下载一种碳化硅生产设备用密封性检测装置的技术资料

文档序号:34953853

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本发明属于碳化硅生产设备技术领域,具体的说是一种碳化硅生产设备用密封性检测装置,包括炉体,所述炉体底端贯通连接有进气管,所述炉体顶端安装有检测板,所述检测板底面固定有多个安装架,所述安装架内部安装有检测轮,所述检测轮外部转动连接有滚动轮,所...
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