和动力壳，所述进样口设置在所述外壳的顶部，且进样口和采样管路连通，所述动力壳固定设置在所述外壳的顶部，所述外壳的上端固定安装有电机，所述电机与转动轴一固定连接，所述转动轴一与动力壳内部的齿轮一固定连接，所述齿轮一与齿轮二啮合，所述齿轮二与转动杆的圆柱段固定连接，所述转动杆的圆柱段贯穿动力壳的上端与固定板固定连接，所述转动杆的螺纹段与动力板螺纹连接，所述转动杆的顶部固定连接有限位块，所述动力板的下端连接有固定机构，所述固定板上贯穿设有固定孔，所述固定机构、固定孔和进样口沿竖直方向对应设置，所述动力板的侧端滑动连接有导向板、所述固定板的侧端与导向板固定连接，所述导向板与所述动力壳固定连接。
[0013]优选的，所述固定机构包括：
[0014]固定壳一，所述固定壳一固定设置在所述动力板的下端，所述固定壳一的内部设有固定腔一，所述固定壳一的下端贯穿设有开口一，所述固定壳一的左右两端贯穿设有开口二，所述固定腔一和开口一、开口二连通；
[0015]两个滑动块一，所述两个滑动块一滑动设置在所述固定腔一的内部，且滑动块一与连接块一固定连接，所述连接块一穿过所述开口二与推动块一固定连接，所述滑动块一和固定腔一的侧壁之间设有若干弹簧一；
[0016]固定壳二，所述固定壳二固定设置在所述固定壳一的下端，所述固定壳二的上端中部设有固定槽，所述固定壳二的下端贯穿设有开口三，所述固定腔一、固定槽和开口三从上到下依次连通，所述固定壳二的左右两端贯穿设有开口四，所述固定槽和开口四连通；
[0017]两个密封腔，所述两个密封腔对称设置在所述固定壳二的内部，且密封腔和开口四连通，所述固定壳二的上端左右两侧对称设有安装槽，所述安装槽通过开口五与所述密封腔连通；
[0018]两个波纹管，所述两个波纹管分别设置在左右两侧的所述安装槽中，且波纹管和密封腔连通，所述波纹管与推动块二固定连接，所述推动块二与所述推动块一配合，所述推动块二与L型块的竖直端滑动连接，所述L型块的水平端与所述固定壳二的侧端固定连接，所述推动块二和L型块的水平端之间固定设有弹簧二；
[0019]两个固定块，所述两个固定块对称设置在所述固定槽的左右两侧，所述固定块的内部设有固定腔二，所述固定腔二中滑动设有滑动板一和滑动板二，所述滑动板一和滑动板二之间固定设有弹簧三，所述滑动板一与连接块二固定连接，所述连接块二穿过所述固定腔二的侧端与滑动板三固定连接，所述滑动板三滑动设置在所述固定槽内部，所述滑动板二与连接块三固定连接，所述连接块三穿过所述开口四和固定腔二的侧端与密封板固定连接，所述密封板滑动设置在所述密封腔内部。
[0020]优选的，所述外壳的底部固定连接有稳定机构，所述稳定机构包括：
[0021]安装板，所述安装板的上端与所述外壳的底部固定连接，所述安装板下端的凸块与安装座上端的凹槽滑动连接，且凸块和凹槽之间固定设有若干弹簧四，所述外壳的下端左右两侧对称设有弹簧五，所述外壳的下端中弄不固定连接有稳定块；
[0022]稳定壳，所述稳定壳的上端左右两侧与所述弹簧五固定连接，所述稳定壳的上端中部设有稳定槽，所述稳定槽的左右两侧连通有弧形槽，所述弧形槽与活动腔连通，所述活动腔通过连通孔与所述稳定槽连通；
[0023]所述稳定块的上侧与转动轴二转动连接，所述转动轴二固定设置在所述稳定槽的前后两端之间，所述稳定块的中部左右两侧对称设有弧形齿条，所述弧形齿条的光滑端与所述弧形槽远离活动腔的一端滑动连接，且弧形齿条和弧形槽之间固定设有弹簧六；
[0024]两个齿轮三，所述两个齿轮三分别设置在左右两侧的活动腔中，且齿轮三通过连接轴一与所述活动腔转动连接，所述连接轴一与圆盘固定连接，所述圆盘与连接轴二偏心连接，所述连接轴二与推动杆一转动连接，所述推动杆一与滑动座转动连接；
[0025]两个滑动槽，所述两个滑动本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电子级氯气的分析装置，其特征在于，包括外壳(1)，所述外壳(1)的外部连接有进样机构(3)，所述外壳(1)内部设有分析气路，所述进样机构(3)与所述分析气路连接，且分析气路中的连接管路不易残留氯气，所述分析气路与检测器(2)连接，所述检测器(2)与所述外壳(1)连接。2.根据权利要求1所述的一种电子级氯气的分析装置，其特征在于，所述检测器为DID检测器。3.根据权利要求1所述的一种电子级氯气的分析装置，其特征在于，所述分析气路中的连接管路不易残留氯气的方法为所述分析气路中的管路避免锐角弯折，所述分析气路中的连接管路材质采用EP级316L不锈钢，且分析气路中的连接管路经过电化学抛光与钝化处理。