一种晶圆垂直投影式双面曝光系统技术方案

本发明专利技术公开了一种晶圆垂直投影式双面曝光系统，包括Y方向平台和控制面板，所述Y方向平台左端设有Y方向步进马达，所述Y方向步进马达输出轴与Y方向丝杆固定连接，所述Y方向平台顶端右侧滑动连接有X方向平台，所述X方向平台后端设有X方向步进马达，通过设置了调节取片组件和机械手臂组件，通过启动机械手臂取片马达，使机械手臂取片马达间接带动第一弧形夹板和第二弧形夹板对晶圆进行夹持，通过启动机械手臂上下马达，使机械手臂上下马达间接带动机械手臂组件上下滑动，便于调整机械手臂组件高度和固定晶圆；通过设置了调焦组件，启动调节马达，使调节马达间接带动反射镜沿着第三螺纹杆滑动，便于自动调焦，实现双面同时投影曝光成像。成像。成像。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆垂直投影式双面曝光系统


[0001]本专利技术涉及光刻机
，尤其涉及到光刻机光学成像曝光系统。

技术介绍

[0002]光刻机，又称为掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到晶圆上，现有的光刻机通常是水平放置、通过机械手臂传送到曝光工作平台上进行曝光，在曝光过程中，通过自动调焦、自动调平两个重要系统来保证曝光晶圆成像的关键尺寸。
[0003]传统的投影曝光系统都是水平放置晶圆，包括水平传输、水平放置于曝光工件台，受放置方式的制约，只能做水平单面的传统投影式曝光，不能实现双面同时投影曝光成像。

