本发明专利技术公开了一种陶瓷基板缺陷检测装置及缺陷检测方法，包括壳体，所述壳体内壁设有加工台和支撑架，所述加工台位于所述支撑架内侧，所述加工台内壁设有固定机构，所述支撑架外壁设有检测组件，所述支撑架内壁设有调节组件。可以对陶瓷基板进行无损测试，并且准确定位缺陷位置，检测的准确度较高，可以调节气囊张开的范围，对陶瓷基板的侧面进行支撑，可以对不同大小的陶瓷基板进行固定，在检测的过程中避免陶瓷基板发生位移，提高检测的精准度，能够避免红外相机发生晃动，保证红外相机使用时的稳定性，可以对不同厚度的陶瓷基板进行测试，可以调节金属电极板和透明薄膜电极板的位置，从而提高器件的紧密性。从而提高器件的紧密性。从而提高器件的紧密性。
【技术实现步骤摘要】
一种陶瓷基板缺陷检测装置及缺陷检测方法
[0001]本专利技术涉及陶瓷基板缺陷检测
，具体为一种陶瓷基板缺陷检测装置及缺陷检测方法。
技术介绍
[0002]覆铜陶瓷基板具有热导率高、耐热性好、热膨胀系数低、机械强度高、绝缘性好、耐腐蚀、抗辐射等特点，在电子器件封装中得到广泛应用，根据制备原理和工艺的不同，目前主流产品可以分为厚膜印刷陶瓷基板、直接键合铜陶瓷基板、活性金属焊接陶瓷基板等。
[0003]陶瓷基板是制备覆铜陶瓷基板的主材之一，其产品质量直接决定覆铜陶瓷基板的产品质量。而在陶瓷基板(例如氧化铝、氮化铝、氮化硅、碳化硅基板)的制备过程中，会出现不同程度的缺陷，缺陷不仅仅存在材料的表面，还会出现在内部出现缺陷。常见的缺陷有内部细小夹杂、内部气孔，这些缺陷有时会严重影响到陶瓷片的耐电压性能，使用这种陶瓷片制备覆铜基板后，用于高压大功率模块中时，会出现产品绝缘失效等问题。
[0004]目前有的检测装置，对于瓷片内部偶发出现一个甚至数个夹杂、一个甚至数个气孔是无法通过力学性能检测来判定产品缺陷，而耐电压或者局放性能测试，需要取样和破坏性测试，检测的准确度较低，仍会造成极少量不合格品流出下游汽车件工序，无法做到无损测试和定位缺陷位置，且检测装置的稳定性较差。
技术实现思路
[0005]本专利技术的目的在于提供一种陶瓷基板缺陷检测装置及缺陷检测方法，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为了解决上述技术问题，本专利技术提供如下技术方案：一种陶瓷基板缺陷检测装置，包括壳体，所述壳体内壁设有加工台和支撑架，所述加工台位于所述支撑架内侧，所述加工台内壁设有固定机构，所述支撑架外壁设有检测组件，所述支撑架内壁设有调节组件。
[0007]进一步的，所述调节组件包括调节槽，所述调节槽设于所述支撑架内壁，所述调节槽内壁滑动设有支撑轴，所述支撑轴底端设有自动伸缩杆二，所述自动伸缩杆二底端设有红外相机，所述红外相机外壁设有滤光片，所述支撑架顶端设有计算机，所述支撑轴内壁设有通孔，所述调节槽内壁转动设有丝杆，所述丝杆贯穿于所述通孔。
[0008]进一步的，所述通孔内壁设有与所述丝杆相匹配的丝杆螺母，所述支撑轴外壁对称设有弹簧，所述弹簧套设于所述丝杆外侧，所述弹簧外壁远离所述支撑轴一端与所述调节槽连接，所述支撑架内壁设有电机，所述电机的输出轴与所述丝杆外壁连接，为丝杆提供动力。
[0009]进一步的，所述检测组件包括若干自动伸缩杆一，若干所述自动伸缩杆一对称设于所述支撑架底端，所述自动伸缩杆一底端设有透明薄膜电极板，若干所述自动伸缩杆一均匀设置在所述透明薄膜电极板的四个角，使得透明薄膜电极板获得稳定的支撑。
[0010]进一步的，所述透明薄膜电极板底端设有场致发光层，所述支撑架底端设有金属
电极板，所述壳体内壁对称设有若干自动伸缩杆三，自动伸缩杆三和金属电极板相配合。
