【技术实现步骤摘要】
一种激光开孔除渣设备
[0001]本技术涉及激光开孔后处理领域,具体是指一种激光开孔除渣设备。
技术介绍
[0002]激光打孔是通过高功率密度、短时间停留(低于激光切割)的脉冲热源进行打孔的激光加工技术。孔径的形成可以通过单脉冲或多脉冲实现。
[0003]激光开孔工艺要求高的开孔速度、精度和锥度,从而提高加工效率和加工效果。同时,由于激光加工会对硅片本身造成一定的热损伤,且在加工孔附近的硅片表面产生一些热熔渣,这些热熔渣会造成碎片率增加和影响到物料寿命等技术问题,但是热熔渣使用一般的额除尘设备或者风吹处理不了,且除渣的过程中需要根据不同的废渣类型调节气嘴的气压和类型,且除渣过程中会产生粉尘等污染物。
技术实现思路
[0004]本技术要解决的技术问题是解决上述不足,提供一种具有喷液反应处理、可以调整气压气嘴且具有收集废料功能的一种激光开孔除渣设备。
[0005]为解决上述技术问题,本技术提供的技术方案为:一种激光开孔除渣设备,包括底座,所述底座上方左右分别固定设有支撑架,所述支撑架顶端固定设有顶框, ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种激光开孔除渣设备,其特征在于:包括底座(1),所述底座(1)上方左右分别固定设有支撑架(2),所述支撑架(2)顶端固定设有顶框(3),所述底座(1)上方中间固定设有除渣台(4),所述顶框(3)下方中部固定设有储液箱(5),所述储液箱(5)下方固定设有增压泵(6),所述增压泵(6)下方固定设有喷头(7),所述喷头(7)表面设有若干喷孔(8),所述底座(1)左端上方固定设有气泵(9),所述气泵(9)上固定连接设有气管(10),所述除渣台(4)左方固定于底座(1)设有升降杆(12),所述升降杆(12)顶端固定设有气嘴调压固定架(11),所述气嘴调压固定架(11)右端活动连接设有气嘴(13),所述除渣台(4)右方固定于底座(1)设有废渣管道(14),所述废渣管道(14)左方设有废渣进料口(15),所述废渣...
【专利技术属性】
技术研发人员:姚伟,韩俊丽,朱本军,张国,李文强,李建鹏,
申请(专利权)人:山东华烨不锈钢制品集团有限公司,
类型:新型
国别省市:
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