一种UVW对位平台制造技术

本发明专利技术属于对位平台技术领域，公开了一种UVW对位平台。该UVW对位平台包括基座、移动机构、旋转支撑组件、工作台、第一驱动机构、第二驱动机构和第三驱动机构，工作台和基座相对设置，四个移动机构呈矩形排布在基座上，每个移动机构的输出端均与一个旋转支撑组件的输入端连接，每个旋转支撑组件的输出端均与工作台连接，第一驱动机构、第二驱动机构和第三驱动机构的输出端依次与三个移动机构的输入端连接，第一驱动机构用于驱动工作台沿X方向移动，第二驱动机构用于驱动工作台沿X方向移动，第三驱动机构用于驱动工作台沿Y方向移动。驱动机构设置在真空罩的外部，保证了真空罩的密封性，降低了UVW对位平台的高度，减小了UVW对位平台的体积。平台的体积。平台的体积。

【技术实现步骤摘要】
一种UVW对位平台


[0001]本专利技术涉及对位平台
，尤其涉及一种UVW对位平台。

技术介绍

[0002]随着社会的不断进步和科技的快速发展，对许多产品的加工精度等要求也越来越高，因此对相应的加工设备的要求也越来越高。目前，在半导体、液晶显示器制造、高精密贴合或检测等设备中都需要用到对位装置，对位装置能够精确调整待加工产品的位置，对位装置的对准精度对于产品的加工质量具有直接的影响，比如UVW对位平台等，UVW对位平台通常通过对定位参照点的识别，采用亚像素级的图像对位算法计算出被测物体在XYθ方向的偏移量，并自动控制移动平台反向移动相应的移动量，纠正被测物体的位置，实现精确自动对准定位。现有的UVW对位平台结构复杂，体积大，占用空间大，驱动装置一般设置在平台的下方，在有高真空要求的使用场合，走线困难，密封性不足。
[0003]因此，亟需一种UVW对位平台来解决现有技术中的问题。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种UVW对位平台，能够提升真空罩的密封性，降低了UVW对位平台的高度，减小了UVW对位平台的体积。
[0005]为达此目的，本专利技术采用以下技术方案：
[0006]一种UVW对位平台，包括：
[0007]基座，所述基座上罩设有真空罩；
[0008]移动机构，四个所述移动机构呈矩形排布于所述基座上，每个所述移动机构的输出端均能沿X方向或沿Y方向移动；
[0009]旋转支撑组件，每个所述移动机构的所述输出端均与一个所述旋转支撑组件的输入端连接；
[0010]工作台，与所述旋转支撑组件的输出端连接，所述工作台能够通过所述旋转支撑组件相对于所述移动机构转动；
[0011]驱动机构，设置于所述真空罩的外部，所述驱动机构包括第一驱动机构、第二驱动机构和第三驱动机构，所述第一驱动机构、所述第二驱动机构和所述第三驱动机构的输出端依次与三个所述移动机构的输入端连接，且所述第一驱动机构与所述第二驱动机构平行设置且位于所述基座的同侧，所述第一驱动机构与所述第三驱动机构垂直设置，所述第一驱动机构包括第一驱动电机、第一传动组件、第一丝杠螺母组件和第一传动轴，所述第一驱动电机的输出端与所述第一传动组件的输入端连接，所述第一传动组件的输出端与所述第一丝杠螺母组件输入端连接，所述第一丝杠螺母组件的输出端通过所述第一传动轴与所述移动机构的输入端连接，所述第一驱动机构被配置为驱动所述工作台沿X方向移动，所述第二驱动机构被配置为驱动所述工作台沿所述X方向移动，所述第三驱动机构被配置为驱动所述工作台沿所述Y方向移动。
[0012]可选地，所述第一传动组件包括主动带轮、从动带轮和传动带，所述主动带轮与所述第一驱动电机的输出轴同轴固定，所述从动带轮与所述第一丝杠螺母组件的输入端连接，所述从动带轮通过所述传动带与所述主动带轮传动连接。
[0013]可选地，所述第一丝杠螺母组件包括丝杠、螺母、滑块和X轴直线导轨，所述丝杠与所述从动带轮连接，所述螺母与所述丝杠螺纹连接，所述滑块与所述螺母固定连接且与所述X轴直线导轨滑动连接，所述第一传动轴一端与所述滑块连接，另一端与所述移动机构的输入端连接。
[0014]可选地，所述第一驱动机构还包括导轨固定座，所述导轨固定座与所述真空罩连接，所述导轨固定座上开设有安装槽，所述X轴直线导轨设置于所述安装槽内。
[0015]可选地，所述移动机构包括固定板、X向楔形滑轨、移动板、Y向楔形滑轨和支撑板，所述固定板上开设有第一滑槽，所述移动板上开设有第二滑槽，所述X向楔形滑轨与所述移动板固定连接且与所述第一滑槽滑动连接，所述Y向楔形滑轨与所述支撑板固定连接且与所述第二滑槽滑动连接。
[0016]可选地，所述旋转支撑组件包括旋转轴，所述旋转轴一端与所述工作台连接，另一端与所述支撑板转动连接。
[0017]可选地，所述旋转支撑组件还包括轴承，所述轴承的外圈与所述支撑板连接，所述轴承的内圈与所述旋转轴连接。
[0018]可选地，所述第一驱动机构还包括检测组件，所述检测组件被配置为检测所述工作台的运动位置。
