本发明专利技术提供了一种石英谐振器管脚校准装置、校准工装的确定方法及石英谐振器管脚的校准方法，属于管脚校准技术领域，包括具有吸附孔的持件台、可吸附于持件台上的校准工装、夹持矫直机构以及定位凸轮；夹持矫直机构设置于持件台上且对称于校准工装的左右两侧，包括线性执行器及连接于线性执行器的夹爪；定位凸轮其偏心轴转动连接于持件台上，且对称于校准工装的左右两侧；夹爪推动定位凸轮直至夹爪抵顶校准工装，即可获得石英谐振器管脚的矫直位置。本实施例提供以半自动化的校准装置替代目前全人工目视手动调整石英谐振器管脚的技术手段，可以提高管脚校准的垂直度的准确性，避免在进行电阻焊工艺时压伤管脚造成产品报废。免在进行电阻焊工艺时压伤管脚造成产品报废。免在进行电阻焊工艺时压伤管脚造成产品报废。
【技术实现步骤摘要】
石英谐振器管脚校准装置、校准工装的确定方法及校准方法
[0001]本专利技术属于半导体生产
，具体涉及一种石英谐振器管脚校准装置。
技术介绍
[0002]石英谐振器指的是利用电信号频率等于石英晶片固有频率时晶片因压电效应而产生谐振现象的原理制成的器件，是晶体振荡器和窄带滤波器等的关键元件。
[0003]在半导体生产线中，电阻焊是石英谐振器生产过程中的重要工序，若如图11定义石英谐振器X、Y方向(X为管壳长度方向，Y为管壳宽度方向)，由于器件小型化等要求，石英谐振器管脚与上模具在Y方向间隙很小，管脚与管壳表面在Y方向垂直度偏差稍大就会导致在进行电阻焊工艺时出现压坏管脚的情况，经测试发现，管脚长度为13.2
㎜
时，只有其与模具表面夹角在90
°±
2.24
°
内，不会压坏管脚。
[0004]目前为减少压坏管脚导致产品报废，生产线均采用肉眼观察对管脚进行垂直度检查，当工人目视认为管脚角度不合适时用镊子对管脚进行手动调整，但是这种人工手动调整的方式，由于个体手法、自身经验、视觉个体差异等因素，会导致管脚调整的偏差不同，而因此种情况产生的废品已占此工艺废品率的80％以上，产品废品率高，生产成本高，也造成资源的浪费。图12、图13分别为电阻焊待机和加工产品时上模21、下模22位置示意图。
技术实现思路
[0005]本专利技术实施例提供一种石英谐振器管脚校准装置、校准工装的确定方法及石英谐振器管脚的校准方法，旨在提高管脚的校准垂直度的准确性，降低半导体器件生产的废品率高的问题。
[0006]第一方面，为实现上述目的，本专利技术采用的技术方案是：提供一种石英谐振器管脚校准装置，包括具有吸附孔的持件台、可吸附于所述持件台上的校准工装、夹持矫直机构以及定位凸轮；夹持矫直机构设置于所述持件台上且对称于所述校准工装的左右两侧，包括线性执行器及连接于所述线性执行器的夹爪；定位凸轮，其偏心轴转动连接于持件台上，且对称于所述校准工装的左右两侧；所述夹爪推动所述定位凸轮直至夹爪抵顶所述校准工装，即可获得石英谐振器管脚的矫直位置。
[0007]第一方面，在一种可能的实现方式中，所述持件台的中间设有凸起的支撑平台，所述支撑平台的中间设有凸起的吸附台，所述吸附台上设有一排所述吸附孔，所述吸附台内设有连通所述吸附孔的气路通道；所述定位凸轮为四组，对称设置于所述吸附台的左右两侧，且转动连接于所述支撑平台上。
[0008]第一方面，在一种可能的实现方式中，所述定位凸轮上还设有平行于所述偏心轴的顶丝及平行于所述偏心轴的定位柱，所述夹爪为折弯件，包括连接于所述线性执行器的立板及连接于所述立板上端的水平板，所述立板抵顶所述定位柱，所述水平板夹持所述校准工装。
[0009]第一方面，在一种可能的实现方式中，所述持件台上还设有调位座，所述调位座通
过调位螺栓固定于所述持件台上，且所述调位座上设有可使所述调位座左右移动的长条孔；所述线性执行器为气缸，固定于所述调位座上。
[0010]第一方面，在一种可能的实现方式中，所述石英谐振器管脚校准装置还包括底座、设置于所述底座上的换向电磁阀及真空发生器，所述换向电磁阀与所述真空发生器连通，所述线性执行器及所述吸附孔与所述换向电磁阀连通。
[0011]第一方面，在一种可能的实现方式中，所述底座上设有调位板，所述调位板上设有一排调位孔，所述换向电磁阀固定于所述调位板上。
[0012]第一方面，在一种可能的实现方式中，所述校准工装包括长方形基板，所述长方形基板包括基座及设有所述基座上的矫直板，所述矫直板与所述基座之间的距离为校准值d。
[0013]第一方面，在一种可能的实现方式中，所述基座的底部设有可插接于所述吸附孔内的插脚。
[0014]第二方面，本专利技术提供一种校准工装的确定方法，基于所述的石英谐振器管脚校准装置，所述的确定方法，包括：
[0015]将待矫直的石英谐振器的管壳吸附于持件台上，利用量角器调整石英谐振器的管脚角度，使石英谐振器的管脚与量角器的90
°
刻度线重合；
[0016]用镊子向一侧拨动管脚顶端，测出管脚能够回弹至90
°
位置时拨动的最大角度θ；
[0017]拖动夹爪，使其接触石英谐振器的管脚，沿管脚测得该接触点至管脚根部的长度h；
[0018]根据公式d＝h
·
sinθ计算，即可得到校准值d；
[0019]根据该校准值d，即可制作校准工装。
