本实用新型专利技术提供了一种共晶焊接烧结炉中的料片传输机构，包括机架、载具和料片，所述载具固定在所述机架上，所述料片放置在所述载具上，还包括同步支撑架、横向移动机构和竖直移动机构，所述同步支撑架包括左支撑杆、右支撑杆和同步板，所述左支撑杆和右支撑杆分别设置在所述载具的两侧，左支撑杆和右支撑杆通过同步板进行同步连接，竖直移动机构驱动左支撑杆和右支撑杆向上抬起料片，向下移动放置料片，横向移动机构驱动左支撑架和右支撑架将料片移动到下一个工位，实现料片可依次经过各个工位的传输，相较于通过夹持装置夹持料盘进行转运的方式，有效的节约了各工位上方的空间，同时结构简单可靠，便于拆装和维护。便于拆装和维护。便于拆装和维护。
【技术实现步骤摘要】
一种共晶焊接烧结炉中的料片传输机构
[0001]本技术涉及半导体制造领域，尤其涉及一种共晶焊接烧结炉中的料片传输机构。
技术介绍
[0002]共晶焊接技术在电子封装行业具有广泛的应用，如晶片与基板的粘接、基板与管壳的粘接、管壳封帽等等，与传统的环氧导电胶粘接相比，共晶焊接具有热导率高、热阻低、传热快、可靠性强、粘接后强度大的优点，适用于高频、大功率器件中晶片与基板、基板与管壳的互联。
[0003]半导体的共晶焊接烧结炉中一般设置有多道工位，包括料片的加热工位、固晶工位和共晶烧结工位等，物料依次通过多个工位直至加工完成，这就需要转运装置进行物料在各个工位之间的传输。
技术实现思路
[0004]本技术要解决的技术问题是，半导体的共晶焊接烧结炉中，需要转运装置进行物料在各个工位之间的传输，本技术提供了一种共晶焊接烧结炉中的料片传输机构来解决上述问题。
[0005]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种共晶焊接烧结炉中的料片传输机构，包括机架、载具和料片，所述载具固定在所述机架上，所述料片放置在所述载具上，还包括同步支撑架、横向移动机构和竖直移动机构，所述同步支撑架包括左支撑杆、右支撑杆和同步板，所述左支撑杆和右支撑杆分别设置在所述载具的两侧，所述左支撑杆和右支撑杆上均设有L型槽口，所述料片的两端放置在所述L型槽口上，所述左支撑杆和右支撑杆的两端分别安装有第一连接板和第二连接板，所述同步板的一端与所述第一连接板固定连接，所述同步板的另一端与所述第二连接板固定连接，所述横向移动机构和竖直移动机构可驱动所述同步支撑架支撑所述料片在所述载具上进行移动。
[0006]进一步地：所述横向移动机构包括第一伺服电机、第一丝杆、第一滑块和第一滑轨，所述第一伺服电机横向固定在所述机架上，所述第一丝杆与所述第一伺服电机的输出端传动连接，所述第一丝杆上套设有第一螺母，所述第一螺母上固定有连接块，所述连接块上固定连接有支撑板，所述第一滑块固定在所述支撑板的底面，所述第一滑块滑动设置在所述第一滑轨上，所述第一滑轨横向固定在所述机架上。
[0007]进一步地：所述竖直移动机构包括第二伺服电机、第二丝杆、第二滑块和第二滑轨，所述第二伺服电机竖直固定在所述支撑板底面，所述第二丝杆与所述第二伺服电机的输出端传动连接，所述第二丝杆上套设有第二螺母，所述第二滑块固定在所述第二螺母上，所述第二滑块的一侧滑动设置在所述第二滑轨上，所述第二滑块另一侧与所述同步板固定连接，所述第二滑轨竖直固定在所述支撑板的上面。
[0008]进一步地：所述第一滑轨上，位于所述第一滑块的两侧均设有若干个第三滑块，若
干个所述第三滑块均通过连接杆与所述支撑板固定连接，每个所述第三滑块上均固定设置有第三滑轨，每个所述第三滑轨上滑动设置有第四滑块，每个所述第四滑块均与所述同步板固定连接。
[0009]进一步地：所述左支撑杆和右支撑杆穿过第一连接板的端部均设有螺帽和弹簧进行固定。
[0010]进一步地：所述同步板上安装有油压缓冲器。
[0011]本技术的有益效果是，本技术一种共晶焊接烧结炉中的料片传输机构，载具的两侧设置左支撑杆和右支撑杆，左支撑杆和右支撑杆可支撑料片的两端，通过同步板将左支撑杆和右支撑杆进行同步连接，设置的竖直移动机构驱动左支撑杆和右支撑杆向上抬起料片，向下移动放置料片，横向移动机构驱动左支撑架和右支撑架将料片移动到下一个工位，实现料片可依次经过各个工位的传输，相较于通过夹持装置夹持料盘进行转运的方式，有效的节约了各工位上方的空间，同时结构简单可靠，便于拆装和维护。
附图说明
[0012]下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。