[0011]进一步的，所述金属电极板与所述支撑架活动连接，所述壳体外壁设有稳压电源，所述场致发光层为荧光发光层。
[0012]进一步的，所述固定机构包括若干放置槽，所述放置槽设于所述加工台内壁，所述放置槽内壁设有气囊和凸块，所述凸块设于所述放置槽底部，所述气囊套设于所述放置槽内壁，所述气囊外壁靠近所述凸块一侧设有保护层。
[0013]进一步的，所述气囊外壁一侧与所述凸块活动连接，所述气囊外壁设有支管，若干所述支管之间通过通风管连接，所述通风管外壁于所述加工台外壁设有气泵，实现通风管内空气的运动。
[0014]进一步的，所述壳体内壁设有过滤箱，所述过滤箱内壁设有吸附碳，所述过滤箱一端通过管道一与所述气泵连接，所述过滤箱另一端设有管道二，所述管道二延伸至所述壳体外侧。
[0015]一种陶瓷基板缺陷检测装置的检测方法，具体检测方法如下：
[0016]步骤一：对陶瓷基板进行固定，陶瓷基板有不同的厚度、不同的大小，打开门体，将待检测的陶瓷基板放置在凸块上，气泵运行，外界的空气通过管道二进入过滤箱内，经过吸附碳过滤后到达管道一，然后输送至通风管内，通过若干支管输送至对应的气囊中，气囊被空气填充后扩张，气囊带动保护层向陶瓷基板靠近，根据待检测的陶瓷基板的大小，直到保护层与陶瓷基板接触，使得气囊对陶瓷基板的侧面进行支撑，完成对陶瓷基板的固定，在检测的过程中避免陶瓷基板，提高检测的精准度。
[0017]步骤二：对装置进行调节，自动伸缩杆一伸长带动透明薄膜电极板、场致发光层向陶瓷基板靠近，自动伸缩杆三伸长带动金属电极板向陶瓷基板靠近，从而提高器件的紧密性，透明薄膜电极板、金属电极板和稳压电源连接，电机的输出轴带动丝杆转动，丝杆通过丝杆螺母带动支撑轴，通过支撑轴外壁的调节槽对支撑轴进行限位，使得支撑轴沿着丝杆水平移动，直到支撑轴带动自动伸缩杆二、红外相机移动到待检测的陶瓷基板上方，在支撑轴由移动到停止移动的过程中，支撑轴由于惯性会受到移动的冲击力，两侧的弹簧对支撑轴进行缓冲，从而减少对红外相机的冲击力，避免红外相机发生晃动，保证红外相机使用时的稳定性，自动伸缩杆二伸长或收缩对红外相机的高度进行调节。
[0018]步骤三：对陶瓷基板进行检测，关闭门体，在黑暗的环境中进行检测，接通稳压电源，通过红外相机和滤光片相配合进行拍照，计算机可以处理发光照片，判断有无缺陷，并对瓷片缺陷位置进行精准定位，瓷片缺陷位置会出现亮斑，若无亮斑，则瓷片无缺陷，出现亮斑，则瓷片有缺陷，会通过计算机对照片进行处理，定位出瓷片缺陷位置。
[0019]与现有技术相比，本专利技术所达到的有益效果是：
[0020]1、本专利技术通过设置红外相机、滤光片、插块、透明薄膜电极板、金属电极板和稳压电源，可以使红外相机和滤光片相配合进行拍照，计算机可以处理发光照片，判断有无缺陷，从而对陶瓷基板进行无损测试，并且准确定位缺陷位置，检测的准确度较高，通过气囊、管道一、保护层、通风管、过滤箱和支管，可以使气囊被空气填充后扩张，气囊带动保护层向陶瓷基板靠近，从而调节气囊张开的范围，对陶瓷基板的侧面进行支撑，可以对不同大小的陶瓷基板进行固定，在检测的过程中避免陶瓷基板发生位移，提高检测的精准度。
[0021]2、本专利技术通过设置支撑轴、弹簧、调节槽、电机、丝杆和自动伸缩杆二，可使两侧的
弹簧对支撑轴进行缓冲，从而减少对红外相机的冲击力，避免红外相机发生晃动，保证红外相机使用时的稳定性，自动伸缩杆二伸长或收缩带动红外相机移动，可以对不同厚度的陶瓷基板进行测试，设置自动伸缩杆三、支撑架和自动伸缩杆一，可以使自动伸缩杆一伸长带动透明薄膜电极板、场致发光层向陶瓷基板靠近，自动伸缩杆三伸长带动金属电极板向陶瓷基板靠近，从而提高器件的紧密性。
