一种碳化硅生产设备用密封性检测装置制造方法及图纸

本发明专利技术属于碳化硅生产设备技术领域，具体的说是一种碳化硅生产设备用密封性检测装置，包括炉体，所述炉体底端贯通连接有进气管，所述炉体顶端安装有检测板，所述检测板底面固定有多个安装架，所述安装架内部安装有检测轮，所述检测轮外部转动连接有滚动轮，所述检测轮与滚动轮之间固定有复位弹簧，所述滚动轮内部且远离复位弹簧的一侧固定有检测触点，所述检测轮内部且靠近检测触点的一侧固定有警报触点；通过炉体内的气体会沿着孔隙逸出，从而引动漂浮组件运动，进而带动滚动轮进行，滚动轮转动会带动检测触点与警报触点相接触发送报警信号，如此便达到了可自动检测炉体的气密性并自动报警的效果。并自动报警的效果。并自动报警的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种碳化硅生产设备用密封性检测装置


[0001]本专利技术属于碳化硅生产设备
，具体的说是一种碳化硅生产设备用密封性检测装置。

技术介绍

[0002]碳化硅作为第三代半导体的典型材料，其在多个领域都有重大的意义，目前对于碳化硅晶体的生长大多是采用PVT法，即物理气相传输法，使用该方法生产碳化硅晶体时，碳化硅晶体在生长的过程中需要将高温区材料升华，然后输送到冷凝区使其成为饱和蒸气，经过冷凝成核而长成晶体，因此碳化硅晶体生长炉的气密性尤为重要。
[0003]由于碳化硅生长炉体积较大，从而使得在对其进行密封性检测时较为困难，无法采用将设备浸入水中通气的方式对其进行检测；为此，本专利技术提供一种碳化硅生产设备用密封性检测装置。

技术实现思路

[0004]为了弥补现有技术的不足，解决
技术介绍
中所提出的至少一个技术问题。
[0005]本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：本专利技术所述的一种碳化硅生产设备用密封性检测装置，包括炉体，所述炉体底端贯通连接有进气管，所述炉体顶端安装有检测板，所述检测板底面固定有多个安本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种碳化硅生产设备用密封性检测装置，其特征在于：包括炉体（1），所述炉体（1）底端贯通连接有进气管（2），所述炉体（1）顶端安装有检测板（3），所述检测板（3）底面固定有多个安装架（4），所述安装架（4）内部安装有检测轮（5），所述检测轮（5）外部转动连接有滚动轮（6），所述检测轮（5）与滚动轮（6）之间固定有复位弹簧（7），所述滚动轮（6）内部且远离复位弹簧（7）的一侧固定有检测触点（8），所述检测轮（5）内部且靠近检测触点（8）的一侧固定有警报触点（9），所述检测触点（8）与警报触点（9）通过线路与外部的警报器信号连接，所述滚动轮（6）外部缠绕有连接绳（10），所述连接绳（10）远离滚动轮（6）的一端固定有漂浮组件（11），所述漂浮组件（11）用以在气流的流动下拉动连接绳（10）后进行飘动。2.根据权利要求1所述的一种碳化硅生产设备用密封性检测装置，其特征在于：所述安装架（4）与检测轮（5）之间设置有摩擦环（12），所述摩擦环（12）与安装架（4）固定连接，所述摩擦环（12）与检测轮（5）转动连接。3.根据权利要求1所述的一种碳化硅生产设备用密封性检测装置，其特征在于：所述滚动轮（6）内部且位于复位弹簧（7）与检测触点（8）之间转动连接有多个辅助滚轮（13）。4.根据权利要求3所述的一种碳化硅生产设备用密封性检测装置，其特征在于：所述滚动轮（6）...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡动力，王人松，周敏，徐益新，
申请(专利权)人：连城凯克斯科技有限公司，
类型：发明
国别省市：