技术实现思路

[0004]因此，为了解决上述不足，本专利技术在此提供一种晶圆垂直投影式双面曝光系统。
[0005]本专利技术是这样实现的，构造一种晶圆垂直投影式双面曝光系统，该装置包括Y方向平台和控制面板，所述Y方向平台左端设有Y方向步进马达，所述Y方向步进马达输出轴与Y方向丝杆固定连接，所述Y方向平台顶端右侧滑动连接有X方向平台，所述X方向平台后端设有X方向步进马达，所述X方向步进马达输出轴与X方向丝杆固定连接，所述X方向丝杆与限位板内侧螺纹连接，所述限位板固定在Y方向平台顶端右侧，所述X方向平台顶端前侧固定连接有Z方向步进马达，所述Z方向步进马达顶端固定连接有L形限位板，所述Z方向步进马达输出轴贯穿L形限位板并与滑动板螺纹连接，所述滑动板左端后上方设有翻转马达，所述片盒内设有晶圆，所述分光镜顶端设有主镜头，所述Y方向平台右端设有控制面板，所述翻转马达输出轴贯穿滑动板左端并与调节取片组件固定连接，所述调焦组件设在晶圆两侧，所述调焦组件包括调节马达、第二固定板、第三螺纹杆、反射镜和聚光镜，所述调节马达固定在第二固定板后端中部，所述调节马达输出轴贯穿第二固定板后端并与第三螺纹杆后端固定连接，所述第三螺纹杆前端螺纹连接有反射镜，所述反射镜前端设有聚光镜。
[0006]优选的，所述调节取片组件包括L形连接板、机械手臂取片马达、第一螺纹杆、限位块、滑块、伸缩杆、第一固定板、机械手臂上下马达、第二螺纹杆、滑动板和机械手臂组件，所述L形连接板左端后侧与翻转马达输出轴固定连接，所述L形连接板左端中部固定连接有机械手臂取片马达，所述机械手臂取片马达输出轴与第一螺纹杆固定连接，所述第一螺纹杆右端与限位块转动连接，所述第一螺纹杆与滑块中部内侧螺纹连接，所述滑块顶端中部设有伸缩杆，所述伸缩杆顶端与机械手臂组件左端底部固定连接，所述L形连接板顶端固定连接有第一固定板，所述第一固定板顶端中部固定连接有机械手臂上下马达，所述机械手臂上下马达输出轴与第二螺纹杆固定连接，所述第二螺纹杆与滑动板内侧螺纹连接，所述滑动板底端与机械手臂组件顶端固定连接。
[0007]优选的，所述机械手臂组件包括固定块、限位滑槽、限位柱、Y形滑杆、第一连接轴、第二连接轴、第一机械手臂、第一连接槽、第一限位槽、第一弧形夹板、第二机械手臂、第二
连接槽、第二限位槽和第二弧形夹板，所述固定块顶端左侧与滑动板底端相固定，所述固定块顶端左侧中部设有限位滑槽，所述固定块顶端右侧固定有限位柱，所述限位滑槽内侧滑动连接有Y形滑杆，所述Y形滑杆顶端右侧分别设有第一连接轴和第二连接轴，所述第一机械手臂顶端左侧分别设有第一连接槽和第一限位槽，所述第一机械手臂右端后侧转动连接有第一弧形夹板，所述第二机械手臂顶端右侧分别设有第二连接槽和第二限位槽，所述第二机械手臂右端前侧转动连接有第二弧形夹板，所述限位柱外侧分别与第一连接槽和第二连接槽内侧转动连接，所述第一连接轴与第一限位槽内侧滑动连接，所述第二连接轴与第二限位槽内侧滑动连接。
[0008]优选的，所述Y方向步进马达、X方向步进马达、Z方向步进马达、翻转马达、调节马达、机械手臂取片马达和机械手臂上下马达皆与控制面板电连接。
[0009]优选的，所述晶圆左右两端对称分布有调焦组件，且两端的调焦组件可单独调节。
[0010]优选的，所述固定块顶端左侧中部设有与Y形滑杆相匹配的限位滑槽，且Y形滑杆厚度为限位滑槽厚度的一半。
[0011]优选的，所述第一机械手臂和第二机械手臂顶端左侧分别设有与第一连接轴和第二连接轴相匹配的第一限位槽和第二限位槽。
[0012]本专利技术具有如下优点：本专利技术通过改进在此提供一种晶圆垂直投影式双面曝光系统，与同类型设备相比，具有如下改进：
[0013]本专利技术所述一种晶圆垂直投影式双面曝光系统，通过设置了调节取片组件和机械手臂组件，通过启动机械手臂取片马达，使机械手臂取片马达间接带动第一弧形夹板和第二弧形夹板对晶圆进行夹持，通过启动机械手臂上下马达，使机械手臂上下马达间接带动机械手臂组件上下滑动，便于调整机械手臂组件高度和固定晶圆。
[0014]本专利技术所述一种晶圆垂直投影式双面曝光系统，通过设置了调焦组件，启动调节马达，使调节马达间接带动反射镜沿着第三螺纹杆滑动，便于自动调焦，实现双面同时投影曝光成像。
附图说明
[0015]图1是本专利技术结构示意图；
[0016]图2是本专利技术的Y方向步进马达和Y方向丝杆结构示意图；
[0017]图3是本专利技术的X方向步进马达和X方向丝杆结构示意图；
[0018]图4是本专利技术的取晶圆片结构示意图；
[0019]图5是本专利技术的调节取片组件结构示意图；
[0020]图6是本专利技术的机械手臂组件结构示意图；
[0021]图7是本专利技术的调焦组件结构示意图；
[0022]图8是本专利技术的光源传输折射示意图。
[0023]其中：Y方向平台
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1、Y方向步进马达
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2、Y方向丝杆
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3、X方向平台
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4、X方向步进马达
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5、X方向丝杆
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6、限位板
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7、Z方向步进马达
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8、L形限位板
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9、Z方向丝杆
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10、滑动板
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11、翻转马达
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12、调节取片组件
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13、片盒
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14、晶圆
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15、调焦组件
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16、分光镜
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17、主镜头
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18、控制面板
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19、L形连接板
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131、机械手臂取片马达
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132、第一螺纹杆
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133、限位块
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134、滑块
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135、伸缩杆
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136、第一固定板
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137、机械手臂上下马达
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138、第二螺纹杆
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139、滑动板
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1310、机械手臂组件
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1311、固定块
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13111、限位滑槽
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆垂直投影式双面曝光系统，包括Y方向平台(1)、分光镜(17)和控制面板(19)，所述Y方向平台(1)左端设有Y方向步进马达(2)，所述Y方向步进马达(2)输出轴与Y方向丝杆(3)固定连接，所述Y方向平台(1)顶端右侧滑动连接有X方向平台(4)，所述X方向平台(4)后端设有X方向步进马达(5)，所述X方向步进马达(5)输出轴与X方向丝杆(6)固定连接，所述X方向丝杆(6)与限位板(7)内侧螺纹连接，所述限位板(7)固定在Y方向平台(1)顶端右侧，所述X方向平台(4)顶端前侧固定连接有Z方向步进马达(8)，所述Z方向步进马达(8)顶端固定连接有L形限位板(9)，所述Z方向步进马达(8)输出轴贯穿L形限位板(9)并与滑动板(11)螺纹连接，所述滑动板(11)左端后上方设有翻转马达(12)，所述片盒(14)内设有晶圆(15)，所述分光镜(17)顶端设有主镜头(18)，所述Y方向平台(1)右端设有控制面板(19)；其特征在于：还包括调节取片组件(13)和调焦组件(16)，所述翻转马达(12)输出轴贯穿滑动板(11)左端并与调节取片组件(13)固定连接，所述调焦组件(16)设在晶圆(15)两侧，所述调焦组件(16)包括调节马达(161)、第二固定板(162)、第三螺纹杆(163)、反射镜(164)和聚光镜(165)，所述调节马达(161)固定在第二固定板(162)后端中部，所述调节马达(161)输出轴贯穿第二固定板(162)后端并与第三螺纹杆(163)后端固定连接，所述第三螺纹杆(163)前端螺纹连接有反射镜(164)，所述反射镜(164)前端设有聚光镜(165)。2.根据权利要求1所述一种晶圆垂直投影式双面曝光系统，其特征在于：所述调节取片组件(13)包括L形连接板(131)、机械手臂取片马达(132)、第一螺纹杆(133)、限位块(134)、滑块(135)、伸缩杆(136)、第一固定板(137)、机械手臂上下马达(138)、第二螺纹杆(139)、滑动板(1310)和机械手臂组件(1311)，所述L形连接板(131)左端后侧与翻转马达(12)输出轴固定连接，所述L形连接板(131)左端中部固定连接有机械手臂取片马达(132)，所述机械手臂取片马达(132)输出轴与第一螺纹杆(133)固定连接，所述第一螺纹杆(133)右端与限位块(134)转动连接，所述第一螺纹杆(133)与滑块(135)中部内侧螺纹连接，所述滑块(135)顶端中部设有伸缩杆(136)，所述伸缩杆(136)顶端与机械手臂组件(1311)左端底部固定连接，所述L形连接板(131)顶端固定连接有第一固定板(137)，所述第一固定板(137)顶端中部固定连接有机械手臂上下马达(138)，所述机械手臂上下马达(138)输出轴与第二螺纹杆(139)固定连接，所述第二螺纹杆(139)与滑动板(1310)内侧螺纹连接，所述滑动板(1310)底端与机械手臂组件(1311)顶端固定连接。3.根据权利要求2所述一种...

【专利技术属性】
技术研发人员：张俊杰，
申请(专利权)人：上海图双精密装备有限公司，
类型：发明
国别省市：