[0013]图1是本技术的整体结构示意图；
[0014]图2是本技术同步支撑架的结构示意图；
[0015]图3是本技术横向移动机构的结构示意图；
[0016]图4是本技术竖直移动机构的结构示意图。
[0017]图中1、机架，2、载具，3、料片，4、左支撑杆，5、右支撑杆，6、同步板，7、第一连接板，8、第二连接板，9、第一伺服电机，10、第一丝杆，11、第一滑块，12、第一滑轨，13、连接块，14、支撑板，15、第二伺服电机，16、第二丝杆，17、第二滑块，18、第二滑轨，19、第三滑块，20、连接杆，21、第三滑轨，22、第四滑块，23、螺帽，24、弹簧，25、油压缓冲器。
具体实施方式
[0018]下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。相反，本技术的实施例包括落入所附加权利要求书的精神和内涵范围内的所有变化、修改和等同物。
[0019]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。
[0020]此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的
普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。此外，在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0021]流程图中或在此以其他方式描述的任何过程或方法描述可以被理解为，表示包括一个或更多个用于实现特定逻辑功能或过程的步骤的可执行指令的代码的模块、片段或部分，并且本技术的优选实施方式的范围包括另外的实现，其中可以不按所示出或讨论的顺序，包括根据所涉及的功能按基本同时的方式或按相反的顺序，来执行功能，这应被本技术的实施例所属
的技术人员所理解。
[0022]如图1和图2所示，本技术提供了一种共晶焊接烧结炉中的料片传输机构，包括机架1、载具2和料片3，所述载具2固定在所述机架1上，所述料片3放置在所述载具2上，还包括同步支撑架、横向移动机构和竖直移动机构，所述同步支撑架包括左支撑杆4、右支撑杆5和同步板6，所述左支撑杆4和右支撑杆5分别设置在所述载具2的两侧，所述左支撑杆4和右支撑杆5上均设有L型槽口，所述料片3的两端放置在所述L型槽口上，所述左支撑杆4和右支撑杆5的两端分别安装有第一连接板7和第二连本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种共晶焊接烧结炉中的料片传输机构，包括机架（1）、载具（2）和料片（3），所述载具（2）固定在所述机架（1）上，所述料片（3）放置在所述载具（2）上，其特征在于，还包括同步支撑架、横向移动机构和竖直移动机构，所述同步支撑架包括左支撑杆（4）、右支撑杆（5）和同步板（6），所述左支撑杆（4）和右支撑杆（5）分别设置在所述载具（2）的两侧，所述左支撑杆（4）和右支撑杆（5）上均设有L型槽口，所述料片（3）的两端放置在所述L型槽口上，所述左支撑杆（4）和右支撑杆（5）的两端分别安装有第一连接板（7）和第二连接板（8），所述同步板（6）的一端与所述第一连接板（7）固定连接，所述同步板（6）的另一端与所述第二连接板（8）固定连接，所述横向移动机构和竖直移动机构可驱动所述同步支撑架支撑所述料片（3）在所述载具（2）上进行移动。2.如权利要求1所述的一种共晶焊接烧结炉中的料片传输机构，其特征在于，所述横向移动机构包括第一伺服电机（9）、第一丝杆（10）、第一滑块（11）和第一滑轨（12），所述第一伺服电机（9）横向固定在所述机架（1）上，所述第一丝杆（10）与所述第一伺服电机（9）的输出端传动连接，所述第一丝杆（10）上套设有第一螺母，所述第一螺母上固定有连接块（13），所述连接块（13）上固定连接有支撑板（14），所述第一滑块（11）固定在所述支撑板（14）的底面，所述第一滑块（11）滑动设置在所述第一滑轨（12）上，所述第一滑轨（12）横向...
【专利技术属性】
技术研发人员：向军，
申请(专利权)人：江苏新智达新能源设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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