4.根据权利要求1所述的一种电子级氯气的分析装置，其特征在于，所述分析气路包括四个切换阀和四个色谱柱，四个所述切换阀包括四通阀一(4)、四通阀二(7)、十通阀一(5)和十通阀二(6)，四个所述色谱柱包括预分离柱一(52)、预分离柱二(62)、分离柱一(53)和分离柱二(63)，所述色谱柱和与其连接的气路通过VCR方式连接。5.根据权利要求4所述的一种电子级氯气的分析装置，其特征在于，所述预分离柱一(52)分别与十通阀一(5)的3号口和9号口相连，所述分离柱一(53)分别与十通阀一(5)的2号口和四通阀二(7)的2号口相连，所述预分离柱二(62)分别与十通阀二(6)的3号口和9号口相连，所述分离柱二(63)分别与十通阀二(6)的2号口和四通阀二(7)的4号口相连。6.根据权利要求5所述的一种电子级氯气的分析装置，其特征在于，所述分析气路还包括定量环一(51)和定量环二(61)，所述定量环一(51)的两端分别与所述十通阀一(5)的5号口和8号口连通，所述定量环二(61)的两端分别与所述十通阀二(6)的5号口和8号口连通。7.根据权利要求5所述的一种电子级氯气的分析装置，其特征在于，所述四通阀一(4)的3号口与采样气路(41)连通，所述四通阀一(4)的1号口与进气管一(42)连通，所述四通阀一(4)的4号口与十通阀一(5)的7号口连通，所述十通阀一(5)的1号口与进气管二(54)连通，所述十通阀一(5)的4号口与进气管三(55)连通，所述十通阀一(5)的6号口与十通阀二(6)的6号口连通，所述十通阀二(6)的1号口与进气管四(64)连通，所述十通阀二(6)的4号口与进气管五(65)连通，所述四通阀一(4)的2号口、十通阀一(5)的10号口、十通阀二(6)的10号口、四通阀二(7)的3号口分别与尾气出口连通，所述四通阀二(7)的1号口通过检测气路(71)与DID检测器的进口连通，所述十通阀二(6)的7号口与流量计连通，所述进气管一(42)、进气管二(54)、进气管三(55)、进气管四(64)和进气管五(65)上分别设有波纹管阀。8.根据权利要求7所述的一种电子级氯气的分析装置，其特征在于，所述进样机构包括进样口(11)和动力壳(31)，所述进样口(11)设置在所述外壳(1)的顶部，且进样口(11)和采样管路(41)连通，所述动力壳(31)固定设置在所述外壳(1)的顶部，所述外壳(1)的上端固定安装有电机(32)，所述电机(32)与转动轴一(33)固定连接，所述转动轴一(33)与动力壳(31)内部的齿轮一(34)固定连接，所述齿轮一(34)与齿轮二(35)啮合，所述齿轮二(35)与转动杆(36)的圆柱段固定连接，所述转动杆(36)的圆柱段贯穿动力壳(31)的上端与固定板(37)固定连接，所述转动杆(36)的螺纹段与动力板(310)螺纹连接，所述转动杆(36)的顶部固定连接有限位块(39)，所述动力板(310)的下端连接有固定机构(8)，所述固定板(37)上贯穿设有固定孔(371)，所述固定机构(8)、固定孔(371)和进样口(11)沿竖直方向对应设
置，所述动力板(310)的侧端滑动连接有导向板(38)、所述固定板(37)的侧端与导向板(38)固定连接，所述导向板(38)与所述动力壳(31)固定连接。9.根据权利要求8所述的一种电子级氯气的分析装置，其特征在于，所述固定机构(8)包括：固定壳一(801)，所述固定壳一(801)固定设置在所述动力板(310)的下端，所述固定壳一(801)的内部设有固定腔一(803)，所述固定壳一(801)的下端贯穿设有开口一(802)，所述固定壳一(801)的左右两端贯穿设有开口二，所述固定腔一(803)和开口一(802)、开口二连通；两个滑动块一(804)，所述两个滑动块一(804)滑动设置在所述固定腔一(803)的内部，且滑动块一(804)与连接块一(806)固定连接，所述连接块一(806)穿过所述开口二与推动块一(807)固定连接，所述滑动块一(804)和固定腔一(803)的侧壁之间设有若干弹簧一(805)；固定壳二(808)，所述固定壳二(808)固定设置在所述固定壳一(801)的下端，所述固定壳二(80...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭佛晓，邓前，刘丽娜，
申请(专利权)人：北京高麦克仪器科技有限公司，
类型：发明
国别省市：