[0019]可选地，所述检测组件包括触头和两个限位传感器，两个所述限位传感器沿所述X轴直线导轨的长度方向相对设置于所述X轴直线导轨上，所述触头设置于所述滑块上。
[0020]可选地，所述检测组件还包括原点传感器，所述原点传感器设置于两个所述限位传感器之间。
[0021]有益效果：
[0022]本专利技术提供的UVW对位平台，通过在基座和工作台之间设置移动机构和旋转支撑组件，在基座上罩设真空罩，驱动机构设置在真空罩的外部，既能够根据工作需求在不同的方向对工作台进行调节，同时保证了真空罩的密封性，降低了UVW对位平台的高度，减小了UVW对位平台的体积，提高了UVW对位平台的使用性能。
附图说明
[0023]图1是本专利技术提供的UVW对位平台的结构示意图；
[0024]图2是本专利技术提供UVW对位平台的剖视图。
[0025]图中：
[0026]100、基座；
[0027]200、真空罩；210、密封条；
[0028]300、移动机构；310、固定板；320、移动板；330、支撑板；340、X向楔形滑块；350、Y向楔形滑块；
[0029]400、旋转支撑组件；
[0030]500、工作台；
[0031]600、第一驱动机构；610、第一驱动电机；620、第一传动组件；630、第一丝杠螺母组件；631、滑块；632、X轴直线导轨；640、第一传动轴；650、导轨固定座；
[0032]700、第二驱动机构；
[0033]800、第三驱动机构；
[0034]900、检测组件；910、限位传感器；920、触头；930、原点传感器。
具体实施方式
[0035]下面结合附图和实施例对本专利技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本专利技术，而非对本专利技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本专利技术相关的部分而非全部结构。
[0036]在本专利技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。
[0037]在本专利技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种UVW对位平台，其特征在于，包括：基座(100)，所述基座(100)上罩设有真空罩(200)；移动机构(300)，四个所述移动机构(300)呈矩形排布于所述基座(100)上，每个所述移动机构(300)的输出端均能沿X方向或沿Y方向移动；旋转支撑组件(400)，每个所述移动机构(300)的所述输出端均与一个所述旋转支撑组件(400)的输入端连接；工作台(500)，与所述旋转支撑组件(400)的输出端连接，所述工作台(500)能够通过所述旋转支撑组件(400)相对于所述移动机构(300)转动；驱动机构，设置于所述真空罩(200)的外部，所述驱动机构包括第一驱动机构(600)、第二驱动机构(700)和第三驱动机构(800)，所述第一驱动机构(600)、所述第二驱动机构(700)和所述第三驱动机构(800)的输出端依次与三个所述移动机构(300)的输入端连接，且所述第一驱动机构(600)与所述第二驱动机构(700)平行设置且位于所述基座(100)的同侧，所述第一驱动机构(600)与所述第三驱动机构(800)垂直设置，所述第一驱动机构(600)包括第一驱动电机(610)、第一传动组件(620)、第一丝杠螺母组件(630)和第一传动轴(640)，所述第一驱动电机(610)的输出端与所述第一传动组件(620)的输入端连接，所述第一传动组件(620)的输出端与所述第一丝杠螺母组件(630)输入端连接，所述第一丝杠螺母组件(630)的输出端通过所述第一传动轴(640)与所述移动机构(300)的输入端连接，所述第一驱动机构(600)被配置为驱动所述工作台(500)沿X方向移动，所述第二驱动机构(700)被配置为驱动所述工作台(500)沿所述X方向移动，所述第三驱动机构(800)被配置为驱动所述工作台(500)沿所述Y方向移动。2.根据权利要求1所述的UVW对位平台，其特征在于，所述第一传动组件(620)包括主动带轮、从动带轮和传动带，所述主动带轮与所述第一驱动电机(610)的输出轴同轴固定，所述从动带轮与所述第一丝杠螺母组件(630)的输入端连接，所述从动带轮通过所述传动带与所述主动带轮传动连接。3.根据权利要求2所述的UVW对位平台，其特征在于，所述第一丝杠螺母组件(...

【专利技术属性】
技术研发人员：熊星，江灿福，王传福，王国雄，
申请(专利权)人：苏州希盟科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：