[0020]第三方面，本专利技术还提供一种石英谐振器管脚的校准方法，基于所述的石英谐振器管脚校准装置，所述校准方法包括：
[0021]定位凸轮的校准；
[0022]步骤一，将校准工装吸附在持件台上，并使其矫直板的矫直面朝向待校准的定位凸轮；
[0023]步骤二，松开固定定位凸轮的顶丝，使定位凸轮可绕偏心轴旋转；
[0024]步骤三，启动待校准定位凸轮一侧的气缸，使该侧夹爪顶住校准工具的矫直面；
[0025]步骤四，旋转待校准的定位凸轮，并使定位柱与夹爪相贴；
[0026]步骤五，锁紧偏心轴，并锁紧顶丝，固定定位凸轮，以确定定位柱的位置；
[0027]步骤六，翻转校准工装，使其矫直板的矫直面朝向另一侧的定位凸轮，重复上述步骤，进行另一侧定位凸轮的校准；
[0028]石英谐振器管脚的校准；
[0029]步骤七，取下校准工装，将待校准的石英谐振器的管壳吸附在吸附孔内，管脚外露；
[0030]步骤八，启动气源，使两侧的夹爪同时抵顶同侧的定位柱，或先后依次抵顶同侧的定位柱，即可使两侧的夹爪对夹管脚，实现石英谐振器管脚的校准。
[0031]本专利技术提供的石英谐振器管脚校准装置、校准工装的确定方法及管脚的校准方法，与现有技术相比，有益效果在于：以半自动化的校准装置替代目前全人工目视手动调整石英谐振器管脚的技术手段，能够避免个体手法、自身经验、视觉个体差异等因素造成的管
脚垂直度误差，提高管脚校准的垂直度的准确性，从而降低产品的废品率和生产成本，降低资源的浪费。
附图说明
[0032]图1为本专利技术实施例提供的石英谐振器管脚校准装置的爆炸结构示意图；
[0033]图2为本专利技术实施例提供的石英谐振器管脚校准装置的立体结构示意图一；
[0034]图3为本专利技术实施例提供的石英谐振器管脚校准装置的立体结构示意图二；
[0035]图4为图3所示的石英谐振器管脚校准装置的俯视结构示意图；
[0036]图5为图4所示的石英谐振器管脚校准装置去掉夹爪的结构示意图；
[0037]图6为本专利技术实施例提供的持件台的立体结构示意图；
[0038]图7为图6提供的持件台的俯视结构示意图；
[0039]图8为沿图7中A
‑
A线的剖视结构图；
[0040]图9为本专利技术实施例提供的校准工装的立体结构示意图；
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种石英谐振器管脚校准装置，其特征在于，包括：持件台(11)，具有吸附孔(10)；校准工装(9)，可吸附于所述持件台(11)上；夹持矫直机构，设置于所述持件台(11)上且对称于所述校准工装(9)的左右两侧，包括线性执行器(6)及连接于所述线性执行器(6)的夹爪(8)；以及定位凸轮(14)，其偏心轴转动连接于持件台(11)上，且对称于所述校准工装(9)的左右两侧；所述夹爪(8)推动所述定位凸轮(14)直至夹爪(8)抵顶所述校准工装(9)，即可获得石英谐振器(20)管脚的矫直位置。2.如权利要求1所述的石英谐振器管脚校准装置，其特征在于，所述持件台(11)的中间设有凸起的支撑平台(17)，所述支撑平台(17)的中间设有凸起的吸附台(18)，所述吸附台(18)上设有一排所述吸附孔(10)，所述吸附台(18)内设有连通所述吸附孔(10)的气路通道(19)；所述定位凸轮(14)为四组，对称设置于所述吸附台(18)的左右两侧，且转动连接于所述支撑平台(17)上。3.如权利要求1所述的石英谐振器管脚校准装置，其特征在于，所述定位凸轮(14)上还设有平行于所述偏心轴的顶丝(15)及平行于所述偏心轴的定位柱(16)，所述夹爪(8)为折弯件，包括连接于所述线性执行器(6)的立板及连接于所述立板上端的水平板，所述立板抵顶所述定位柱(16)，所述水平板夹持所述校准工装(9)。4.如权利要求3所述的石英谐振器管脚校准装置，其特征在于，所述持件台(11)上还设有调位座(7)，所述调位座(7)通过调位螺栓固定于所述持件台(11)上，且所述调位座(7)上设有可使所述调位座(7)左右移动的长条孔(5)；所述线性执行器(6)为气缸，固定于所述调位座(7)上。5.如权利要求1所述的石英谐振器管脚校准装置，其特征在于，所述石英谐振器(20)管脚校准装置还包括底座(3)、设置于所述底座(3)上的换向电磁阀(2)及真空发生器(1)，所述换向电磁阀(2)与所述真空发生器(1)连通，所述线性执行器(6)及所述吸附孔(10)与所述换向电磁阀(2)连通。6.如权利要求5所述的石英谐振器管脚校准装置，其特征在于，所述底座(3)上设有调位板(4)，所述调位板(4)上设有一排调位孔，所述换向电磁阀(2)固定于所述调位板(4)上。7.如权利要求1所述的石英谐振器管脚校准装置，其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员：张文朋，吴海，王露寒，姚刚，刘成群，任泽生，韩建，侯立永，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第十三研究所，
类型：发明
国别省市：
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