附图说明
[0022]附图用来提供对本专利技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本专利技术的实施例一起用于解释本专利技术，并不构成对本专利技术的限制。在附图中：
[0023]图1是本专利技术内部的侧视结构示意图；
[0024]图2是本专利技术内部的仰视图；
[0025]图本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种陶瓷基板缺陷检测装置，包括壳体(1)，其特征在于：所述壳体(1)内壁设有加工台(2)和支撑架(3)，所述加工台(2)位于所述支撑架(3)内侧，所述加工台(2)内壁设有固定机构(4)，所述支撑架(3)外壁设有检测组件，所述支撑架(3)内壁设有调节组件。2.根据权利要求1所述的一种陶瓷基板缺陷检测装置，其特征在于：所述调节组件包括调节槽(5)，所述调节槽(5)设于所述支撑架(3)内壁，所述调节槽(5)内壁滑动设有支撑轴(6)，所述支撑轴(6)底端设有自动伸缩杆二(7)，所述自动伸缩杆二(7)底端设有红外相机(8)，所述红外相机(8)外壁设有滤光片(9)，所述支撑架(3)顶端设有计算机(10)，所述支撑轴(6)内壁设有通孔，所述调节槽(5)内壁转动设有丝杆(11)，所述丝杆(11)贯穿于所述通孔。3.根据权利要求2所述的一种陶瓷基板缺陷检测装置，其特征在于：所述通孔内壁设有与所述丝杆(11)相匹配的丝杆螺母，所述支撑轴(6)外壁对称设有弹簧(12)，所述弹簧(12)套设于所述丝杆(11)外侧，所述弹簧(12)外壁远离所述支撑轴(6)一端与所述调节槽(5)连接，所述支撑架(3)内壁设有电机(13)，所述电机(13)的输出轴与所述丝杆(11)外壁连接。4.根据权利要求1所述的一种陶瓷基板缺陷检测装置，其特征在于：所述检测组件包括若干自动伸缩杆一(14)，若干所述自动伸缩杆一(14)对称设于所述支撑架(3)底端，所述自动伸缩杆一(14)底端设有透明薄膜电极板(15)，若干所述自动伸缩杆一(14)均匀设置在所述透明薄膜电极板(15)的四个角。5.根据权利要求4所述的一种陶瓷基板缺陷检测装置，其特征在于：所述透明薄膜电极板(15)底端设有场致发光层(16)，所述支撑架(3)底端设有金属电极板(17)，所述壳体(1)内壁对称设有若干自动伸缩杆三(18)。6.根据权利要求5所述的一种陶瓷基板缺陷检测装置，其特征在于：所述金属电极板(17)与所述支撑架(3)活动连接，所述壳体(1)外壁设有稳压电源(22)，所述场致发光层(16)为荧光发光层。7.根据权利要求1所述的一种陶瓷基板缺陷检测装置，其特征在于：所述固定机构(4)包括若干放置槽(19)，所述放置槽(19)设于所述加工台(2)内壁，所述放置槽(19)内壁设有气囊(20)和凸块(21)，所述凸块(21)设于所述放置槽(19)底部，所述气囊(20)套设于所述放置槽(19)内壁，所述气囊(20)外壁靠近所述凸块(21)一侧设有保护层。8.根据权利要求7所述的一种陶瓷基板缺陷检测装置，其特征在于：所述气囊(20)外壁一侧与所述凸块(21)活动连接，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：王斌，贺贤汉，周轶靓，季成龙，葛荘，
申请(专利权)人：江苏富乐华功率半导体研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：
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